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探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)需要使用測(cè)試儀和探針...
探針臺(tái)如何工作:探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起...
對(duì)于平臺(tái)上的光學(xué)元件來說,平面度引起的高度差,通??梢院雎圆挥?jì),若確有必要考慮高度差,則完全可以通過勤確精密調(diào)整的位移臺(tái)來實(shí)現(xiàn)。綜上所述,光學(xué)平臺(tái)的平面度,同光學(xué)平臺(tái)的隔振性能不相關(guān),只能做為光學(xué)平臺(tái)的一個(gè)輔助指標(biāo),供參考。振動(dòng)物體離開平衡位置的距離叫振動(dòng)的振...
光學(xué)平臺(tái)其他配件還包括貨架、安裝座、桌下擱板、振動(dòng)隔離配件、可安裝支桿的光學(xué)平臺(tái)配件、可調(diào)式光學(xué)爬升架安裝座、地震抑制、光學(xué)面包板罩殼、遮光材料、磁性薄片等等。生產(chǎn)意義:當(dāng)今科學(xué)界的科學(xué)實(shí)驗(yàn)需要越來越精密的計(jì)算和測(cè)量,因此一個(gè)能與外界環(huán)境和干擾相對(duì)隔離的設(shè)備儀...
晶圓是制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)于晶圓表面缺陷檢測(cè)的要求,一般是要求高效準(zhǔn)確,能夠捕捉有效缺陷,...
夾心光學(xué)平板主要是由帶磁不銹鋼(不銹鐵)及填充材料組成(目前使用Z多的填充材料是蜂窩巢結(jié)構(gòu)材料及型鋼框架結(jié)構(gòu))。特點(diǎn)是:固有頻率低,吸振性能強(qiáng)。光學(xué)平臺(tái)支架按其隔振形式主要分為:機(jī)械式隔振支架與氣墊式隔振支架。機(jī)械式隔振支架主要是利用各種隔振材料(如:減震彈簧...
自動(dòng)化加工過程:自動(dòng)化加工系統(tǒng)平臺(tái)和面包板的特殊之處是采用自動(dòng)軌道機(jī)械啞光表面加工,比老舊的平臺(tái)產(chǎn)品更加平滑、平整。這些平臺(tái)經(jīng)過改善的表面拋光處理后,表面平整度在1平方米(11平方英尺)內(nèi)可達(dá)±0.1毫米(±0.004英寸),為安裝部件提供了接觸表面,不需要使...
探針臺(tái)大家不陌生了,是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電性能測(cè)試的常用設(shè)備,也是各大實(shí)驗(yàn)室的熟客。優(yōu)點(diǎn)太多了,成本低,用途廣,操作方便,對(duì)環(huán)境要求也不高,即使沒有超凈間,普通的壞境也可以配置,測(cè)試結(jié)果穩(wěn)定,客觀。深受工程師們的青睞。手動(dòng)探針臺(tái)用途:探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、...
平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球...
近年來,半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭(zhēng)之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點(diǎn)。2019年,中美摩擦、日韓半導(dǎo)體材料爭(zhēng)端對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局也帶來了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導(dǎo)下、在資本與相關(guān)配套政策扶植下,中國(guó)大陸正在也必將成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張寶地,未來幾年...
撓度是指結(jié)構(gòu)構(gòu)件的軸線或中面由于彎曲引起垂直于軸線或中面方向的線位移。對(duì)于細(xì)長(zhǎng)物體或薄物體,撓度是在受力后彎曲變形程度的度量。細(xì)長(zhǎng)物體(如梁或柱)的撓度是指在變形時(shí)其軸線上各點(diǎn)在該點(diǎn)處軸線法平面內(nèi)的位移量。薄板或薄殼的撓度是指中面上各點(diǎn)在該點(diǎn)處中面法線上的位移...
振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間是某一點(diǎn)上開始振動(dòng)到恢復(fù)到初始狀態(tài)所需要的很短時(shí)間。若要縮短光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間,通常有兩個(gè)辦法:增大彈簧的彈性系數(shù)k。對(duì)于阻尼隔振平臺(tái),可以換用材質(zhì)較硬的阻尼材料;對(duì)于充氣平臺(tái),可以適度增加空氣壓力;控制光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面的質(zhì)量。在不影響剛度的前提下...
手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺(tái)為例):探針臺(tái)載物臺(tái)平整度:5μm探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測(cè)物探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm,并具備鎖定功能探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微...
頂燈安裝方法考慮變化問題,套車燈照明總成就可以,一定要記得記線線盒一定要選擇穩(wěn)固的,紅色也就是有固定螺絲接口的,如果安裝不到位,可能導(dǎo)致手伸進(jìn)去受力不均勻,安裝不上的情況,尤其小長(zhǎng)輩們看到十寸偏光鏡沒有固定的兩端螺絲,一定不要選擇帶了偏光鏡固定螺絲的。小編的意...
