隨著電子和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和生物、醫(yī)療產(chǎn)業(yè)等對超精密的需求，越來越需要能夠加工數(shù)微米大小目標物的超精密加工技術(shù)。激光微加工是指利用激光束的高能量，在不對要加工的材料造成熱損傷的情況下，通過瞬間熔融和蒸發(fā)材料，以數(shù)微米至數(shù)納米顆粒的大小對材料進行切割、鉆孔等加工。通常，微加工使用皮秒或納秒激光和超短脈沖激光，其波長非常短或脈沖寬度非常短。超短脈沖激光，包括Excimer激光，廣泛應(yīng)用于眼科、玻璃和塑料的精密加工、精密零件的制造、地球科學(xué)和天體研究以及光譜和FBG工藝。據(jù)悉，用于微細加工的大部分激光都具有極高的脈沖能量和尖頭輸出功率和能量密度，因此無法通過光纜傳輸激光-光束，而且與能夠穩(wěn)定傳輸激光-光束的鏡片、鏡片等光學(xué)裝置一起精密處理要加工材料的技術(shù)也很重要。微加工技術(shù)廣泛應(yīng)用于超精密零件的加工、半導(dǎo)體領(lǐng)域和醫(yī)療、生物領(lǐng)域等，主要應(yīng)用于玻璃切割、Ceramic切割或鉆孔以及半導(dǎo)體晶片切割。微泰利用飛秒激光鉆削技術(shù)可加工HoleSizeMIN5微米微孔，孔間距可加工到3微米，用于MLCC疊層吸膜板，吸膜板MAX可加工80萬微孔。可加工各種形狀的孔，同一位置內(nèi)加工不規(guī)則的孔，可進行不規(guī)則的混合孔超精密加工對工件材質(zhì)、加工設(shè)備、工具、測量和環(huán)境等條件都有要求，需要綜合應(yīng)用精密機械和其他先進技術(shù)。韓國加工超精密超精細

精密、超精密加工技術(shù)是提高機電產(chǎn)品性能、質(zhì)量、工作壽命和可靠性，以及節(jié)材節(jié)能的重要途徑。如：提高汽缸和活塞的加工精度，就可提高汽車發(fā)動機的效率和馬力，減少油耗；提高滾動軸承的滾動體和滾道的加工精度，就可提高軸承的轉(zhuǎn)速，減少振動和噪聲；提高磁盤加工的平面度，從而減少它與磁頭間的間隙，就可提高磁盤的存儲量；提高半導(dǎo)體器件的刻線精度（減少線寬，增加密度）就可提高微電子芯片的集成度。工業(yè)發(fā)達國家的一般工廠已能穩(wěn)定掌握3 μm的加工精度（我國為5 μm）。同此，通常稱低于此值的加工為普通精度加工，而高于此值的加工則稱之為高精度加工。飛秒激光超精密打孔超精密激光加工是先進的加工技術(shù)，它利用高效激光對材料進行雕刻和切割，主要的設(shè)備包括電腦和激光切割機。

高精度、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題?？偟膩碚f，固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度，而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性，但以部分放棄加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高，但無法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法，成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生。

微泰生產(chǎn)和供應(yīng)半導(dǎo)體領(lǐng)域的TCB拾取工具Pick-upTools、翻轉(zhuǎn)芯片芯片和相機模組的拾取工具。憑借30年的加工技術(shù)，我們精確地加工和管理平面度和直角度，并在此基礎(chǔ)上生產(chǎn)和供應(yīng)各種高質(zhì)量的拾取工具Pick-upTools。Attach部（貼合部）平面度控制在0.001以下，為客戶提供高質(zhì)量的產(chǎn)品。取件工具包括硬質(zhì)合金、陶瓷、STS420J2等材料的普遍使用，微泰制造商可以說是很好的制造商。微泰拾取工具Pick-upTools應(yīng)用于CameraModulePick-upTools攝像頭模組拾取工具，TCBBondingTools、TCB粘合工具，SMTPick-upToolsSMT拾取工具CeramicPick-upFinger陶瓷拾取夾具。在手機的相機模型生產(chǎn)過程中，在PCB和圖像傳感器的焊接過程中使用了連接工具，以確保高良率和高精度，占韓國市場90%。Meteral:Alumina,AIN,CopperApplication:Pick-upandbondingtoolsforcameramoduleproduction。Meteral：氧化鋁、AIN、銅應(yīng)用，用于相機模塊生產(chǎn)的拾取和粘合工具。激光的應(yīng)用已從大尺寸的粗糙加工，慢慢擴展到小尺寸、高精度的領(lǐng)域。

精密加工小知識：IT是加工精度的衡量單位，主要為衡量生產(chǎn)產(chǎn)品的精度、品質(zhì)、加工誤差。IT后面的數(shù)值愈大，表示精度越低、誤差越大，如IT9就比IT5來的粗糙；公差等級從IT01，IT0，IT1，IT2，IT3至IT18一共有20個。精密加工技術(shù)特色介紹隨著時代變化，工業(yè)能力的不斷進步，有可能現(xiàn)在的精密加工也會變成明天的粗加工。常見工藝過程有：車削、銑削、鉆孔、插齒、珩磨、磨削等；若有特殊需求，在車床加工完后還會多一道熱處理的方式，包括：滲碳，淬火，回火等，提升硬度、機械規(guī)格。目前精密加工技術(shù)能應(yīng)用在「所有的」金屬材料、塑料、木材、石磨與玻璃上，但由于不同材質(zhì)的表面都有所差異，所以切割與研磨等數(shù)值都需在CAD（計算機輔助設(shè)計）或CAM（計算機輔助制造）程序上架構(gòu)好，并嚴格遵守才能確保產(chǎn)品品質(zhì)、降低誤差。由于材料范圍廣且精度高，精度加工技術(shù)普遍會應(yīng)用在航太業(yè)、醫(yī)療器材、太陽能板零件等。此外，當(dāng)精密加工已無法達到更好的形狀精度(formaccuracy)、表面粗糙度(surfaceroughness)與尺寸精度時，就會需要使用到超精密加工的技術(shù)。超精密激光加工是可以高速制造精密零件的加工技術(shù)，它可以減少工業(yè)廢物，同時將有害物質(zhì)的排放量降低。自動化超精密研磨

激光超精密打孔是將光斑直徑縮小到微米級，從而獲得高的激光功率密度，幾乎可以在任何材料實行激光打孔。韓國加工超精密超精細

高精度、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題?？偟膩碚f，固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度，而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性，但以失去加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高，但無法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法，成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生。韓國加工超精密超精細