勻膠顯影機(jī)是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設(shè)備，包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機(jī)一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站（wafer cassette station），晶圓盒在這里裝載到機(jī)器上。機(jī)械手（robot arm）從晶圓盒中把晶圓抽出來，傳送到工藝處理部分（process block），即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機(jī)的主體，增粘模塊（adhesion enhancement）、熱盤（hot plate）、冷盤（chill plate）、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里，一個或兩個機(jī)械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元，包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機(jī)聯(lián)機(jī)的接口界面（interface），包括暫時儲存晶圓的緩沖盒（buffer）、晶圓邊緣曝光（wafer edge exposure，WEE）和光刻機(jī)交換晶圓的接口等。 [1]隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，涂膠顯影機(jī)市場將迎來更多的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。新吳區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)按需定制

3）磁穗刮板：磁穗刮板控制顯影套筒（磁輥）輸送的顯影劑的量，這樣顯影劑磁穗將與感光鼓表面恰當(dāng)接觸。4）攪拌輪：顯影劑混合時會產(chǎn)生墨粉和載體的摩擦。因?yàn)檩d體充上正電荷，而墨粉會充上負(fù)電荷，從而通過摩擦產(chǎn)生的靜電會將充電的載體和墨粉依附在鼓表面。5）ATDC（磁通密度傳感器/自動墨粉傳感器）：顯影劑中的載體與墨粉（即墨粉濃度）應(yīng)保持固定的比例，從而才能打印出正常的圖像。ATDC通過磁橋電路檢測顯影劑中的墨粉的比率。當(dāng)傳感器探測到墨粉量不足時，它會驅(qū)動墨粉電機(jī)從墨粉盒中添加新粉。南通質(zhì)量涂膠顯影機(jī)供應(yīng)商毛刷輥旋轉(zhuǎn)方向與版材前進(jìn)方向相逆，有利于顯影效果。

反轉(zhuǎn)顯影中，感光鼓與色粉電荷極性相同。顯影時，通過感光鼓和顯影輥之間的電場作用，碳粉被吸到感光鼓曝光區(qū)域。其中曝光部位電位低于顯影輥表面電位低于感光鼓未曝光部位電位。多用在數(shù)碼復(fù)合機(jī)與激光打印機(jī)中。復(fù)印機(jī)按顯影方式來分的話，可以分為雙組份磁刷式顯影與單組份跳動式顯影兩種。雙組份磁刷式顯影結(jié)構(gòu)：雙組份磁刷式顯影方式的復(fù)印機(jī)的顯影器結(jié)構(gòu)中，1）載體（顯影劑）：雙組份磁刷式顯影方式中**重要的一個元件就是載體，事實(shí)上載體是配件，并非通常人們所理解的消耗材料，因?yàn)樗跈C(jī)器運(yùn)行的過程中不產(chǎn)生消耗，只會因?yàn)橛〉枚嗔?，逐漸疲勞而壽命終結(jié)。載體是由鐵粉與碳粉按一定比例混合而成的，混合使碳粉和載體之間產(chǎn)生摩擦，從而碳粉帶有負(fù)極性，載體帶有正極性。

單組份跳動式顯影單組份跳動式顯影在單組份顯影系統(tǒng)，墨粉通過與顯影套筒摩擦進(jìn)行充電，并在通過磁穗刮板時被充電，通過磁穗刮板后，墨粉在顯影套筒上形成均勻的一層。當(dāng)墨粉層到達(dá)顯影套筒距感光鼓**近的地方時，墨粉在磁極的電場作用下在感光鼓和顯影套筒之間移動。然后，當(dāng)顯影套筒旋轉(zhuǎn)通過距離感光鼓**近的地方時，由于顯影偏壓和感光鼓表面之間的電壓差，墨粉被吸附到已曝光過的感光鼓表面，進(jìn)行顯影。另一方面，在未曝光過的感光鼓表面，墨粉被顯影套筒吸引而不進(jìn)行顯影。當(dāng)墨粉到達(dá)感光鼓和顯影套筒很大的區(qū)域時，由于電場消失，墨粉將被吸附在顯影套筒上。這樣顯影過程就完成了。 [2]溫度分布均勻，印版四點(diǎn)誤差不超過1 ℃， CTP顯影機(jī)不能超過0.5 ℃。

顯影：經(jīng)過曝光后，基材進(jìn)入顯影槽，使用顯影液去除未曝光的感光膠，留下已曝光的部分，從而形成清晰的圖像。干燥：***，經(jīng)過顯影的基材需要經(jīng)過干燥處理，以確保圖像的穩(wěn)定性和耐久性。二、應(yīng)用領(lǐng)域涂膠顯影機(jī)廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域，主要包括：印刷行業(yè)：在傳統(tǒng)的平版印刷、柔版印刷和絲網(wǎng)印刷中，涂膠顯影機(jī)用于制作印刷版，確保印刷質(zhì)量和效率。電子行業(yè)：在電路板制造中，涂膠顯影機(jī)用于制作電路圖案，確保電路的精確性和可靠性。顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來的過程。宜興挑選涂膠顯影機(jī)直銷價

為了保證顯影液在恒定條件下工作，此部分還有加熱器和冷卻器，可自動調(diào)節(jié)溫度（一般控制在25℃左右）。新吳區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)按需定制

片傳動方式基本分為兩類：齒輪傳動：膠片在洗片機(jī)輸片片路中，大都由自由轉(zhuǎn)動的滑輪組支承并在滑輪間螺旋穿行，由滑輪組配備的傳遞動力的輸片齒輪通過影片片孔硬性傳動。這種方法結(jié)構(gòu)簡單，容易保證張力均勻分布。摩擦傳動：用表面有凸起物的彈性塑料圈外套的摩擦輪帶動影片，摩擦輪的轉(zhuǎn)速由膠片張力自行調(diào)節(jié)。摩擦傳動不用齒輪，同一臺機(jī)器可以沖洗窄寬不同的多種規(guī)格的膠片，并且不會損傷片孔，因此用途極為***。機(jī)器具有速度誤差在±2%以內(nèi)的無級調(diào)速裝置，供改變顯影時間之需要。在緊鄰供收片處有儲片緩沖裝置，因此在運(yùn)行不間斷的狀態(tài)下，可在機(jī)器頭尾卡住膠片，收取沖洗完畢的影片和續(xù)接尚未沖洗的影片。新吳區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)按需定制

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