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可選地，所述托板包括： 主板； 排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接； 所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。 可選地，所述表面為平面。 另外，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。 在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí)，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速...

晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，晶圓的搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個(gè)加工系統(tǒng)的自動(dòng)化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運(yùn)機(jī)械手：大氣機(jī)械手（FI robot) 和真空機(jī)械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求，控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上取下，搬運(yùn)到各個(gè)工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工，并將加工完的晶圓搬運(yùn)到接口位置，等待大氣機(jī)械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行，機(jī)...

為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸，有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且，請仔細(xì)回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎？非也！在硅棒做出來后，在200mm以下的硅棒上是切割一個(gè)平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，為了減少浪費(fèi)，只裁剪個(gè)圓形小口，叫做Notch。***再進(jìn)行切片，得到的晶圓如下。那么，這個(gè)小豁口是做什么用的呢？很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定，在加工的時(shí)候也不容易出錯(cuò)了。所以，為什么“晶圓”沒有方的？？？答案很簡單，是一個(gè)歷史遺留的問題，也是一個(gè)技術(shù)限制的問題。而且，真的沒有必要做出來正方的硅片呢～。 直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂有...

工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的，可重復(fù)編程、多用途，并可以對3個(gè)以上軸進(jìn)行編程。它可以是固定式或者移動(dòng)式。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。它通常有幾個(gè)自由度，用以抓取或移動(dòng)物體（工具或工件）?！彼詫I(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng)，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。 工業(yè)機(jī)械臂的工作原理。汕頭正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂上門服務(wù) 建模理論柔性機(jī)械臂動(dòng)力學(xué)方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler...

半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此，機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸，則手部的溫度上升，并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此，安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化。因此，與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關(guān)節(jié)的軸承相比，配置在前臂連桿和手部之間的關(guān)節(jié)的軸承的維護(hù)頻率較高。 晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸...

確定性主要分為兩種主要類型:結(jié)構(gòu)(structured)不確定性和非結(jié)構(gòu)(unstructured)不確定性,非結(jié)構(gòu)不確定性主要是由于測量噪聲、外界干擾及計(jì)算中的采樣時(shí)滯和舍入誤差等非被控對象自身因素所引起的不確定性。結(jié)構(gòu)不確定性和建模模型本身有關(guān),可分為系統(tǒng)模型①參數(shù)不確定性如負(fù)載質(zhì)量、連桿質(zhì)量、長度及連桿質(zhì)心等參數(shù)未知或部分已知。②未建模動(dòng)態(tài)高頻未建模動(dòng)態(tài),如執(zhí)行器動(dòng)態(tài)或結(jié)構(gòu)振動(dòng)等;低頻未建模動(dòng)態(tài),如動(dòng)/靜摩擦力等。模型不確定性給機(jī)械臂軌跡**的實(shí)現(xiàn)帶來影響,同時(shí)部分控制算法受限于一定的不確定性。應(yīng)用于機(jī)械臂控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法主要包括PID控制、自適應(yīng)控制和魯棒控制等,然而由于...

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記，提高了晶圓的合格率。通用性強(qiáng)，能適應(yīng)多種作業(yè)；工藝性好，便于維修調(diào)整。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。韶關(guān)直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格多少 與剛性機(jī)械臂相比較，柔性機(jī)械臂具...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。 為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂...

受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響，兩市**小幅低開，低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動(dòng)下震蕩走高，早間收盤全線收漲，午后在科技板塊的帶動(dòng)下市場繼續(xù)震蕩走高，**終兩市**以中陽報(bào)收。 昨天談到農(nóng)業(yè)、大消費(fèi)和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢，果不其然***出現(xiàn)了此消彼長的情形。 盤面上看，市場***科技股再度走強(qiáng)，以大基金持有的科技股繼續(xù)**著相關(guān)題材概念和板塊進(jìn)行做多，北上資金***依舊大幅凈流入，市場短期做多的因素和動(dòng)能正在疊加。 盤后出了條消息，“中方不會(huì)坐視不理美科技霸凌主義”，先機(jī)哥由此猜測市場短期的反彈將還是延著科技股...

