綠色流片是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)，中清航科積極推動(dòng)流片過程的環(huán)保優(yōu)化，構(gòu)建綠色流片代理服務(wù)體系。在晶圓廠選擇上，優(yōu)先與通過 ISO14001 認(rèn)證的企業(yè)合作，這些晶圓廠在廢水處理、廢氣排放等方面達(dá)到嚴(yán)格的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。在流片方案設(shè)計(jì)中，推薦采用低能耗工藝，如減少高溫工藝步驟、優(yōu)化光刻次數(shù)等，幫助客戶降低流片過程的碳排放。針對(duì)測(cè)試環(huán)節(jié)產(chǎn)生的廢晶圓，中清航科與專業(yè)回收企業(yè)合作，進(jìn)行材料回收再利用，晶圓回收率達(dá)到 90% 以上。定期為客戶提供流片碳足跡報(bào)告，分析各環(huán)節(jié)的碳排放情況，并提出優(yōu)化建議，助力客戶實(shí)現(xiàn)碳中和目標(biāo)。某汽車芯片客戶通過中清航科的綠色流片方案，流片過程的碳排放降低了 25%，滿足了整車廠的環(huán)保要求。中清航科提供車規(guī)級(jí)流片代理，滿足AEC-Q100 Grade1認(rèn)證。南京TSMC 12nm流片代理

中清航科注重為客戶提供持續(xù)的技術(shù)支持，即使流片完成后仍保留 1 年的技術(shù)服務(wù)期。客戶在芯片測(cè)試或應(yīng)用過程中遇到與流片相關(guān)的問題，技術(shù)團(tuán)隊(duì)會(huì)提供分析支持，如協(xié)助排查工藝導(dǎo)致的性能偏差、提供二次流片的優(yōu)化建議等。去年某 AI 芯片客戶量產(chǎn)時(shí)出現(xiàn)良率波動(dòng)，其技術(shù)團(tuán)隊(duì)通過回溯流片數(shù)據(jù)，3 天內(nèi)找到光刻參數(shù)偏差原因，幫助客戶恢復(fù)正常生產(chǎn)。在流片成本透明化方面，中清航科實(shí)行 “陽光報(bào)價(jià)” 機(jī)制，所有費(fèi)用明細(xì)清晰可查，包含晶圓代工費(fèi)、掩膜版費(fèi)、測(cè)試費(fèi)等，無隱藏收費(fèi)項(xiàng)目?？蛻艨赏ㄟ^在線報(bào)價(jià)系統(tǒng)實(shí)時(shí)獲取不同工藝節(jié)點(diǎn)、不同晶圓廠的參考報(bào)價(jià)，系統(tǒng)會(huì)根據(jù)客戶需求自動(dòng)生成成本構(gòu)成分析。其定期發(fā)布的《流片成本白皮書》，還為行業(yè)提供客觀的價(jià)格趨勢(shì)參考。中芯國際 180流片代理市場(chǎng)報(bào)價(jià)選擇中清航科流片代理，享受12家主流晶圓廠優(yōu)先產(chǎn)能配額。

流片過程中的質(zhì)量管控是中清航科的主要優(yōu)勢(shì)之一，其建立了覆蓋設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、測(cè)試的全流程質(zhì)量管理體系。在設(shè)計(jì)階段，引入第三方 DFM 工具進(jìn)行單獨(dú)審核，確保設(shè)計(jì)方案符合晶圓廠工藝要求；生產(chǎn)階段，派駐駐廠工程師實(shí)時(shí)監(jiān)督關(guān)鍵工藝，每 2 小時(shí)記錄一次工藝參數(shù)，形成完整的參數(shù)追溯檔案；測(cè)試階段，除晶圓廠常規(guī)測(cè)試外，中清航科額外增加一層測(cè)試驗(yàn)證，包括 CP 測(cè)試、EL 測(cè)試等，確保不良品不流入下道工序。為保障質(zhì)量數(shù)據(jù)的可靠性，采用區(qū)塊鏈技術(shù)存儲(chǔ)關(guān)鍵質(zhì)量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)不可篡改與全程可追溯。通過這套質(zhì)量管理體系，中清航科代理的流片項(xiàng)目一次通過率達(dá)到 97%，較行業(yè)平均水平高出 12 個(gè)百分點(diǎn)，客戶的質(zhì)量投訴率控制在 0.3% 以下。

