在晶圓切割的質量檢測方面，中清航科引入了三維形貌檢測技術。通過高分辨率 confocal 顯微鏡對切割面進行三維掃描，生成精確的表面粗糙度與輪廓數(shù)據(jù)，粗糙度測量精度可達 0.1nm，為工藝優(yōu)化提供量化依據(jù)。該檢測結果可直接與客戶的質量系統(tǒng)對接，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的無縫流轉。針對晶圓切割過程中的熱變形問題，中清航科開發(fā)了恒溫控制切割艙。通過高精度溫度傳感器與 PID 溫控系統(tǒng)，將切割艙內的溫度波動控制在 ±0.1℃以內，同時采用熱誤差補償算法，實時修正溫度變化引起的機械變形，確保在不同環(huán)境溫度下的切割精度穩(wěn)定一致。中清航科晶圓切割代工獲ISO 9001認證，月產(chǎn)能達50萬片。麗水碳化硅晶圓切割藍膜

針對晶圓切割過程中的靜電防護問題，中清航科的設備采用全流程防靜電設計。從晶圓上料的導電吸盤到切割區(qū)域的離子風扇，再到下料區(qū)的防靜電輸送軌道，形成完整的靜電防護體系，將設備表面靜電電壓控制在 50V 以下，有效避免靜電對敏感芯片造成的潛在損傷。中清航科的晶圓切割設備具備強大的數(shù)據(jù)分析能力，內置數(shù)據(jù)挖掘模塊可對歷史切割數(shù)據(jù)進行深度分析，識別影響切割質量的關鍵因素，如環(huán)境溫度波動、晶圓批次差異等，并自動生成工藝優(yōu)化建議。通過持續(xù)的數(shù)據(jù)積累與分析，幫助客戶不斷提升切割工藝水平，實現(xiàn)持續(xù)改進。南通碳化硅線晶圓切割劃片切割粉塵在線監(jiān)測中清航科傳感器精度達0.01μm顆粒物檢測。

中清航科開放6條全自動切割產(chǎn)線，支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實時追蹤進度，平均交貨周期48小時，良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光（脈寬400fs）配合氦氣保護，在銅-硅界面形成納米級熔融區(qū)，剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺，收錄3000+材料參數(shù)組合?？蛻糨斎刖A類型/厚度/目標良率，自動生成比較好參數(shù)包，工藝開發(fā)周期縮短90%。

在晶圓切割設備的自動化升級浪潮中，中清航科走在行業(yè)前列。其新推出的智能切割單元，可與前端光刻設備、后端封裝設備實現(xiàn)無縫對接，通過 SECS/GEM 協(xié)議完成數(shù)據(jù)交互，實現(xiàn)半導體生產(chǎn)全流程的自動化閉環(huán)。該單元還具備自我診斷功能，能提前預警潛在故障，將非計劃停機時間減少 60%，為大規(guī)模生產(chǎn)提供堅實保障。對于小尺寸晶圓的切割，傳統(tǒng)設備往往面臨定位難、效率低的問題。中清航科專門設計了針對 2-6 英寸小晶圓的切割工作站，采用多工位旋轉工作臺，可同時處理 8 片小晶圓，切割效率較單工位設備提升 4 倍。配合特制的彈性吸盤，能有效避免小晶圓吸附時的損傷，特別適合 MEMS 傳感器、射頻芯片等小批量高精度產(chǎn)品的生產(chǎn)。中清航科推出晶圓切割應力模擬軟件，提前預判崩邊風險。

中清航科的晶圓切割設備通過了多項國際認證，包括 CE、FCC、UL 等，符合全球主要半導體市場的準入標準。設備設計嚴格遵循國際安全規(guī)范與電磁兼容性要求，可直接出口至歐美、日韓等地區(qū)，為客戶拓展國際市場提供設備保障。在晶圓切割的刀具校準方面，中清航科創(chuàng)新采用激光對刀技術。通過高精度激光束掃描刀具輪廓，自動測量刀具直徑、刃口角度等參數(shù)，并與標準值對比，自動計算補償值，整個校準過程只需 3 分鐘，較傳統(tǒng)機械對刀方式提升效率 80%，且校準精度更高。切割道寬度測量儀中清航科研發(fā)，在線檢測精度達0.05μm。蘇州芯片晶圓切割代工廠

中清航科晶圓切割代工廠通過ISO14644潔凈認證，量產(chǎn)經(jīng)驗足。麗水碳化硅晶圓切割藍膜

面對全球半導體設備供應鏈的不確定性，中清航科構建了多元化的供應鏈體系。與國內 200 余家質優(yōu)供應商建立長期合作關系，關鍵部件實現(xiàn)多源供應，同時在各地建立備件中心，儲備充足的易損件與中心部件，確保設備維修與升級時的備件及時供應，縮短設備停機時間。晶圓切割設備的能耗成本在長期運行中占比較大，中清航科通過能效優(yōu)化設計，使設備的單位能耗降低至 0.5kWh / 片（12 英寸晶圓），較行業(yè)平均水平降低 35%。采用智能休眠技術，設備閑置時自動進入低功耗模式，進一步節(jié)約能源消耗，為客戶降低長期運營成本。麗水碳化硅晶圓切割藍膜

中清航科（江蘇）科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經(jīng)濟奇跡，一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創(chuàng)新天地，繪畫新藍圖，在江蘇省等地區(qū)的數(shù)碼、電腦中始終保持良好的信譽，信奉著“爭取每一個客戶不容易，失去每一個用戶很簡單”的理念，市場是企業(yè)的方向，質量是企業(yè)的生命，在公司有效方針的領導下，全體上下，團結一致，共同進退，齊心協(xié)力把各方面工作做得更好，努力開創(chuàng)工作的新局面，公司的新高度，未來中清航科科技供應和您一起奔向更美好的未來，即使現(xiàn)在有一點小小的成績，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結經(jīng)驗，才能繼續(xù)上路，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想！