激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量。湖南小型激光干涉儀

激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器，隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn)，因其具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點，已成為高精密機械生產(chǎn)中校準及補償?shù)臉藴蕛x器，在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分，單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大，一般用于特定環(huán)境的實驗室。雙頻激光干涉儀應(yīng)用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，抗干擾能力強，普遍應(yīng)用于各種工況下。北京儀器校準激光干涉儀維護可進行滾珠絲桿的動態(tài)特性分析。

干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現(xiàn)的，初用于檢定基準線紋尺，后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(tài)(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導(dǎo)軌上。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光，具有強度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用?？蓽y量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性。設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角。可選的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。

激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。當高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發(fā)，形成激光光束，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實現(xiàn)平衡狀態(tài)，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi)，此時穩(wěn)定輸出后，激光器即可進行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快的特點。吉林激光干涉儀質(zhì)量推薦

激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢。湖南小型激光干涉儀

激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動完成檢測和刻劃定位。湖南小型激光干涉儀