未來(lái)流片技術(shù)將向更先進(jìn)制程、更高集成度發(fā)展，中清航科持續(xù)投入研發(fā)，構(gòu)建前瞻性的流片代理能力。在 3D IC 領(lǐng)域，與晶圓廠合作開(kāi)發(fā) TSV 與混合鍵合流片方案，支持芯片堆疊的高精度對(duì)準(zhǔn)，已成功代理多個(gè) 3D 堆疊芯片的流片項(xiàng)目，鍵合良率達(dá)到 99% 以上。針對(duì)量子芯片等前沿領(lǐng)域，組建專項(xiàng)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，研究適合量子比特的特殊流片工藝，與科研機(jī)構(gòu)合作推進(jìn)量子芯片的流片驗(yàn)證。在智能制造方面，開(kāi)發(fā) AI 驅(qū)動(dòng)的流片參數(shù)優(yōu)化系統(tǒng)，通過(guò)機(jī)器學(xué)習(xí)預(yù)測(cè)工藝參數(shù)對(duì)芯片性能的影響，實(shí)現(xiàn)流片參數(shù)的自動(dòng)優(yōu)化，目前該系統(tǒng)在成熟制程的測(cè)試中，可使良率提升 8% - 12%。通過(guò)持續(xù)創(chuàng)新，中清航科致力于為客戶提供面向未來(lái)的流片代理服務(wù)，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)突破與創(chuàng)新發(fā)展。中清航科提供晶圓廠備選方案，突發(fā)斷供72小時(shí)切換產(chǎn)線。SMIC MPW流片代理聯(lián)系方式

流片代理作為連接芯片設(shè)計(jì)企業(yè)與晶圓代工廠的關(guān)鍵橋梁，能有效解決中小設(shè)計(jì)公司面臨的產(chǎn)能短缺、流程復(fù)雜等難題。中清航科憑借與臺(tái)積電、三星、中芯國(guó)際等全球 Top10 晶圓廠的深度合作關(guān)系，建立起穩(wěn)定的產(chǎn)能儲(chǔ)備通道，可優(yōu)先保障客戶在 12nm 至 0.18μm 工藝節(jié)點(diǎn)的流片需求。其專業(yè)的 DFM（可制造性設(shè)計(jì)）團(tuán)隊(duì)會(huì)提前介入設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)，通過(guò) DFT（可測(cè)試性設(shè)計(jì)）優(yōu)化與工藝兼容性分析，將流片一次通過(guò)率提升至 95% 以上，為客戶節(jié)省 30% 的流片成本。鎮(zhèn)江臺(tái)積電 110nm流片代理中清航科提供3D堆疊流片方案，內(nèi)存帶寬提升8倍。

流片代理服務(wù)中的應(yīng)急產(chǎn)能保障是中清航科的重要優(yōu)勢(shì)，其與晶圓廠簽訂了應(yīng)急產(chǎn)能協(xié)議，預(yù)留 5% 的應(yīng)急產(chǎn)能用于應(yīng)對(duì)客戶的緊急需求。當(dāng)客戶因市場(chǎng)突發(fā)需求或流片失敗需要緊急補(bǔ)流時(shí)，可在 24 小時(shí)內(nèi)啟動(dòng)應(yīng)急產(chǎn)能，將緊急流片周期壓縮至常規(guī)周期的 50%。某智能手機(jī)芯片客戶因競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手突然發(fā)布新品，通過(guò)中清航科的應(yīng)急產(chǎn)能服務(wù)，在 3 周內(nèi)完成緊急流片，及時(shí)推出競(jìng)品，保住了市場(chǎng)份額。針對(duì)光子芯片的流片需求，中清航科與專業(yè)光子集成晶圓廠建立合作關(guān)系。其技術(shù)團(tuán)隊(duì)熟悉硅光子、鈮酸鋰等光子材料的流片工藝，能為客戶提供波導(dǎo)設(shè)計(jì)、光柵耦合器優(yōu)化、光調(diào)制器工藝參數(shù)選擇等專業(yè)服務(wù)。通過(guò)引入激光干涉儀與光譜分析儀，對(duì)流片后的光子芯片進(jìn)行光學(xué)性能測(cè)試，插入損耗、偏振消光比等關(guān)鍵參數(shù)的測(cè)試精度達(dá)到行業(yè)水平，已成功代理多個(gè)數(shù)據(jù)中心光模塊芯片的流片項(xiàng)目。

