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江蘇VAC6001AB017分子泵軸承

來源: 發(fā)布時間:2025-07-13

分子泵軸承選型需綜合考量轉(zhuǎn)速、載荷、真空度及環(huán)境介質(zhì)四大要素。以 100L/s 抽速的分子泵為例,其轉(zhuǎn)子重量約 5kg,高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力可達 5000N,需選用接觸角為 30° 的角接觸球軸承,通過背對背安裝方式承受雙向軸向載荷。新巴頓提供的選型工具可根據(jù)用戶參數(shù)自動計算:當轉(zhuǎn)速超過 12 萬轉(zhuǎn) / 分鐘時,推薦采用 7000 系列角接觸軸承,其 Dm?N 值(軸承節(jié)圓直徑 × 轉(zhuǎn)速)可達 1.2×10?mm?r/min,同時需搭配陶瓷球以降低離心力引起的形變。對于含腐蝕性氣體的真空環(huán)境,316L 不銹鋼材質(zhì)的軸承配合 PTFE 保持架,可耐受氯氣、氟化氫等介質(zhì)的侵蝕。新巴頓分子泵軸承優(yōu)化安裝設(shè)計,簡化流程,降低安裝難度。江蘇VAC6001AB017分子泵軸承

分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承采用先進的復(fù)合材質(zhì)體系,主要部件陶瓷球選用氧化鋯(ZrO?)材料,其硬度高達 HRA85,抗彎強度達到 230GPa,相比傳統(tǒng)軸承鋼材質(zhì),耐磨性提升了 3 倍以上。不銹鋼套圈采用真空除氣處理的 AISI 440C 不銹鋼,在 10??Pa 的超高真空環(huán)境下,水汽釋放率為 5×10??Pa?m3/s,極大降低了出氣對真空系統(tǒng)的影響。某半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備在采用新巴頓陶瓷軸承后,運行壽命從原本的 8 個月延長至 28 個月,設(shè)備因軸承故障導(dǎo)致的停機時間減少了 75%,明顯提升了生產(chǎn)效率,同時因材料出氣率低,芯片的良品率提高了 4% ,有效降低了生產(chǎn)成本。松江區(qū)C102HY17分子泵軸承巴頓分子泵軸承:定制化解決方案,滿足特殊需求。

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針對機械行業(yè)的能效優(yōu)化需求,新巴頓分子泵軸承通過摩擦學(xué)設(shè)計降低能量損耗。滾動體與滾道的表面粗糙度優(yōu)化至 Ra≤0.05μm,配合低粘度潤滑劑(40℃運動粘度 10-20mm2/s),使摩擦系數(shù)在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定在 0.002-0.005。在磁懸浮分子泵中,這種設(shè)計可將軸承功耗占比降至整機的 3% 以下,較傳統(tǒng)設(shè)計提升能效 12%。通過摩擦磨損試驗機測試(載荷 200N,轉(zhuǎn)速 30000rpm,持續(xù) 100 小時),軸承的磨損量≤5μm,表面無明顯劃痕,證明其在機械長期運行中的低摩擦特性。能效提升的同時,也減少了機械因摩擦發(fā)熱導(dǎo)致的熱變形風險,維持系統(tǒng)精度穩(wěn)定性。

分子泵軸承在 10??Pa 以上的超高真空環(huán)境中運行時,材料的出氣率成為關(guān)鍵指標。新巴頓采用真空除氣工藝對軸承組件進行預(yù)處理,通過在 120℃真空爐中烘烤 24 小時,使不銹鋼套圈的水汽釋放率降至 5×10??Pa?m3/s 以下。針對真空鍍膜設(shè)備中鋁蒸汽冷凝導(dǎo)致的軸承卡死問題,公司開發(fā)的迷宮式密封結(jié)構(gòu),通過多道曲徑密封槽與擋油環(huán)配合,將蒸汽侵入量減少 90%。某光學(xué)鍍膜企業(yè)使用該方案后,軸承更換周期從 1 個月延長至 8 個月,大幅降低了因停機導(dǎo)致的產(chǎn)能損失。具備智能監(jiān)測功能,新巴頓分子泵軸承實時掌握運轉(zhuǎn)狀態(tài),保障安全。

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分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達 10 萬 - 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對軸承的動態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導(dǎo)性提出嚴苛標準。在半導(dǎo)體制造中,分子泵軸承需維持納米級制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導(dǎo)致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過優(yōu)化滾道弧度設(shè)計,使軸承在高速運轉(zhuǎn)時的溫升控制在 30℃以內(nèi),滿足半導(dǎo)體設(shè)備 24 小時連續(xù)運行的可靠性要求。新巴頓分子泵軸承庫存充足,快速發(fā)貨,保障機械緊急維修需求。無錫C38SST5G33分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承經(jīng)嚴格質(zhì)量把控,從選材到成品,品質(zhì)可靠有保障。江蘇VAC6001AB017分子泵軸承

新巴頓的分子泵軸承質(zhì)量控制貫穿全生產(chǎn)流程。原材料進廠檢驗包括超聲波探傷(缺陷分辨率≤0.1mm)、硬度測試(誤差 ±1HRC);加工過程中采用在線檢測(如滾道尺寸激光測量,精度 ±0.5μm);成品測試包含振動檢測(加速度傳感器采樣率 50kHz)、壽命試驗(額定載荷下運行 1000 小時)。質(zhì)量控制體系符合 ISO 9001:2015 標準,每批軸承附帶材質(zhì)報告、檢測報告、壽命測試曲線,確保機械用戶可追溯產(chǎn)品質(zhì)量。在機械行業(yè)的質(zhì)量審計中,該公司的軸承合格率達 99.8%,退貨率<0.1%,為可靠性提供堅實保障。江蘇VAC6001AB017分子泵軸承