在失效分析的有損分析中，打開封裝是常見操作，通常有三種方法。全剝離法會將集成電路完全損壞，留下完整的芯片內(nèi)部電路。但這種方法會破壞內(nèi)部電路和引線，導(dǎo)致無法進(jìn)行電動態(tài)分析，適用于需觀察內(nèi)部電路靜態(tài)結(jié)構(gòu)的場景。局部去除法通過特定手段去除部分封裝，優(yōu)點(diǎn)是開封過程不會損壞內(nèi)部電路和引線，開封后仍可進(jìn)行電動態(tài)分析，能為失效分析提供更豐富的動態(tài)數(shù)據(jù)。自動法則是利用硫酸噴射實(shí)現(xiàn)局部去除，自動化操作可提高效率和精度，不過同樣屬于破壞性處理，會對樣品造成一定程度的損傷。

熱紅外顯微鏡通過 AI 輔助分析，一鍵生成熱譜圖，大幅提升科研與檢測效率。長波熱紅外顯微鏡

車規(guī)級芯片作為汽車電子系統(tǒng)的重心，其可靠性直接關(guān)系到汽車的安全運(yùn)行，失效分析是對提升芯片質(zhì)量、保障行車安全意義重大。在車規(guī)級芯片失效分析中，熱紅外顯微鏡發(fā)揮著關(guān)鍵作用。芯片失效常伴隨異常發(fā)熱，通過熱紅外顯微鏡分析其溫度分布，能定位失效相關(guān)的熱點(diǎn)區(qū)域。比如，芯片內(nèi)部電路短路、元器件老化等故障，會導(dǎo)致局部溫度驟升形成明顯熱點(diǎn)。從而快速定位潛在的故障點(diǎn)，為功率模塊的失效分析提供了強(qiáng)有力的工具?？梢愿玫膸椭嚻髢?yōu)化芯片良率與安全性。無損熱紅外顯微鏡品牌熱紅外顯微鏡采用先進(jìn)的探測器，實(shí)現(xiàn)對微小熱量變化的快速響應(yīng) 。

致晟光電自主研發(fā)的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列，是電子工業(yè)中不可或缺的精密檢測工具，在半導(dǎo)體芯片、先進(jìn)封裝技術(shù)、功率電子器件以及印刷電路板（PCB）等領(lǐng)域的失效分析中發(fā)揮著舉足輕重的作用。

該設(shè)備搭載——實(shí)時瞬態(tài)鎖相紅外熱分析（RTTLIT）系統(tǒng)，并集成高靈敏度紅外相機(jī)、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術(shù)組件，賦予其三大特性：超凡靈敏度與亞微米級檢測精度，可捕捉微弱熱信號與光子發(fā)射；高精度溫度測量能力（鎖相靈敏度達(dá)0.001℃），支持動態(tài)功耗分析；無損故障定位特性，無需破壞器件即可鎖定短路、開路等缺陷。憑借技術(shù)集成優(yōu)勢，ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點(diǎn)，更能通過失效分析優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量與可靠性，為半導(dǎo)體制造、先進(jìn)封裝及電子器件研發(fā)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。

半導(dǎo)體制程已逐步進(jìn)入 3 納米及更先進(jìn)階段，芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)日趨密集，供電電壓也持續(xù)降低，這使得微觀熱行為對器件性能的影響變得更為明顯。致晟光電熱紅外顯微鏡是在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎(chǔ)上，經(jīng)迭代進(jìn)化而成的精密工具。在先進(jìn)制程研發(fā)中，它在應(yīng)對熱難題方面能提供一定支持，在芯片設(shè)計(jì)驗(yàn)證、失效排查以及性能優(yōu)化等環(huán)節(jié)，都能發(fā)揮相應(yīng)的作用。其通過不斷優(yōu)化的技術(shù)，適應(yīng)了先進(jìn)制程下對微觀熱信號檢測的需求，為相關(guān)研發(fā)工作提供了有助于分析和解決問題的熱分布信息，助力研發(fā)人員更好地推進(jìn)芯片相關(guān)的研究與改進(jìn)工作。
熱紅外顯微鏡通過熱輻射相位差算法，三維定位 3D 封裝中 Z 軸方向的失效層。

當(dāng)電子設(shè)備中的某個元件發(fā)生故障或異常時，常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過高靈敏度的紅外探測器，能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號。這些探測器通常采用量子級聯(lián)激光器等先進(jìn)技術(shù)，或其他高性能紅外傳感方案，具備寬溫區(qū)、高分辨率的成像能力。通過對熱輻射信號的精細(xì)探測與分析，熱紅外顯微鏡能夠?qū)㈦娮釉O(shè)備表面的溫度分布以高對比度的熱圖像形式呈現(xiàn)，直觀展現(xiàn)熱點(diǎn)區(qū)域的位置、尺寸及溫度變化趨勢，從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)高效可靠的故障排查。熱紅外顯微鏡利用其高分辨率，觀察半導(dǎo)體制造過程中的熱工藝缺陷 。廠家熱紅外顯微鏡選購指南

熱紅外顯微鏡的高精度熱檢測，為電子設(shè)備可靠性提供保障 。長波熱紅外顯微鏡

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 圖像分析是通過探測物體自身發(fā)出的紅外輻射，將其轉(zhuǎn)化為可視化圖像，進(jìn)而分析物體表面溫度分布等信息的技術(shù)。其原理是溫度高于零度的物體都會向外發(fā)射紅外光，熱紅外顯微鏡通過吸收這些紅外光，利用光電轉(zhuǎn)換將其變?yōu)闇囟葓D像。物體內(nèi)電荷擾動會產(chǎn)生遠(yuǎn)場輻射和近場輻射，近場輻射以倏逝波形式存在，強(qiáng)度隨遠(yuǎn)離物體表面急劇衰退，通過掃描探針技術(shù)可散射近場倏逝波，從而獲取物體近場信息，實(shí)現(xiàn)超分辨紅外成像。長波熱紅外顯微鏡