流片過(guò)程的復(fù)雜性往往讓設(shè)計(jì)企業(yè)望而生畏，中清航科通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化流程再造，將流片環(huán)節(jié)拆解為 12 個(gè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，每個(gè)節(jié)點(diǎn)都配備專屬技術(shù)人員負(fù)責(zé)。在項(xiàng)目啟動(dòng)階段，其 DFM 工程師會(huì)對(duì)客戶的 GDSII 文件進(jìn)行多方面審查，重點(diǎn)檢查光刻層對(duì)齊、金屬線寬等可制造性問(wèn)題，平均能提前發(fā)現(xiàn) 80% 的潛在生產(chǎn)隱患。進(jìn)入晶圓廠生產(chǎn)階段，項(xiàng)目經(jīng)理會(huì)建立每日進(jìn)度通報(bào)機(jī)制，通過(guò)可視化平臺(tái)實(shí)時(shí)展示晶圓生產(chǎn)狀態(tài)，包括清洗、光刻、蝕刻等各工序的完成情況。針對(duì)突發(fā)狀況，中清航科建立了三級(jí)應(yīng)急響應(yīng)體系，普通問(wèn)題 4 小時(shí)內(nèi)給出解決方案，重大問(wèn)題 24 小時(shí)內(nèi)協(xié)調(diào)晶圓廠技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同處理，去年流片項(xiàng)目的按時(shí)交付率達(dá)到 98.7%，遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平。中清航科小批量流片專線，支持100片起訂。

在流片文件的標(biāo)準(zhǔn)化處理方面，中清航科擁有成熟的轉(zhuǎn)換體系。不同晶圓廠對(duì) GDSII、OASIS 等文件格式的要求存在差異，其自主開(kāi)發(fā)的文件轉(zhuǎn)換工具可實(shí)現(xiàn)一鍵適配，自動(dòng)檢測(cè)并修正圖層、尺寸偏差等問(wèn)題。針對(duì)先進(jìn)制程中的 OPC（光學(xué)鄰近校正）要求，技術(shù)團(tuán)隊(duì)會(huì)進(jìn)行專項(xiàng)優(yōu)化，確保掩膜版制作的準(zhǔn)確性，減少因文件格式問(wèn)題導(dǎo)致的流片延誤。中清航科的流片代理服務(wù)具備全球化布局優(yōu)勢(shì)，在北美、歐洲、亞洲設(shè)立三大區(qū)域中心，可就近響應(yīng)客戶需求。對(duì)于海外設(shè)計(jì)公司需要國(guó)內(nèi)晶圓廠流片的場(chǎng)景，其能提供跨境物流、關(guān)稅減免等配套服務(wù)，通過(guò)與海關(guān)的 AEO 認(rèn)證合作，將晶圓進(jìn)出口清關(guān)時(shí)間縮短至 24 小時(shí)。同時(shí)支持多幣種結(jié)算與本地化服務(wù)，消除跨國(guó)流片的溝通障礙。中清航科靜電防護(hù)方案，流片過(guò)程ESD損傷率降至0.01%。鹽城SMIC 40nm流片代理

中清航科多項(xiàng)目晶圓服務(wù)，支持5家設(shè)計(jì)公司共享光罩。SMIC MPW流片代理聯(lián)系方式

中清航科的流片代理服務(wù)建立了嚴(yán)格的供應(yīng)商管理體系，對(duì)合作的晶圓廠、掩膜廠、測(cè)試廠等供應(yīng)商進(jìn)行定期評(píng)估與審核。評(píng)估指標(biāo)包括技術(shù)能力、質(zhì)量水平、交貨周期、服務(wù)態(tài)度等，只有評(píng)估得分在 85 分以上的供應(yīng)商才能繼續(xù)合作。通過(guò)嚴(yán)格的供應(yīng)商管理，確保為客戶提供穩(wěn)定可靠的流片資源，例如與合作晶圓廠共同制定質(zhì)量改進(jìn)計(jì)劃，使流片一次通過(guò)率持續(xù)提升，目前已達(dá)到 97.5%。對(duì)于需要進(jìn)行系統(tǒng)級(jí)封裝（SiP）流片的客戶，中清航科提供從芯片設(shè)計(jì)到 SiP 封裝的一站式服務(wù)。其技術(shù)團(tuán)隊(duì)熟悉 SiP 封裝的流片要求，能為客戶提供芯片分區(qū)設(shè)計(jì)、互連方案優(yōu)化、熱管理設(shè)計(jì)等專業(yè)建議，確保流片后的芯片能與 SiP 封裝工藝良好兼容。通過(guò)與先進(jìn)封裝廠的合作，實(shí)現(xiàn)芯片流片與 SiP 封裝的協(xié)同設(shè)計(jì)，將 SiP 產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)周期縮短 40%。已成功代理多個(gè)智能穿戴設(shè)備 SiP 芯片的流片項(xiàng)目，產(chǎn)品的體積縮小 30%，性能提升 20%。SMIC MPW流片代理聯(lián)系方式