工具與治具清潔:晶圓載具: 清潔用于傳輸和存儲(chǔ)晶圓的卡匣、FOUP/FOSB門、內(nèi)部表面上的微粒、有機(jī)物殘留和靜電吸附的灰塵。機(jī)器人手臂末端執(zhí)行器: 清潔用于搬運(yùn)晶圓的機(jī)械手上的微粒和污染物,防止污染晶圓。工藝腔室內(nèi)的夾具和基座: 去除靜電卡盤、固定裝置等表面的沉積物。封裝與測(cè)試環(huán)節(jié):模具、封裝設(shè)備部件: 清潔封裝設(shè)備(如鍵合機(jī)、塑封機(jī))模具表面、頂針、傳送帶等部件上的溢料、脫模劑殘留、環(huán)氧樹脂等。測(cè)試插座、探針卡: 去除探針卡、測(cè)試插座接觸點(diǎn)上的氧化物、有機(jī)物殘留、助焊劑殘留等,確保良好的電接觸。需要極其精細(xì)的控制以避免損壞精密探針。PCB板/基板預(yù)處理: 在鍵合或組裝前,清潔PCB或基板表面的氧化物、指紋、油脂等輕微污染物。酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰镜母杀逑醇夹g(shù)在芯片(半導(dǎo)體)制造行業(yè)中的應(yīng)用是一種高效、精密且環(huán)保的清潔方法,尤其適用于對(duì)污染極度敏感、不能接觸液體或化學(xué)溶劑、且需要避免物理?yè)p傷的精密設(shè)備和組件。不可思議的酷爾森干冰清洗,陳年污垢一掃而光!云南不銹鋼干冰清洗哪里買
酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰靖杀逑醇夹g(shù)要點(diǎn)與挑戰(zhàn)工藝參數(shù)精密控制:壓力: 通常使用較低壓力(如 2-10 bar),遠(yuǎn)低于常規(guī)工業(yè)干冰清洗,以避免對(duì)精密部件造成損傷或?qū)е挛⒘G度胲浶圆牧?。干冰顆粒尺寸: 使用非常細(xì)小的顆粒(如米粒級(jí)或更細(xì)),以獲得更溫和、更精細(xì)的清潔效果。噴射距離與角度: 需要精確控制噴嘴到目標(biāo)的距離和噴射角度,優(yōu)化清潔效率同時(shí)**小化潛在影響。流量: 根據(jù)污染程度和部件敏感度調(diào)節(jié)干冰流量。微粒控制:干冰沖擊會(huì)將污染物打散成更小的微粒。因此,高效的真空回收系統(tǒng)是必不可少的配套設(shè)備,必須能即時(shí)、徹底地吸走剝離下來(lái)的污染物和升華的CO?氣體,防止二次污染。系統(tǒng)需要高過(guò)濾效率(HEPA/ULPA級(jí)別)。靜電控制:高速氣流和干冰顆粒撞擊可能產(chǎn)生靜電。在半導(dǎo)體潔凈室環(huán)境中,需要考慮靜電消散措施,如使用防靜電噴嘴、接地設(shè)備、或引入可控的電離氣流。材料兼容性:雖然對(duì)大多數(shù)硬質(zhì)材料安全,但對(duì)于非常脆弱的涂層、軟性金屬(如金線)、裸露的精密電路、某些塑料或復(fù)合材料,仍需進(jìn)行嚴(yán)格的兼容性測(cè)試,確認(rèn)不會(huì)造成損傷(如微凹痕、劃痕、涂層剝離)。山東無(wú)污染干冰清洗生產(chǎn)商干冰清洗的功能強(qiáng)大可靠,清潔速度快。流程科學(xué)高效,優(yōu)勢(shì)眾多。
封裝模具與載板清潔清潔對(duì)象:塑封模具(型腔、澆道)、晶圓載板(Wafer Carrier)。污染問(wèn)題:塑封過(guò)程中,環(huán)氧樹脂(封裝材料)會(huì)在模具型腔殘留、固化,導(dǎo)致封裝體出現(xiàn)飛邊、缺膠;載板表面若有焊錫殘?jiān)?、粉塵,會(huì)影響晶圓定位精度。干冰清洗作用:干冰的低溫使殘留環(huán)氧樹脂脆化,輕松剝離模具死角(如型腔拐角、澆道狹窄處)的固化物,無(wú)需使用脫模劑(傳統(tǒng)脫模劑可能污染芯片)。清潔載板表面的微小焊錫顆粒和粉塵,保障晶圓在測(cè)試或封裝時(shí)的定位精度(誤差需控制在 ±5μm 內(nèi))。半導(dǎo)體設(shè)備與潔凈室維護(hù)半導(dǎo)體生產(chǎn)依賴大量精密設(shè)備(如光刻機(jī)、量測(cè)儀器)和 Class 1 級(jí)潔凈室,其清潔直接影響生產(chǎn)穩(wěn)定性:1. 精密設(shè)備部件清潔光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng):清潔鏡頭表面的油污、粉塵(鏡頭精度達(dá)納米級(jí),任何污染都會(huì)影響曝光精度),酷爾森的干冰顆粒(1μm 以下)可在不接觸鏡頭的情況下去除污染物,避免劃傷鍍膜層。自動(dòng)化機(jī)械臂:清潔機(jī)械臂抓手(End Effector)表面的晶圓殘留顆粒(如硅粉),避免對(duì)下一片晶圓造成二次污染。量測(cè)儀器探頭:如膜厚儀、橢偏儀的檢測(cè)探頭,去除表面的有機(jī)污染物,保障量測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性(誤差需≤0.1nm)。
