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晶片缺陷檢測(cè)儀是一款基于光學(xué)和機(jī)械技術(shù)的精密分析儀器,主要用于晶圓制造過程中表面顆粒、劃痕、凹坑和微管缺陷的分析檢測(cè) [1]。該設(shè)備采用405nm光學(xué)系統(tǒng)與多頻道探測(cè)器組合技術(shù),可檢測(cè)顆粒、劃痕、凹坑及微管等缺陷類型,并配備2至6英寸夾具適配不同規(guī)格晶片。其自動(dòng)化功能包含機(jī)械手臂傳輸和自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng),提升了檢測(cè)效率和精度。截至2021年1月,該設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)包括 [1]:1.采用405nm波長(zhǎng)的光學(xué)系統(tǒng),提升表面微小缺陷的識(shí)別能力;AOI的中文全稱是自動(dòng)光學(xué)檢測(cè),是基于光學(xué)原理來對(duì)焊接生產(chǎn)中遇到的常見缺陷進(jìn)行檢測(cè)的設(shè)備。太倉(cāng)一體化自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備規(guī)格尺寸
缺陷檢測(cè)基于光學(xué)成像與圖像處理技術(shù),通過特殊光源組合突出表面缺陷特征:暗場(chǎng)打光捕捉劃傷、油墨黑點(diǎn)等平面缺陷,明場(chǎng)打光檢測(cè)凹凸點(diǎn)、橘紋等立體缺陷,透光打光用于砂眼、崩邊等透光缺陷的輪廓定位 [1] [3]。檢測(cè)系統(tǒng)配置顯微鏡級(jí)物像放大器與**照明光源,采用線掃相機(jī)逐行拍攝技術(shù)實(shí)現(xiàn)高速采集 [2]。典型檢測(cè)系統(tǒng)包含以下**組件:基座與支架:提供機(jī)械支撐與運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)夾緊裝置:實(shí)現(xiàn)檢測(cè)物品的精確定位驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu):控制檢測(cè)區(qū)域移動(dòng)與翻轉(zhuǎn)多光譜攝像頭:搭載可調(diào)式光學(xué)鏡頭組太倉(cāng)一體化自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備規(guī)格尺寸基于圖像檢查的基本 原理是:每個(gè)具有明顯對(duì)比度的圖像都是可以 被檢查的.
基準(zhǔn)點(diǎn)圖4設(shè)備可以檢查所有 類型的基準(zhǔn)點(diǎn),而且任 何構(gòu)件都可以被定義成 一個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)。雖然三個(gè)基 準(zhǔn)點(diǎn)可以補(bǔ)償一塊單板的 變形,但通常情況下只需 要確定兩個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)就可以 了。每個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)至少離單 板邊緣5mm(0.2”)。 十字形、菱形、星形等比較適用,并建議使用統(tǒng)一的黑背 景。此外,十字形的基準(zhǔn)點(diǎn)特別有優(yōu)勢(shì),他們?cè)跈z測(cè)光下的圖像十分穩(wěn)定且可以被快速和容易地判定。。確認(rèn)壞板設(shè)備有能力檢查所有已知類型的壞板標(biāo)識(shí)。板上的任 何構(gòu)件都可以被定義為壞板標(biāo)識(shí)。這里建議采用與上述基 準(zhǔn)點(diǎn)的判定相類似的方法,即在可能的情況下,首先通過 檢查整板或已完成組裝的單板上的單個(gè)壞板標(biāo)識(shí)來進(jìn)行確 認(rèn)。板上每個(gè)單獨(dú)的壞板標(biāo)識(shí)只有在整板的壞板標(biāo)識(shí)檢查失敗后才會(huì)被逐一檢查;整板的壞板標(biāo)識(shí)應(yīng)該定位于PCB的邊上。
在回熔溫度較高以及使用侵蝕性更強(qiáng)的助焊劑時(shí),也會(huì)導(dǎo)致與助焊劑直接接觸的較薄的元件受到侵蝕,元件頂部不能夠反射光線。流動(dòng)性的改變和侵蝕性助焊劑,對(duì)R0402型元件的影響比C0402型元件大,因?yàn)镽0402型元件更輕也更薄。在使用R0603元件時(shí),這也不常見。檢查庫(kù)圍繞工藝的環(huán)境產(chǎn)生消極影響,必須通過幾個(gè)途徑降低到**小,以滿足頭工作的要求。● AOI全球檢查庫(kù)──對(duì)部分AOI制造商的標(biāo)定工具進(jìn)行調(diào)整是極為重要的,所以,這些變化能夠傳遞到照相機(jī)和照明模塊上。判定:生成數(shù)字化檢測(cè)報(bào)告企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通過積累歷史缺陷數(shù)據(jù)持續(xù)優(yōu)化算法參數(shù),將劃痕識(shí)別靈敏度提升至微米級(jí)。
光學(xué)檢測(cè)儀(Automatic Optic Inspection,簡(jiǎn)稱AOI)是一種基于光學(xué)原理檢測(cè)焊接生產(chǎn)缺陷的自動(dòng)化設(shè)備,主要應(yīng)用于電子制造領(lǐng)域。該設(shè)備通過攝像頭自動(dòng)掃描印刷電路板(PCB),采集圖像并與預(yù)設(shè)合格參數(shù)進(jìn)行對(duì)比,識(shí)別焊接缺陷如橋接、元件移位等。其軟件具備綜合驗(yàn)證功能,可優(yōu)化檢測(cè)程序以減少誤報(bào),并支持無鉛焊膏工藝的適應(yīng)性調(diào)整。系統(tǒng)通過靈活的傳感器模塊、照明及算法分析,能夠適應(yīng)元件形態(tài)變化,兼容現(xiàn)有生產(chǎn)線設(shè)備。AOI技術(shù)近年快速發(fā)展,已成為電子制造中提升檢測(cè)效率的關(guān)鍵工具之一。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu):控制檢測(cè)區(qū)域移動(dòng)與翻轉(zhuǎn).吳中區(qū)一體化自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備銷售廠
電子元件檢測(cè)中,系統(tǒng)可識(shí)別0.1mm2的焊錫殘留與引腳氧化缺陷,采用OpenCV庫(kù)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)圖像處理。太倉(cāng)一體化自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備規(guī)格尺寸
無鉛焊接帶來的變化可以從三個(gè)方面看到無鉛的影響:灰度值提高、流程的改變和有效的助焊劑。無鉛焊點(diǎn)的亮度平均值高了2.5%。這相當(dāng)于亮度提高了五級(jí)。焊點(diǎn)看上去粗糙,而且表面呈粗大的顆粒狀。這可以利用特性萃取方法來消除或者過濾掉。流動(dòng)性稍微差一些,特別是對(duì)于那些較輕的元件,會(huì)妨礙元件在熔化焊膏中浸沒或者浮起。這表示元件自動(dòng)對(duì)正的程度較差。由于效果差,意味著輕輕的0402元件沿著縱向翹起的傾向會(huì)增強(qiáng),結(jié)果是不能完全看到元件的頂部。太倉(cāng)一體化自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備規(guī)格尺寸
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