大宗供氣系統(tǒng)主要為工廠輸送氮?dú)?、氬氣等工業(yè)氣體，用量大且持續(xù)穩(wěn)定，管道內(nèi)的氧含量若超標(biāo)，會(huì)直接影響產(chǎn)品質(zhì)量 —— 例如在金屬熱處理中，氧氣會(huì)導(dǎo)致工件氧化，降低表面精度。ppb 級(jí)氧含量檢測(cè)需采用激光氧分析儀，在管道出口處連續(xù)采樣，檢測(cè)下限可達(dá) 10ppb。檢測(cè)前需用高純氮?dú)猓ㄑ鹾俊?ppb）對(duì)分析儀進(jìn)行校準(zhǔn)，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。大宗供氣系統(tǒng)的管道多為長(zhǎng)距離鋪設(shè)，接頭、閥門(mén)等部位若密封不嚴(yán)，會(huì)滲入空氣中的氧氣（約 21%），導(dǎo)致氧含量升高。通過(guò) ppb 級(jí)檢測(cè)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)微量泄漏，例如當(dāng)檢測(cè)值從 50ppb 躍升至 200ppb 時(shí)，需排查管道法蘭密封墊是否老化，或焊接點(diǎn)是否存在微縫，從而保障氣體純度滿足生產(chǎn)需求。0.1 微米顆粒度檢測(cè)可識(shí)別高純氣體管道內(nèi)顆粒污染物，每立方米≤1000 個(gè)，滿足精密用氣需求。中山實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)氧含量（ppb級(jí)）

實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)輸送的氣體若含 0.1 微米顆粒，會(huì)污染實(shí)驗(yàn)樣品和儀器，影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。例如在原子吸收光譜分析中，顆粒會(huì)堵塞霧化器，導(dǎo)致吸光度波動(dòng)；在激光粒度儀校準(zhǔn)中，顆粒會(huì)干擾標(biāo)準(zhǔn)粒子的檢測(cè)。0.1 微米顆粒度檢測(cè)需用超凈采樣頭接入管道，用激光顆粒計(jì)數(shù)器采樣，采樣時(shí)間≥10 分鐘，每立方米顆粒數(shù)（0.1μm 及以上）需≤5000 個(gè)。實(shí)驗(yàn)室氣路管道安裝后需用無(wú)水乙醇擦拭內(nèi)壁，去除油污和顆粒；閥門(mén)需使用無(wú)油閥門(mén)，避免油脂顆粒污染。通過(guò)顆粒度檢測(cè)，可驗(yàn)證管道清潔度，確保進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室儀器的氣體無(wú)顆粒干擾，為實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性提供保障。廣州工業(yè)集中供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)水分（ppb級(jí)）高純氣體管道的保壓測(cè)試，充氮?dú)庵?1.0MPa，48 小時(shí)壓降≤0.5%，驗(yàn)證管道密封性。

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)中的氮?dú)馊粞鹾砍瑯?biāo)，會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量，尤其在熱處理、焊接等工藝中。例如在軸承淬火中，氮?dú)庵械难鯕鈺?huì)導(dǎo)致軸承表面氧化，硬度下降；在粉末冶金中，氧含量過(guò)高會(huì)導(dǎo)致粉末氧化，影響燒結(jié)后的強(qiáng)度。ppb 級(jí)氧含量檢測(cè)需用氧化鋯傳感器，在管道出口處采樣，檢測(cè)范圍 1-1000ppb，誤差≤±2%。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的管道若未徹底置換，或止回閥泄漏，會(huì)導(dǎo)致空氣進(jìn)入 —— 例如氮?dú)夤艿琅c空氣管道并行鋪設(shè)時(shí)，若氮?dú)鈮毫Φ陀诳諝鈮毫?，?huì)發(fā)生倒灌。通過(guò)氧含量檢測(cè)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)這些問(wèn)題，確保氮?dú)饧兌龋ㄑ鹾俊?0ppb）滿足工藝要求，這是工業(yè)集中供氣系統(tǒng)質(zhì)量的重要指標(biāo)。