光學(xué)平臺(tái)又稱光學(xué)桌面,供水平、穩(wěn)定的臺(tái)面,一般平臺(tái)都需要進(jìn)行隔振等措施,保證其不受外界因素干擾,使科學(xué)實(shí)驗(yàn)正常進(jìn)行。目前來說,有主動(dòng)與被動(dòng)兩大類。而被動(dòng)又有橡膠與氣浮兩大類。固體阻尼隔震光學(xué)平臺(tái)和自動(dòng)充氣平衡隔震光學(xué)平臺(tái)。光學(xué)平臺(tái)追求水平,首先加工的時(shí)候整個(gè)臺(tái)...
重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,整個(gè)過程操作要十分地細(xì)心,不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性,不損壞定...
光學(xué)平臺(tái)的磨削是有極限的,這個(gè)加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個(gè)平面度,同大理石平臺(tái)的平面度相差甚遠(yuǎn)。大理石平臺(tái)根據(jù)平面度指標(biāo)一般分為:000級(jí)(平面度≤3μm/m2)、00級(jí)(平面度...
光學(xué)平臺(tái)固有頻率(≤2Hz):固有頻率也稱自然頻率、自振頻率,只有在環(huán)境擾動(dòng)力頻率(f)與光學(xué)平臺(tái)的固有頻率(fo)的比值f/fo>√2時(shí)系統(tǒng)才有隔振作用。所以光學(xué)平臺(tái)的固有頻率越低,隔振效果效果就越好。該指標(biāo)的檢測(cè)一般采用振動(dòng)頻譜分析儀及便攜式振動(dòng)分析儀來進(jìn)...
探針臺(tái)的分類:探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái):手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的,這意味著晶圓載物臺(tái)和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒...
氣墊式隔振支架是利用氣墊的原理,將光學(xué)平臺(tái)架在氣墊上以達(dá)到隔振的效果。特點(diǎn)是:隔振效果好。但是造價(jià)較高,使用和維護(hù)繁瑣。針對(duì)維護(hù)繁瑣的情況又出現(xiàn)了自平衡(主動(dòng)隔振)系統(tǒng)。原理是利用各種傳感器提供的平臺(tái)平衡狀況,通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)各個(gè)隔振支撐的氣壓來達(dá)到平衡的目的...
從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺(tái),低溫探針臺(tái),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)。縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(T...
探針臺(tái)的作用是什么?探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試...
晶圓探針臺(tái)還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測(cè)試電路。一些公司從這些劃線測(cè)試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息。當(dāng)特定芯片的所有測(cè)試圖案都通過時(shí),它的位置會(huì)被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時(shí),芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)(即閃存IC);如果它沒有通過某些測(cè)試...
半導(dǎo)體測(cè)試是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié),其測(cè)試設(shè)備包括測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)。其中,測(cè)試機(jī)是檢測(cè)芯片功能和性能的專業(yè)設(shè)備,分選機(jī)和探針臺(tái)是將芯片的引腳與測(cè)試機(jī)的功能模塊連接起來的專業(yè)設(shè)備,與測(cè)試機(jī)共同實(shí)現(xiàn)批量自動(dòng)化測(cè)試。受益于國(guó)內(nèi)封裝測(cè)試業(yè)產(chǎn)能擴(kuò)張,半導(dǎo)體測(cè)試...
探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損,使用壽命長(zhǎng)。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等,用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和...
手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式:待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋...
目前精密光學(xué)儀器產(chǎn)品種類繁多,是為了在重復(fù)測(cè)量過程中對(duì)產(chǎn)品的每一步光路進(jìn)行精確計(jì)算,保證一切不可修改并可重復(fù)執(zhí)行的數(shù)據(jù)上報(bào)數(shù)據(jù),精密光學(xué)儀器的工作原理主要是通過光學(xué)儀器的光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)的。光學(xué)儀器經(jīng)受適當(dāng)?shù)姆瓷涔夂头瓷浣?獲得光路模擬圖像,這些圖像是光學(xué)儀器可讀...
據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),2020年及2021年,全球半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)?;?qū)⒎謩e達(dá)到52.2億美元及56.1億美元。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,多個(gè)晶圓廠及實(shí)驗(yàn)室的建立,國(guó)內(nèi)探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模2019年約為10.25億元,2022年將增長(zhǎng)到15.69億元。隨著半導(dǎo)體行...
探針臺(tái)的分類:探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái):手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的,這意味著晶圓載物臺(tái)和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒...
探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損,使用壽命長(zhǎng)。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等,用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和...