流片代理服務(wù)的靈活性體現(xiàn)在對(duì)客戶特殊需求的快速響應(yīng)上，中清航科為此建立了特殊需求快速響應(yīng)機(jī)制。針對(duì)客戶的定制化要求，如特殊晶圓尺寸、非常規(guī)測(cè)試項(xiàng)目、緊急交貨等，成立專項(xiàng)服務(wù)小組，24 小時(shí)內(nèi)給出可行性方案與報(bào)價(jià)。在晶圓標(biāo)記環(huán)節(jié)，支持客戶的定制化標(biāo)記需求，包括公司 LOGO、產(chǎn)品型號(hào)、批次信息等，標(biāo)記精度達(dá)到 ±5μm。針對(duì)需要特殊包裝的客戶，提供防靜電、防潮、防震等定制化包裝方案，滿足航空運(yùn)輸、長(zhǎng)期存儲(chǔ)等特殊要求。去年處理了超過 300 項(xiàng)特殊需求，包括為某航天客戶代理抗輻射芯片的流片，滿足其在極端環(huán)境下的測(cè)試要求，客戶滿意度達(dá)到 98%。中清航科跨境流片代理，處理全部進(jìn)出口許可文件。

流片過程的復(fù)雜性往往讓設(shè)計(jì)企業(yè)望而生畏，中清航科通過標(biāo)準(zhǔn)化流程再造，將流片環(huán)節(jié)拆解為 12 個(gè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，每個(gè)節(jié)點(diǎn)都配備專屬技術(shù)人員負(fù)責(zé)。在項(xiàng)目啟動(dòng)階段，其 DFM 工程師會(huì)對(duì)客戶的 GDSII 文件進(jìn)行多方面審查，重點(diǎn)檢查光刻層對(duì)齊、金屬線寬等可制造性問題，平均能提前發(fā)現(xiàn) 80% 的潛在生產(chǎn)隱患。進(jìn)入晶圓廠生產(chǎn)階段，項(xiàng)目經(jīng)理會(huì)建立每日進(jìn)度通報(bào)機(jī)制，通過可視化平臺(tái)實(shí)時(shí)展示晶圓生產(chǎn)狀態(tài)，包括清洗、光刻、蝕刻等各工序的完成情況。針對(duì)突發(fā)狀況，中清航科建立了三級(jí)應(yīng)急響應(yīng)體系，普通問題 4 小時(shí)內(nèi)給出解決方案，重大問題 24 小時(shí)內(nèi)協(xié)調(diào)晶圓廠技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同處理，去年流片項(xiàng)目的按時(shí)交付率達(dá)到 98.7%，遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平。中清航科量產(chǎn)轉(zhuǎn)流片服務(wù)，首萬片晶圓缺陷率＜200DPW。中芯國際 180流片代理市場(chǎng)報(bào)價(jià)

流片進(jìn)度可視化平臺(tái)中清航科開發(fā)，實(shí)時(shí)追蹤晶圓廠在制狀態(tài)。南京TSMC 12nm流片代理

在流片項(xiàng)目的風(fēng)險(xiǎn)管理方面，中清航科建立了全流程風(fēng)險(xiǎn)識(shí)別與應(yīng)對(duì)機(jī)制。項(xiàng)目啟動(dòng)前進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估，識(shí)別設(shè)計(jì)兼容性、產(chǎn)能波動(dòng)、工藝穩(wěn)定性等潛在風(fēng)險(xiǎn)，并制定相應(yīng)的應(yīng)對(duì)預(yù)案；流片過程中設(shè)置風(fēng)險(xiǎn)預(yù)警指標(biāo)，如參數(shù)偏差超過閾值、進(jìn)度延遲超 3 天等，觸發(fā)預(yù)警后立即啟動(dòng)應(yīng)對(duì)措施。針對(duì)不可抗力導(dǎo)致的流片中斷，提供流片保險(xiǎn)對(duì)接服務(wù)，比較高可獲得 80% 的損失賠付，去年成功為 12 家客戶化解流片風(fēng)險(xiǎn)，減少損失超 500 萬元。中清航科的流片代理服務(wù)注重與客戶的長(zhǎng)期合作，推出客戶忠誠度計(jì)劃。根據(jù)客戶的年度流片金額與合作年限，提供階梯式優(yōu)惠，年度流片超 1000 萬元的客戶可享受額外 5% 的費(fèi)用折扣；合作滿 3 年的客戶自動(dòng)升級(jí)為 VIP 客戶，享受專屬產(chǎn)能保障、技術(shù)團(tuán)隊(duì)優(yōu)先響應(yīng)等特權(quán)。同時(shí)建立客戶成功案例庫，定期分享合作客戶的流片成果與經(jīng)驗(yàn)，增強(qiáng)客戶粘性，目前合作超過 5 年的客戶占比達(dá)到 65%。南京TSMC 12nm流片代理