邁克爾遜干涉儀，是1881年美國物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設(shè)計(jì)制造出來的精密光學(xué)儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條，便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計(jì)量技術(shù)中，如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀。 [1]激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制），頻率分別為f1和f2。吳江區(qū)附近雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。（2）位置精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動(dòng)對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到比較好精度，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。張家港銷售雙頻激光干涉儀選擇雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。

但是這種單頻的激光儀并非完美，它的一個(gè)根本弱點(diǎn)就是受環(huán)境影響嚴(yán)重，在測試環(huán)境惡劣，測量距離較長時(shí)，這一缺點(diǎn)十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動(dòng)反光鏡移動(dòng)時(shí)，光電接收器會輸出信號，如果信號超過了計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平則就會被記錄下來，而如果激光束強(qiáng)度發(fā)生變化，就有可能使光電信號低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù)，使激光器強(qiáng)度或干涉信號強(qiáng)度變化的主要原因是空氣湍流，機(jī)床油霧，切削屑對光束的影響，結(jié)果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。

干涉儀是一種使用干涉測量技術(shù)的光學(xué)計(jì)量儀器，其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息，從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。以下是對干涉儀的詳細(xì)介紹：一、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化，從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù)，這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋，即干涉條紋。基本構(gòu)成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏（或檢測器）等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過分束器被分成兩束，分別經(jīng)由反射鏡反射回來，并在干涉屏（或檢測器）上產(chǎn)生干涉圖樣。其中，各元件的功能如下：由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。

光源：提供相干光，通常是激光，因?yàn)榧す饩哂懈叨鹊南喔尚?，能夠產(chǎn)生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器：將光束分成兩部分，通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡：調(diào)節(jié)光程差，確保兩束光在干涉屏（或檢測器）上相遇時(shí)具有合適的相位差。干涉屏（或檢測器）：顯示干涉結(jié)果，或?qū)⒏缮婧蟮墓馐D(zhuǎn)換為電信號進(jìn)行進(jìn)一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進(jìn)行分類，常見的分類方法包括：按結(jié)構(gòu)區(qū)分：分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中，干涉的波通過同一路徑傳播，如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等；而多路徑干涉儀中，干涉的波通過不同的路徑傳播，如邁克爾遜干涉儀。干涉圖樣分析：通過觀察干涉條紋的變化，可以獲取關(guān)于物體形狀、厚度等信息。姑蘇區(qū)本地雙頻激光干涉儀性價(jià)比

其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。吳江區(qū)附近雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計(jì)，通過對比被測平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑：Φ60mm（典型型號） [3-4]對準(zhǔn)方式：兩點(diǎn)對準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性：小型化設(shè)計(jì)、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍：根據(jù)型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學(xué)制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測：評估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn)：實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計(jì)量分析吳江區(qū)附近雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

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