注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手、塑料機(jī)機(jī)械手，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動(dòng)剪水口、模內(nèi)鑲件、模內(nèi)貼標(biāo)、模外組裝、整形、分類、堆疊、產(chǎn)品包裝、模具優(yōu)化等等。且可以對其進(jìn)行自動(dòng)控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進(jìn)行生產(chǎn)操作的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備。注塑行業(yè)機(jī)械臂是為注塑生產(chǎn)自動(dòng)化專門配備的機(jī)械，它可以在減輕繁重的體力勞動(dòng)、改善勞動(dòng)條件和安全生產(chǎn);提高注塑成型機(jī)的生產(chǎn)效率、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量、降低廢品率、降低生產(chǎn)成本、增強(qiáng)企業(yè)的競爭力等方面起到及其重要的作用。 如剛性差則會(huì)引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.中山庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂市場報(bào)價(jià) 環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)...

目前，直拉法是生長晶圓**常用的方法了，除了直拉法之外，常用的方法還有區(qū)熔法。區(qū)熔法，簡稱Fz法。1939年，在貝爾實(shí)驗(yàn)室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭，后來在亨利·休勒、丹·多西等人的協(xié)助下，生長出了高純度的鍺以及硅單晶，并獲得了**。這種方法是利用熱能在半導(dǎo)體多晶棒料的一端產(chǎn)生一熔區(qū)，使其重結(jié)晶為單晶。使熔區(qū)沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動(dòng)，進(jìn)而通過整根棒料，使多晶棒料生長成一根單晶棒料，區(qū)熔法也需要籽晶，且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 手臂。起著連接和承受外力的作用。廣東本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比，蛙腿型機(jī)械手的...

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長） 或者3個(gè)FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過S曲線加減速控制方式以及對運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化 能夠高速，高精度...

建模理論柔性機(jī)械臂動(dòng)力學(xué)方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個(gè)相當(dāng)有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機(jī)械臂系統(tǒng)建模與控制的基礎(chǔ)。因此因首先選擇一定的方式描述柔性體的變形，同時(shí)變形的描述與系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程的求解關(guān)系密切。[3]柔性體變形的描述主要有以下幾種：1)有限元法；2)有限段法；3)模態(tài)綜合法；4)集中質(zhì)量法；動(dòng)力學(xué)方程的建立無論是連續(xù)或離散的動(dòng)力學(xué)模型，其建模方法主要基于兩類基本方法：矢量力學(xué)法和分析力學(xué)法。應(yīng)用較***同時(shí)也是比較成熟的是Newton-Euler公式、La...

為了解決使用機(jī)器語言編寫應(yīng)用程序所帶來的一系列問題，人們首先想到了使用助記符號來代替不容易記憶的機(jī)器指令。這種助記符號來表示計(jì)算機(jī)指令的語言稱為符號語言，也稱匯編語言。在匯編語言中，每一條用符號來表示的匯編指令與計(jì)算機(jī)機(jī)器指令一一對應(yīng)；記憶難度**減少了，不僅易于檢查和修改程序錯(cuò)誤，而且指令、數(shù)據(jù)的存放位置可以由計(jì)算機(jī)自動(dòng)分配。用匯編語言編寫的程序稱為源程序，計(jì)算機(jī)不能直接識別和處理源程序，必須通過某種方法將它翻譯成為計(jì)算機(jī)能夠理解并執(zhí)行的機(jī)器語言，執(zhí)行這個(gè)翻譯工作的程序稱為匯編程序。直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂，球坐標(biāo)系機(jī)械手臂，極坐標(biāo)機(jī)械手臂.韶關(guān)進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格多少 可選地，所述托板包括...

近年來全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合，得硅），提純得純度約為98%的純硅，又稱冶金級硅，這對微電子器件來說依然不夠純，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿?..

區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點(diǎn)高，化學(xué)性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區(qū)熔法一般不使用坩鍋，引入的雜質(zhì)更少，生長的材料雜質(zhì)含量也就更少?？偠灾?，單晶硅棒是圓柱形的，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個(gè)樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎？Bingo，圖左的尖尖是籽晶，圖右的尖尖是晶棒長到***，從熔融態(tài)里出來后，由于復(fù)雜的流體力學(xué)原理，...

接下來是單晶硅生長，**常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時(shí)又不會(huì)產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn)，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會(huì)粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的，在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒。關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。韶關(guān)進(jìn)口晶圓運(yùn)...