配套耗材—3mm顆粒干冰。干冰易揮發(fā),不易存放太久,建議每次購(gòu)買夠用即可,盡量不要過(guò)多儲(chǔ)存。干冰保溫箱小型周轉(zhuǎn)保溫箱:儲(chǔ)存容量:50KG保溫時(shí)間:2--3天。**溫干冰保溫柜儲(chǔ)存容量:100kg-300kg保溫時(shí)間:每天保存損耗量<1%。酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰臼且患壹杀逑丛O(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售、服務(wù)、干冰制造為一體的實(shí)體型企業(yè)。目前主要做以下產(chǎn)品系列,干冰清洗系統(tǒng),雪花清洗系統(tǒng)(液態(tài)二氧化碳清洗)各種清洗解決方案。目前在國(guó)內(nèi)干冰清洗行業(yè)處于**地位,尤其在鋰電池產(chǎn)線清潔細(xì)分領(lǐng)域始終保持行業(yè)***,是中國(guó)智能環(huán)保清洗的**者?,F(xiàn)廠區(qū)占地面積12000平方米,設(shè)有零件制造車間、產(chǎn)品總裝車間、干冰制造車間、質(zhì)量檢測(cè)室等作業(yè)車間,已量產(chǎn)各種系列型號(hào)干冰清洗機(jī)、雪花清洗機(jī)、積碳清洗機(jī)、純氣動(dòng)干冰清洗機(jī)等十多種產(chǎn)品。公司已經(jīng)通過(guò)了ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認(rèn)證。干冰清洗的功能令人滿意,可快速清潔污漬。流程高效有序,優(yōu)勢(shì)突出。
酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰靖杀逑礊镻CBA清洗提供了一種獨(dú)特且強(qiáng)大的解決方案,尤其在需要避免水分、化學(xué)溶劑、高應(yīng)力損傷以及清洗難以觸及區(qū)域的應(yīng)用中具有不可替代的優(yōu)勢(shì)。它非常適合:高可靠性要求的領(lǐng)域(航空航天、醫(yī)療設(shè)備、汽車電子)。包含對(duì)水或溶劑敏感的元件的PCBA。帶有BGA、QFN等底部焊點(diǎn)器件的高密度板卡。在線清洗和返工維修場(chǎng)景。深入清潔:干冰顆粒能有效進(jìn)入傳統(tǒng)方法難以觸及的區(qū)域,如高密度IC引腳之間、BGA/QFN封裝底部與PCB之間的狹窄縫隙、連接器內(nèi)部、散熱片鰭片下方等。環(huán)境友好與操作安全:無(wú)二次污染: ***的廢物是被去除的污染物本身,易于收集處理。不產(chǎn)生廢水、廢溶劑等危險(xiǎn)廢物。無(wú)毒: 使用食品級(jí)二氧化碳,過(guò)程安全(需注意通風(fēng),防止CO2聚集導(dǎo)致缺氧)。非易燃易爆: 無(wú)火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)。高效快捷:在線清洗,減少生產(chǎn)停頓時(shí)間。清洗效果立即可見。提升可靠性:徹底去除離子性殘留物,防止電化學(xué)遷移,提高長(zhǎng)期可靠性和絕緣性能。避免水洗/溶劑清洗后烘干不徹底帶來(lái)的潛在風(fēng)險(xiǎn)。干冰清洗功能強(qiáng)大無(wú)比,清潔快速?gòu)氐?。流程便捷科學(xué),優(yōu)勢(shì)明顯。廣東氣動(dòng)干冰清洗聯(lián)系方式
干冰清洗的功能實(shí)用強(qiáng)大,清潔快速準(zhǔn)確。流程高效有序,優(yōu)勢(shì)突出。云南不銹鋼干冰清洗哪里買
注意事項(xiàng)針對(duì)極敏感部件(如光刻機(jī)鏡頭、光罩鍍鉻層),需采用“超細(xì)亞微米干冰顆?!保?.5-1μm)和“脈沖式低壓力噴射”,避免氣流沖擊導(dǎo)致的微損傷。清潔過(guò)程需在潔凈室內(nèi)**區(qū)域進(jìn)行,配合高效過(guò)濾器(HEPA)回收剝離的污染物,防止二次擴(kuò)散。綜上,酷爾森icestorm干冰清洗通過(guò)解決半導(dǎo)體行業(yè)“微污染去除難、精密部件易損傷、清潔與效率矛盾”三大痛點(diǎn),成為提升芯片良率(尤其先進(jìn)制程,如7nm及以下)和生產(chǎn)穩(wěn)定性的**工藝輔助技術(shù),在半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)中,其應(yīng)用場(chǎng)景正從設(shè)備維護(hù)向晶圓直接清潔(如先進(jìn)封裝前的焊盤處理)進(jìn)一步拓展。在半導(dǎo)體行業(yè),生產(chǎn)環(huán)境(如 Class 1 級(jí)潔凈室)和產(chǎn)品(晶圓、芯片、精密部件)對(duì) “零污染、無(wú)損傷、超高潔凈度” 的要求堪稱工業(yè)領(lǐng)域**嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)之一。干冰清洗憑借無(wú)殘留、化學(xué)惰性、低溫?zé)o損、適配精密場(chǎng)景等特性,成為解決半導(dǎo)體生產(chǎn)中 “微污染物去除、設(shè)備維護(hù)、產(chǎn)品良率提升” 的關(guān)鍵技術(shù)。云南不銹鋼干冰清洗哪里買