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LS(Lead Scan的縮寫(xiě))是半導(dǎo)體封裝后段制程中用于集成電路(IC)外觀缺陷自動(dòng)化檢測(cè)的關(guān)鍵設(shè)備,涵蓋晶圓切割、焊線鍵合、芯片封裝等多環(huán)節(jié)的質(zhì)量控制。該設(shè)備采用激光散射與暗場(chǎng)成像技術(shù),可識(shí)別23nm級(jí)顆粒污染、劃痕及鍵合參數(shù)異常,檢測(cè)貫穿硅片認(rèn)證、生產(chǎn)過(guò)程控片檢測(cè)等全流程。主流設(shè)備型號(hào)包括ICOS品牌的LS-7700和Hitachi High-Tech的LS系列,其技術(shù)指標(biāo)與切割砂輪規(guī)格、封裝檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)深度關(guān)聯(lián)。隨著7nm以下先進(jìn)制程占比提升,LS類(lèi)設(shè)備的資本開(kāi)支占比已超過(guò)20%,成為保障車(chē)規(guī)級(jí)芯片可靠性的**環(huán)節(jié) [1]。典型地包括詳細(xì)的缺陷分類(lèi)和元件貼放偏移信息。吳中區(qū)購(gòu)買(mǎi)自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備設(shè)備廠家
HC-U83自動(dòng)測(cè)樁系統(tǒng)使用雙通道信號(hào)快速采集系統(tǒng)及**技術(shù)的深度計(jì)數(shù)裝置,有效地提高了現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)速度及換能器的使用壽命。在換能器移動(dòng)過(guò)程中測(cè)樁系統(tǒng)可以按照預(yù)定好的測(cè)點(diǎn)間距自動(dòng)記錄各測(cè)點(diǎn)聲參量及波形。檢測(cè)速度有了成倍的提高,測(cè)試一個(gè)100米長(zhǎng)的剖面,每米存10個(gè)點(diǎn),*需要2分鐘左右就可以完成,并且已往需要三個(gè)人才能完成的測(cè)試工作只需要一到兩個(gè)人就可以完成。在測(cè)試過(guò)程中可以隨時(shí)通過(guò)屏幕顯示的曲線看到整個(gè)剖面的測(cè)試結(jié)果。非金屬超聲波檢測(cè)儀信號(hào)波形、聲參量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示及分析處理,即時(shí)顯示內(nèi)部缺陷示意圖,測(cè)試結(jié)果一目了然;吳中區(qū)直銷(xiāo)自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制多光譜攝像頭:搭載可調(diào)式光學(xué)鏡頭組.
基準(zhǔn)點(diǎn)圖4設(shè)備可以檢查所有 類(lèi)型的基準(zhǔn)點(diǎn),而且任 何構(gòu)件都可以被定義成 一個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)。雖然三個(gè)基 準(zhǔn)點(diǎn)可以補(bǔ)償一塊單板的 變形,但通常情況下只需 要確定兩個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)就可以 了。每個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)至少離單 板邊緣5mm(0.2”)。 十字形、菱形、星形等比較適用,并建議使用統(tǒng)一的黑背 景。此外,十字形的基準(zhǔn)點(diǎn)特別有優(yōu)勢(shì),他們?cè)跈z測(cè)光下的圖像十分穩(wěn)定且可以被快速和容易地判定。。確認(rèn)壞板設(shè)備有能力檢查所有已知類(lèi)型的壞板標(biāo)識(shí)。板上的任 何構(gòu)件都可以被定義為壞板標(biāo)識(shí)。這里建議采用與上述基 準(zhǔn)點(diǎn)的判定相類(lèi)似的方法,即在可能的情況下,首先通過(guò) 檢查整板或已完成組裝的單板上的單個(gè)壞板標(biāo)識(shí)來(lái)進(jìn)行確 認(rèn)。板上每個(gè)單獨(dú)的壞板標(biāo)識(shí)只有在整板的壞板標(biāo)識(shí)檢查失敗后才會(huì)被逐一檢查;整板的壞板標(biāo)識(shí)應(yīng)該定位于PCB的邊上。