中國擁有龐大的制造業(yè)，是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場，有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場占有份額偏低?，F(xiàn)在國內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù)，很多都是跟著國家提出的中國未來制造的政策與支持來進(jìn)行獲利的。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進(jìn)口。所以，中國的機(jī)械臂在技術(shù)方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國外，占有的只是低端市場的份額。不過，在非民用機(jī)器人與航天機(jī)械臂領(lǐng)域，中國的技術(shù)也不遜色于美國。所以說只要經(jīng)過技術(shù)的積累，中國的機(jī)械臂技術(shù)也會(huì)不比國外的差多少。 為此，手臂一般都采用剛性較好的導(dǎo)向桿來...

控制策略對柔性機(jī)械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理。完全忽略結(jié)構(gòu)的彈性變形對結(jié)構(gòu)剛體運(yùn)動(dòng)的影響。例如為了避免過大的彈性變形破壞柔性機(jī)械臂的穩(wěn)定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運(yùn)動(dòng)的比較大角速度為。2)前饋補(bǔ)償法。將機(jī)械臂柔性變形形成的機(jī)械振動(dòng)看成是對剛性運(yùn)動(dòng)的確定性干擾而采用前饋補(bǔ)償?shù)霓k法來抵消這種干擾。德國的BerndGebler研究了具有彈性桿和彈性關(guān)節(jié)的工業(yè)機(jī)器人的前饋控制。張鐵民研究了基于利用增加零點(diǎn)來消除系統(tǒng)的主導(dǎo)極點(diǎn)和系統(tǒng)不穩(wěn)定的方法設(shè)計(jì)了具有時(shí)間延時(shí)的前饋控制器和PID控制器比較起來可以更加明顯的消除系統(tǒng)的殘余振動(dòng)。SeeringWarrenP。等學(xué)者對前饋...

隨著智能工業(yè)的快速發(fā)展，我們越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機(jī)器人代替人工作業(yè)，那么我們來說說工業(yè)機(jī)器人如六軸機(jī)器人是怎樣的? 六軸工業(yè)機(jī)器人是一種用于自然科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，六軸機(jī)器人的六個(gè)軸，每個(gè)軸都是一個(gè)電機(jī)配備減速機(jī)來傳動(dòng)，各個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)方式和方向都不同，每個(gè)軸其實(shí)是模擬人手的各個(gè)關(guān)節(jié)的動(dòng)作。 一軸：一軸是連接底座的部位，主要是承載上面軸的重量與底座的左右旋轉(zhuǎn)，一個(gè)左右旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作就是使用電機(jī)與減速機(jī)傳動(dòng)的結(jié)果，每個(gè)軸都是代替一個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)方式。 二軸：控制機(jī)器人主臂的前后擺動(dòng)、整個(gè)主臂上下運(yùn)動(dòng)的功能。 三軸：三軸同樣是控制機(jī)器人前后擺動(dòng)功能，只是比第二軸...

年來全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合，得硅），提純得純度約為98%的純硅，又稱冶金級硅，這對微電子器件來說依然不夠純，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿舾校蚨鴮σ苯?..

近年來全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合，得硅），提純得純度約為98%的純硅，又稱冶金級硅，這對微電子器件來說依然不夠純，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿?..

建模理論柔性機(jī)械臂動(dòng)力學(xué)方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個(gè)相當(dāng)有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機(jī)械臂系統(tǒng)建模與控制的基礎(chǔ)。因此因首先選擇一定的方式描述柔性體的變形，同時(shí)變形的描述與系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程的求解關(guān)系密切。[3]柔性體變形的描述主要有以下幾種：1)有限元法；2)有限段法；3)模態(tài)綜合法；4)集中質(zhì)量法；動(dòng)力學(xué)方程的建立無論是連續(xù)或離散的動(dòng)力學(xué)模型，其建模方法主要基于兩類基本方法：矢量力學(xué)法和分析力學(xué)法。應(yīng)用較***同時(shí)也是比較成熟的是Newton-Euler公式、La...