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的保壓測(cè)試不合格（泄漏）會(huì)導(dǎo)致浮游菌進(jìn)入管道，因此需聯(lián)動(dòng)檢測(cè)。例如食品廠的壓縮空氣管道泄漏，會(huì)吸入車(chē)間空氣中的霉菌，導(dǎo)致浮游菌超標(biāo)，污染食品。檢測(cè)時(shí)，保壓測(cè)試合格（壓力降≤1%）后，測(cè)浮游菌（≤10CFU/m3）；若保壓不合格，需修復(fù)后重新檢測(cè)。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的過(guò)濾器需安裝在靠近用氣點(diǎn)的位置，且需驗(yàn)證其密封性能，而保壓測(cè)試能發(fā)現(xiàn)過(guò)濾器與管道的連接泄漏。這種關(guān)聯(lián)檢測(cè)能保障氣體衛(wèi)生安全，符合食品生產(chǎn)的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。氦檢漏用于檢測(cè)高純氣體管道微漏，泄漏率需≤1×10??Pa?m3/s，保障氣體純度不受污染。

高純氣體系統(tǒng)工程對(duì)管道密封性的要求堪稱(chēng)苛刻，哪怕微小泄漏都可能引入雜質(zhì)，破壞氣體純度。氦檢漏作為高精度泄漏檢測(cè)手段，在該系統(tǒng)中不可或缺。檢測(cè)時(shí)，先將高純氣體管道抽真空至≤5×10?3Pa，再向管道內(nèi)側(cè)充入 5% 氦氣與 95% 氮?dú)獾幕旌蠚怏w，外側(cè)用氦質(zhì)譜檢漏儀探頭掃描。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，泄漏率需控制在≤1×10??Pa?m3/s，這一精度遠(yuǎn)高于肥皂水檢漏等傳統(tǒng)方法。對(duì)于輸送超高純氮?dú)猓兌?99.9999%）或電子級(jí)氨氣的管道，氦檢漏能準(zhǔn)確定位焊接缺陷、閥門(mén)密封不良等問(wèn)題，避免微量泄漏導(dǎo)致的氣體純度下降 —— 要知道，電子級(jí)氣體中雜質(zhì)含量需控制在 ppb 級(jí)，任何泄漏引入的空氣（含氧氣、水分）都會(huì)直接影響產(chǎn)品良率，因此氦檢漏是高純氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收的 “必過(guò)項(xiàng)”。電子特氣系統(tǒng)工程的氧含量檢測(cè)，用熒光法分析儀，下限達(dá) 1ppb，確保特氣穩(wěn)定。中山實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)氧含量（ppb級(jí)）

電子特氣系統(tǒng)工程的氧含量（ppb 級(jí)）檢測(cè)≤10ppb，防止氧氣導(dǎo)致特氣化學(xué)反應(yīng)。中山實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)氧含量（ppb級(jí)）

高純氣體系統(tǒng)工程對(duì)管道泄漏率的要求遠(yuǎn)高于普通工業(yè)管道，因?yàn)槟呐率?1×10??Pa?m3/s 的微漏，也會(huì)導(dǎo)致高純氣體（純度 99.9999%）被空氣污染。氦檢漏需采用 “真空法”：先對(duì)管道抽真空至≤1Pa，再在管道外側(cè)噴氦氣，內(nèi)側(cè)用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)。氦氣分子直徑?。?.31nm），易穿透微小縫隙，檢漏靈敏度可達(dá) 1×10?12Pa?m3/s。在高純氧氣、氫氣系統(tǒng)中，泄漏會(huì)導(dǎo)致氣體純度下降 —— 例如電子級(jí)氧氣中若混入空氣，氧含量降至 99.999%，會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體晶圓氧化層厚度不均。氦檢漏能準(zhǔn)確定位泄漏點(diǎn)（如閥門(mén)填料函、焊接熱影響區(qū)），為修復(fù)提供依據(jù)，是高純氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收的 “硬性指標(biāo)”。中山實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)氧含量（ppb級(jí)）