錫膏印刷之后如果錫膏印刷過(guò)程滿(mǎn)足要求,那么ICT發(fā)現(xiàn)的缺陷數(shù)量可大幅度的減少。典型的印刷缺陷包括以下幾點(diǎn):A.焊盤(pán)上焊錫不足。B.焊盤(pán)上焊錫過(guò)多。C.焊錫對(duì)焊盤(pán)的重合不良。D.焊盤(pán)之間的焊錫橋。在ICT上,相對(duì)這些情況的缺陷概率直接與情況的嚴(yán)重性成比例。輕微的少錫很少導(dǎo)致缺陷,而嚴(yán)重的情況,如根本無(wú)錫,幾乎總是在ICT造成缺陷。焊錫不足可能是元件丟失或焊點(diǎn)開(kāi)路的一個(gè)原因。盡管如此,決定哪里放置AOI需要認(rèn)識(shí)到元件丟失可能是其它原因下發(fā)生的,這些原因必須放在檢查計(jì)劃內(nèi)。這個(gè)位置的檢查**直接地支持過(guò)程跟蹤和特征化。這個(gè)階段的定量過(guò)程控制數(shù)據(jù)包括,印刷偏移和焊錫量信息,而有關(guān)印刷焊錫的定性信息也會(huì)產(chǎn)生。傳統(tǒng)圖像處理:采用全局/局部閾值分割進(jìn)行像素分類(lèi),配合邊緣檢測(cè)算法提取缺陷輪廓.
印刷圖案圖3所有印有圖案的PCB也是能夠被檢查的,例如,當(dāng)元 器件的邊框或元器件本體上的字母單獨(dú)出現(xiàn)在組件的某個(gè) 區(qū)域從而干擾對(duì)其他部分的檢查時(shí),可以手工調(diào)整檢查程 序。盡管如此,在生產(chǎn)允許的范圍內(nèi),圖案的印刷范圍仍 然有一個(gè)較大的選擇,因此,減少非反射性標(biāo)識(shí)印刷(黑 或暗黃)值得加以考慮。另外一個(gè)可能出現(xiàn)的情況是需要 有選擇地印刷標(biāo)識(shí):例如,當(dāng)某些特定的器件(如霍爾傳 感器)正面向下時(shí)就必須印刷成白色;而另一種情況是印 有極性標(biāo)志的有傾斜角的鉭電容器件;這樣能使標(biāo)識(shí)和背 景形成鮮明的對(duì)比,使得檢查的圖像更加清晰?;c支架:提供機(jī)械支撐與運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu).太倉(cāng)重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備設(shè)備廠家
夾緊裝置:實(shí)現(xiàn)檢測(cè)物品的精確定位.吳中區(qū)購(gòu)買(mǎi)自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備設(shè)備廠家
基本優(yōu)化每塊PCB可以采用光學(xué)或者X-ray技術(shù)并運(yùn)用適當(dāng) 的運(yùn)算法則來(lái)進(jìn)行檢查?;趫D像檢查的基本 原理是:每個(gè)具有明顯對(duì)比度的圖像都是可以 被檢查的。在AOI中存在的主要問(wèn)題是,當(dāng)一些檢查對(duì)象是 不可見(jiàn)的,或是在PCB上存在一些干擾使得圖像變得模糊 或隱藏起來(lái)了。然而,實(shí)際經(jīng)驗(yàn)和系統(tǒng)化測(cè)試都表明,這 些影響是可以通過(guò)PCB的設(shè)計(jì)來(lái)預(yù)防甚至減少的。為了推 動(dòng)這種優(yōu)化設(shè)計(jì),可以運(yùn)用一些看上去很古老的附加手段(這些方法仍在很多領(lǐng)域被推崇),它的優(yōu)點(diǎn)包括:吳中區(qū)購(gòu)買(mǎi)自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備設(shè)備廠家
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