裝配機(jī)械人 ；這燈機(jī)械臂要有較高的位姿精度，手腕具有較大的柔性。目前大多用于機(jī)電產(chǎn)品的裝配作業(yè)。⒌專門用途的機(jī)械臂 如醫(yī)用護(hù)理機(jī)械臂、航天用機(jī)械臂、探海用機(jī)械臂以及排險(xiǎn)作業(yè)機(jī)械臂等。三、按操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)形式和自由度數(shù)量分類機(jī)械臂操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)型式是機(jī)械臂重要的外形特征，按這一類標(biāo)準(zhǔn)，機(jī)械臂可分為直角坐標(biāo)型，圓柱坐標(biāo)型，球（極）坐標(biāo)型、關(guān)節(jié)型機(jī)械臂（或擬人機(jī)械臂）。操作機(jī)本身的軸數(shù)（自由度數(shù)）**能反應(yīng)機(jī)械臂的工作能力，也是分類的重要依據(jù)。按這一分類要求，機(jī)械臂可分為4軸（自由度）、5軸（自由度）、6軸（自由度）、7軸（自由度）等機(jī)械臂。還有其它多種分類方式。基本介紹工業(yè)設(shè)計(jì)工業(yè)機(jī)械人通常由六...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。 為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂...

為了解決使用機(jī)器語言編寫應(yīng)用程序所帶來的一系列問題，人們首先想到了使用助記符號來代替不容易記憶的機(jī)器指令。這種助記符號來表示計(jì)算機(jī)指令的語言稱為符號語言，也稱匯編語言。在匯編語言中，每一條用符號來表示的匯編指令與計(jì)算機(jī)機(jī)器指令一一對應(yīng)；記憶難度**減少了，不僅易于檢查和修改程序錯(cuò)誤，而且指令、數(shù)據(jù)的存放位置可以由計(jì)算機(jī)自動(dòng)分配。用匯編語言編寫的程序稱為源程序，計(jì)算機(jī)不能直接識別和處理源程序，必須通過某種方法將它翻譯成為計(jì)算機(jī)能夠理解并執(zhí)行的機(jī)器語言，執(zhí)行這個(gè)翻譯工作的程序稱為匯編程序。手臂自重輕，其啟動(dòng)和停止的平穩(wěn)性就好。珠海本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報(bào)價(jià)出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。 背景技術(shù)： 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。 技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素： 本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛...

沖床行業(yè)機(jī)械臂又名沖床行業(yè)機(jī)械手、沖床沖壓機(jī)械手，它是用于沖床行業(yè)專門用的機(jī)械臂，沖床沖壓機(jī)械手能按照預(yù)選程序自動(dòng)完成幾個(gè)規(guī)定的動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)物體的自動(dòng)夾取和運(yùn)送。在沖壓生產(chǎn)中，它不僅用于一臺壓力機(jī)上完成上下料工作，實(shí)現(xiàn)單機(jī)自動(dòng)化，也可以用在由若干臺壓力機(jī)組成的流水生產(chǎn)線上，實(shí)現(xiàn)各壓力機(jī)之間工件的自動(dòng)傳遞，形成自動(dòng)沖壓生產(chǎn)線。由于機(jī)械手能方便地改變工作程序，因而在經(jīng)常變換產(chǎn)品品種的中小件沖壓生產(chǎn)中，對于實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)化更具有重要意義。沖床沖壓機(jī)械手由執(zhí)行機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等組成。 X移動(dòng)，Y移動(dòng)，Z移動(dòng)組成，通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動(dòng)，Y轉(zhuǎn)動(dòng)，Z轉(zhuǎn)動(dòng)可以到達(dá)空間內(nèi)的任何坐標(biāo)點(diǎn)。廣東進(jìn)口晶...

為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸，有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且，請仔細(xì)回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎？非也！在硅棒做出來后，在200mm以下的硅棒上是切割一個(gè)平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，為了減少浪費(fèi)，只裁剪個(gè)圓形小口，叫做Notch。***再進(jìn)行切片，得到的晶圓如下。那么，這個(gè)小豁口是做什么用的呢？很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定，在加工的時(shí)候也不容易出錯(cuò)了。所以，為什么“晶圓”沒有方的？？？答案很簡單，是一個(gè)歷史遺留的問題，也是一個(gè)技術(shù)限制的問題。而且，真的沒有必要做出來正方的硅片呢～。 手端的定位由各部關(guān)節(jié)...

可選地，所述托板包括： 主板； 排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接； 所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。 可選地，所述表面為平面。 另外，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。 在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí)，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速...