干涉儀是一種使用干涉測量技術(shù)的光學(xué)計(jì)量儀器，其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息，從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。以下是對干涉儀的詳細(xì)介紹：一、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化，從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù)，這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋，即干涉條紋?；緲?gòu)成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏（或檢測器）等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過分束器被分成兩束，分別經(jīng)由反射鏡反射回來，并在干涉屏（或檢測器）上產(chǎn)生干涉圖樣。其中，各元件的功能如下：邁克爾遜干涉儀：由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明，主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。吳中區(qū)耐用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

（5）數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等。5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：1. 線性：0.5ppm .2. 測量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg吳中區(qū)耐用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹干涉儀是一種用于測量光波或其他波動(dòng)現(xiàn)象的儀器，利用干涉原理來分析波的特性。

若干涉條紋發(fā)生移動(dòng)，一定是場點(diǎn)對應(yīng)的光程差發(fā)生了變化，引起光程差變化的原因，可能是光線長度L發(fā)生變化，或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化，或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點(diǎn)光源，M1（上邊）、M2（右邊）為平面全反射鏡，其中M1是定鏡；M2為動(dòng)鏡，它和精密螺絲相連，轉(zhuǎn)動(dòng)鼓輪可以使其向前后方向移動(dòng)，最小讀數(shù)為10mm，可估計(jì)到10mm,。M1和M2后各有3個(gè)小螺絲可調(diào)節(jié)其方位。G1（左）為分光鏡，其右表面鍍有半透半反膜，使入射光分成強(qiáng)度相等的兩束（反射光和透射光）。

多普勒效應(yīng)：當(dāng)測量鏡移動(dòng)時(shí)，測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf，與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|，該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測：光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號，經(jīng)電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來計(jì)算位移。二、主要特點(diǎn)精度高：雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量，即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米（μm）量級，細(xì)分后更可達(dá)到納米（nm）量級。應(yīng)用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等。

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大，即使光強(qiáng)衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。因此，它既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用，也可在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測速高：現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至達(dá)到十幾m/s，適于高速動(dòng)態(tài)測量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測量：用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時(shí)，既支持幾十米大量程的檢測（如大型機(jī)械），也可對手表零件等微米級運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測量。干涉圖樣分析：通過觀察干涉條紋的變化，可以獲取關(guān)于物體形狀、厚度等信息。高新區(qū)耐用雙頻激光干涉儀銷售廠

高精度：雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級別的測量精度，適用于微小位移的檢測。吳中區(qū)耐用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

邁克爾遜干涉儀（英文：Michelson interferometer）是光學(xué)干涉儀中最常見的一種，其發(fā)明者是美國物理學(xué)家阿爾伯特·亞伯拉罕·邁克爾遜。邁克耳遜干涉儀的原理是一束入射光經(jīng)過分光鏡分為兩束后各自被對應(yīng)的平面鏡反射回來，因?yàn)檫@兩束光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定（即滿足干涉條件），所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)節(jié)干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實(shí)現(xiàn)，從而能夠形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差的軌跡，因此，要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣，必需求出相干光的光程差位置分布的函數(shù)。吳中區(qū)耐用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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