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掩模對準膜厚儀研發(fā)可以用嗎

來源: 發(fā)布時間:2022-02-13

F60系列生產(chǎn)環(huán)境的自動測繪FilmetricsF60-t系列就像我們的F50產(chǎn)品一樣測繪薄膜厚度和折射率,但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業(yè)計算機,以及升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。不同的F60-t儀器根據(jù)波長范圍加以區(qū)分。較短的波長(例如,F(xiàn)60-t-UV)一般用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。包含的內(nèi)容:集成平臺/光譜儀/光源裝置(不含平臺)4",6"and200mm參考晶圓TS-SiO2-4-7200厚度標準真空泵備用燈F30樣品層:分子束外延和金屬有機化學氣相沉積: 可以測量平滑和半透明的,或輕度吸收的薄膜。掩模對準膜厚儀研發(fā)可以用嗎

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FSM8018VITE測試系列設備VITE技術介紹:VITE是傅里葉頻域技術,利用近紅外光源的相位剪切技術(Phasesheartechnology)設備介紹適用于所有可讓近紅外線通過的材料:硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…………應用:襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)平整度厚度變化(TTV)溝槽深度過孔尺寸、深度、側(cè)壁角度粗糙度薄膜厚度不同半導體材料的厚度環(huán)氧樹脂厚度襯底翹曲度晶圓凸點高度(bumpheight)MEMS薄膜測量TSV深度、側(cè)壁角度...晶圓片膜厚儀可以試用嗎F20-EXR測厚范圍:15nm - 250μm;波長:380-1700nm。

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  1、激光測厚儀是利用激光的反射原理,根據(jù)光切法測量和觀察機械制造中零件加工表面的微觀幾何形狀來測量產(chǎn)品的厚度,是一種非接觸式的動態(tài)測量儀器。它可直接輸出數(shù)字信號與工業(yè)計算機相連接,并迅速處理數(shù)據(jù)并輸出偏差值到各種工業(yè)設備。2、X射線測厚儀利用X射線穿透被測材料時,X射線的強度的變化與材料的厚度相關的特性,滄州歐譜從而測定材料的厚度,是一種非接觸式的動態(tài)計量儀器。它以PLC和工業(yè)計算機為和新,采集計算數(shù)據(jù)并輸出目標偏差值給軋機厚度控制系統(tǒng),達到要求的軋制厚度。主要應用行業(yè):有色金屬的板帶箔加工、冶金行業(yè)的板帶加工。3、紙張測厚儀:適用于4mm以下的各種薄膜、紙張、紙板以及其他片狀材料厚度的測量。4、薄膜測厚儀:用于測定薄膜、薄片等材料的厚度,測量范圍寬、測量精度高,具有數(shù)據(jù)輸出、任意位置置零、公英制轉(zhuǎn)換、自動斷電等特點。5、涂層測厚儀:用于測量鐵及非鐵金屬基體上涂層的厚度.6、超聲波測厚儀:超聲波測厚儀是根據(jù)超聲波脈沖反射原理來進行厚度測量的,當探頭發(fā)射的超聲波脈沖通過被測物體到達材料分界面時,脈沖被反射回探頭,通過精確測量超聲波在材料中傳播的時間來確定被測材料的厚度。

TotalThicknessVariation(TTV)應用規(guī)格:測量方式:紅外干涉(非接觸式)樣本尺寸:50、75、100、200、300mm,也可以訂做客戶需要的產(chǎn)品尺寸測量厚度:15—780μm(單探頭)3mm(雙探頭總厚度測量)掃瞄方式:半自動及全自動型號,另2D/3D掃瞄(Mapping)可選襯底厚度測量:TTV、平均值、*小值、*大值、公差...可選粗糙度:20—1000?(RMS)重復性:0.1μm(1sigma)單探頭*0.8μm(1sigma)雙探頭*分辨率:10nm請訪問我們的中文官網(wǎng)了解更多關于本產(chǎn)品的信息。F50-UV測厚范圍:5nm-40μm;波長:190-1100nm。

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F50系列包含的內(nèi)容:集成光譜儀/光源裝置光纖電纜4",6"and200mm參考晶圓TS-SiO2-4-7200厚度標準BK7參考材料整平濾波器(用于高反射基板)真空泵備用燈型號厚度范圍*波長范圍F50:20nm-70μm380-1050nmF50-UV:5nm-40μm190-1100nmF50-NIR:100nm-250μm950-1700nmF50-EXR:20nm-250μm380-1700nmF50-UVX:5nm-250μm190-1700nmF50-XT:0.2μm-450μm1440-1690nmF50-s980:4μm-1mm960-1000nmF50-s1310:7μm-2mm1280-1340nmF50-s1550:10μm-3mm1520-1580nm額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫,隨著不同應用更超過數(shù)百種應用工程師可立刻提供幫助(周一-周五)網(wǎng)上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃F20-UV測厚范圍:1nm - 40μm;波長:190-1100nm。掩模對準膜厚儀原理

F40-UV范圍:4nm-40μm,波長:190-1100nm。掩模對準膜厚儀研發(fā)可以用嗎

備用光源:LAMP-TH1-5PAK:F10、F20、F30、F40、F50、和F60系統(tǒng)的非紫外光源。5個/盒。1200小時平均無故障。LAMP-TH:F42F42系統(tǒng)的光源。1000小時平均無故障。LAMP-THF60:F60系統(tǒng)的光源。1000小時平均無故障。LAMP-THF80:F80系統(tǒng)的光源。1000小時平均無故障。LAMP-D2-L10290:L10290氘光源。2007年到2014年F20-UV的使用者。LAMP-TH-L10290:L10290鎢鹵素光源。2007年到2014年F20-UV的使用者。LAMP-D2-LS和DT2:LS和DT2光源需更換氘燈,而鹵素燈光源需更換使用LAMP-TH1-5PAK.掩模對準膜厚儀研發(fā)可以用嗎

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