光學(xué)檢測(cè)儀（Automatic Optic Inspection，簡(jiǎn)稱AOI）是一種基于光學(xué)原理檢測(cè)焊接生產(chǎn)缺陷的自動(dòng)化設(shè)備，主要應(yīng)用于電子制造領(lǐng)域。該設(shè)備通過攝像頭自動(dòng)掃描印刷電路板（PCB），采集圖像并與預(yù)設(shè)合格參數(shù)進(jìn)行對(duì)比，識(shí)別焊接缺陷如橋接、元件移位等。其軟件具備綜合驗(yàn)證功能，可優(yōu)化檢測(cè)程序以減少誤報(bào)，并支持無鉛焊膏工藝的適應(yīng)性調(diào)整。系統(tǒng)通過靈活的傳感器模塊、照明及算法分析，能夠適應(yīng)元件形態(tài)變化，兼容現(xiàn)有生產(chǎn)線設(shè)備。AOI技術(shù)近年快速發(fā)展，已成為電子制造中提升檢測(cè)效率的關(guān)鍵工具之一?；c支架：提供機(jī)械支撐與運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu).張家港重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

缺陷檢測(cè)基于光學(xué)成像與圖像處理技術(shù)，通過特殊光源組合突出表面缺陷特征：暗場(chǎng)打光捕捉劃傷、油墨黑點(diǎn)等平面缺陷，明場(chǎng)打光檢測(cè)凹凸點(diǎn)、橘紋等立體缺陷，透光打光用于砂眼、崩邊等透光缺陷的輪廓定位 [1] [3]。檢測(cè)系統(tǒng)配置顯微鏡級(jí)物像放大器與**照明光源，采用線掃相機(jī)逐行拍攝技術(shù)實(shí)現(xiàn)高速采集 [2]。典型檢測(cè)系統(tǒng)包含以下**組件：基座與支架：提供機(jī)械支撐與運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)夾緊裝置：實(shí)現(xiàn)檢測(cè)物品的精確定位驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)：控制檢測(cè)區(qū)域移動(dòng)與翻轉(zhuǎn)多光譜攝像頭：搭載可調(diào)式光學(xué)鏡頭組太倉通用自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備按需定制使用檢查設(shè)備來監(jiān)視生產(chǎn)過程。

圖像分析模塊：運(yùn)行閾值分割、形態(tài)學(xué)處理算法 [2-3]2024年實(shí)用新型專利顯示，先進(jìn)系統(tǒng)可集成分揀模塊實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化品質(zhì)分級(jí)，檢測(cè)流程耗時(shí)較人工檢測(cè)縮短90% [2]。檢測(cè)算法分為三類技術(shù)路線：傳統(tǒng)圖像處理：采用全局/局部閾值分割進(jìn)行像素分類，配合邊緣檢測(cè)算法提取缺陷輪廓深度學(xué)習(xí)模型：基于卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的特征提取技術(shù)，適用于復(fù)雜背景缺陷檢測(cè)混合模型：結(jié)合傳統(tǒng)算法預(yù)處理與深度學(xué)習(xí)分類，提升微小缺陷識(shí)別率2025年顯示屏缺陷檢測(cè)**顯示，blob分析與幾何位置匹配算法可將重復(fù)缺陷檢出率提升至99.7%。

PC機(jī)應(yīng)用程序在WIN2000操作系統(tǒng)上, 編寫了客戶服務(wù)端軟件。在VC+ + 6. 0編寫的應(yīng)用程序基本框架下,生成可視化儀器操作面板,實(shí)現(xiàn)了四通道波形的實(shí)時(shí)顯示,16通道波形間的任意切換,可**對(duì)任意通道實(shí)現(xiàn)增益校正、進(jìn)波門和失波門的設(shè)置、探頭參數(shù)測(cè)定、繪制DAC曲線、自動(dòng)生成探傷工作報(bào)告等工作。作為一種虛擬探傷系統(tǒng),在V C+ + 的平臺(tái)上構(gòu)建一個(gè)通用探傷的數(shù)據(jù)庫。用戶不但可以根據(jù)實(shí)際需求選擇相應(yīng)的探傷標(biāo)準(zhǔn)和探傷設(shè)備的技術(shù)指標(biāo),而且在T I Code Composer Studio 平臺(tái)和ALTERA MUX+plusII 10. 0平臺(tái)的支持下,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)嵌入式DSP子系統(tǒng)的硬件和軟件重構(gòu)。多工位檢測(cè)設(shè)備可同步完成托盤正反兩面12項(xiàng)缺陷檢測(cè)，單日處理量超過5000件 [3]。

缺陷類型：微粒缺陷（如異物污染）圖形缺陷（如光刻圖案偏移） [1-3]2.檢測(cè)精度：可實(shí)現(xiàn)0.2微米級(jí)缺陷的識(shí)別，滿足45納米工藝節(jié)點(diǎn)的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量：每小時(shí)處理20片300毫米晶圓（基于2021年技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)） [1] [3]適用工藝：45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測(cè)，覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟，確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號(hào)設(shè)備（截至2020年），同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]。器件到PCB的邊緣應(yīng)該至少留有3mm（0.12”）的工 藝邊?；⑶饏^(qū)重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備銷售廠

AOI的中文全稱是自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)，是基于光學(xué)原理來對(duì)焊接生產(chǎn)中遇到的常見缺陷進(jìn)行檢測(cè)的設(shè)備。張家港重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

配置ULPA過濾器，有效控制檢測(cè)環(huán)境中的微粒干擾；3.提供2英寸、3英寸、4英寸及6英寸的夾具適配方案，支持多規(guī)格晶片檢測(cè)需求。通過四頻道探測(cè)器實(shí)現(xiàn)多維數(shù)據(jù)分析：散射光頻道：捕捉表面散射信號(hào)以識(shí)別顆粒和微觀形變；反射光頻道：分析晶片反射特性，判斷劃痕和凹坑；項(xiàng)移頻道：檢測(cè)晶格結(jié)構(gòu)位移異常；Z頻道：測(cè)量縱向維度缺陷參數(shù)。設(shè)備集成以下自動(dòng)化模塊 [1]：1.自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)：動(dòng)態(tài)調(diào)整焦距確保檢測(cè)精度；2.機(jī)械手臂傳輸：實(shí)現(xiàn)晶片的精細(xì)定位與快速轉(zhuǎn)移，降低人工干預(yù)風(fēng)險(xiǎn)；3.**環(huán)及片盒定位器：保障晶片在檢測(cè)過程中的穩(wěn)定姿態(tài)。張家港重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

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