利用氣體動(dòng)力學(xué)效用類真空計(jì)測(cè)量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來(lái)推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí),波紋管會(huì)產(chǎn)生變形,這種變形可以通過機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí),薄膜會(huì)相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會(huì)導(dǎo)致電容的改變,進(jìn)而通過測(cè)量電容的變化量來(lái)推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)迅速、測(cè)量范圍廣等特點(diǎn)。真空計(jì)使用時(shí)應(yīng)該注意什么?四川高純度真空計(jì)
微壓差真空計(jì)(差壓規(guī))測(cè)量?jī)蓚€(gè)腔室壓差,量程1~10??Pa,精度±0.1%。應(yīng)用包括檢漏儀(氦質(zhì)譜儀參考端壓力監(jiān)控)和分子泵前級(jí)壓力控制。硅諧振式傳感器(如橫河EJA系列)溫度穩(wěn)定性達(dá)±0.1%FS/年。20.真空計(jì)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)①量子傳感器(NV色心測(cè)磁矩變化);②石墨烯膜規(guī)(理論極限10?12Pa);③片上集成(ASIC整合傳感與信號(hào)處理);④自供電無(wú)線真空計(jì)(能量收集技術(shù))。NIST正在開發(fā)基于冷原子干涉的***真空基準(zhǔn),不確定度目標(biāo)0.01%。河北金屬電容薄膜真空計(jì)多少錢電容薄膜真空計(jì)的校準(zhǔn)注意事項(xiàng)有?
熱陰極電離真空計(jì)(Bayard-Alpert計(jì))通過加熱陰極(銥合金或氧化釔涂層鎢絲)發(fā)射電子,電子撞擊氣體分子產(chǎn)生離子,離子電流與壓力成正比。量程10?1~10?? Pa,精度±20%。需避免氧氣環(huán)境導(dǎo)致陰極氧化,且高壓(>1 Pa)下可能燒毀燈絲。改進(jìn)型抑制規(guī)(Suppressor Gauge)通過電極設(shè)計(jì)減少X射線效應(yīng),可測(cè)至10?1? Pa。4. 冷陰極電離真空計(jì)(潘寧規(guī))利用磁場(chǎng)約束放電產(chǎn)生離子,無(wú)需加熱陰極。量程1~10?? Pa,抗污染能力強(qiáng),但啟動(dòng)壓力需<1 Pa(需預(yù)抽真空)。放電不穩(wěn)定可能導(dǎo)致讀數(shù)波動(dòng)±30%。逆磁控管設(shè)計(jì)提升靈敏度,用于半導(dǎo)體設(shè)備監(jiān)控。其壽命可達(dá)10萬(wàn)小時(shí),但強(qiáng)磁場(chǎng)可能干擾周圍儀器。
(1)利用氣體熱學(xué)特征類真空計(jì)通過測(cè)量氣體分子在真空中的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)或動(dòng)力學(xué)效應(yīng)來(lái)推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí),熱絲的熱傳導(dǎo)性能會(huì)受到影響,進(jìn)而導(dǎo)致電阻發(fā)生變化。通過測(cè)量電阻的變化,可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測(cè)量范圍寬等特點(diǎn)。b)熱電偶規(guī)利用熱電效應(yīng)進(jìn)行真空度測(cè)量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢(shì)與周圍氣體壓力的關(guān)系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢(shì)也會(huì)相應(yīng)改變,從而提供關(guān)于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作便捷等特點(diǎn)。皮拉尼真空計(jì)在測(cè)量過程中需要注意哪些安全問題?
真空計(jì)是用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,具有多種特點(diǎn),使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn):1. 寬量程適用:真空計(jì)可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計(jì)適用于不同的壓力范圍。2. 高精度精確測(cè)量:現(xiàn)代真空計(jì)具有高精度,能提供準(zhǔn)確的真空度測(cè)量。高分辨率:能夠檢測(cè)到微小的壓力變化。3. 快速響應(yīng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè):真空計(jì)對(duì)壓力變化反應(yīng)迅速,適合需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的應(yīng)用。動(dòng)態(tài)測(cè)量:在快速變化的環(huán)境中,真空計(jì)能提供穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。4. 環(huán)境適應(yīng)性耐高溫:部分真空計(jì)能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境,選擇耐腐蝕材料制成的真空計(jì)??刮廴荆涸谖廴練怏w環(huán)境中,部分真空計(jì)具有抗污染能力。5. 多種測(cè)量原理熱傳導(dǎo):如皮拉尼真空計(jì),基于氣體熱傳導(dǎo)變化測(cè)量壓力。電離:如電離真空計(jì),通過測(cè)量氣體分子電離產(chǎn)生的離子流來(lái)確定壓力。電容:如電容式真空計(jì),通過測(cè)量電容變化來(lái)確定壓力。6. 易于安裝與維護(hù)多種安裝方式:提供法蘭連接、螺紋連接等多種安裝方式,適應(yīng)不同系統(tǒng)需求。易于維護(hù):設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,易于清潔和維護(hù),部分真空計(jì)具有自校準(zhǔn)功能。皮拉尼真空計(jì)通常用于測(cè)量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。浙江陶瓷真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
如果懷疑電容真空計(jì)出現(xiàn)故障,應(yīng)及時(shí)進(jìn)行檢修或更換。四川高純度真空計(jì)
應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)真空系統(tǒng):用于監(jiān)測(cè)真空泵和真空腔室的壓力。實(shí)驗(yàn)室研究:用于各種真空實(shí)驗(yàn)。真空鍍膜:確保鍍膜過程在所需真空度下進(jìn)行。食品包裝:用于真空包裝機(jī)的壓力監(jiān)測(cè)。選型與使用量程選擇:根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護(hù):正確安裝并定期校準(zhǔn)和維護(hù)。常見問題零點(diǎn)漂移:定期校準(zhǔn)以減少誤差。污染影響:保持傳感器清潔,避免污染。溫度影響:注意環(huán)境溫度變化對(duì)測(cè)量的影響??偨Y(jié)皮拉尼真空計(jì)以其寬量程、快速響應(yīng)和低成本等優(yōu)點(diǎn),在多個(gè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。正確選型和使用能確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。四川高純度真空計(jì)