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北京Nanoscribe灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2025-08-13

微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似,但是原理不同,我們常見的微納3D打印技術(shù)是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術(shù),利用該技術(shù)我們理論上可以獲得任意想要的結(jié)構(gòu),不光是微透鏡陣列結(jié)構(gòu)(如下圖5所示),該方法的優(yōu)勢是可以完全按照設(shè)計獲得想要的結(jié)構(gòu),對于雙光子聚合的微結(jié)構(gòu),我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具,但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結(jié)構(gòu)可以直接進行后續(xù)的復(fù)制工作,并通過納米壓印技術(shù)進行復(fù)制。灰度光刻的就是利用灰度光刻掩膜版(掩膜接觸式光刻)或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區(qū)域完全曝透,而某些區(qū)域光刻膠部分曝光,從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)(如下圖4所示,八邊金字塔結(jié)構(gòu))Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司邀您探討灰度光刻技術(shù)的用途和特點。北京Nanoscribe灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

北京Nanoscribe灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng),灰度光刻

Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)造工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標準材料。所打印的亞微米級別分辨率器件具有特別高的形狀精度,屬于目前市場上易于操作的“負膠”。IP樹脂作為高效的打印材料,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一。我們提供針對優(yōu)化不同光刻膠和應(yīng)用領(lǐng)域的高級配套軟件,從而簡化3D打印工作流程并加快科研和工業(yè)領(lǐng)域的設(shè)計迭代周期,包括仿生表面,微光學元件,機械超材料和3D細胞支架等。湖北德國灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)與傳統(tǒng)的光刻技術(shù)相比,灰度光刻在制造復(fù)雜芯片時具有明顯的優(yōu)勢。

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Nanoscribe成立于2007年,是卡爾斯魯厄理工學院(KIT)的衍生公司。Nanoscribe憑借其過硬的技術(shù)背景和市場敏銳度奠定了其市場優(yōu)先領(lǐng)導地位,并以高標準來要求自己以滿足客戶的需求。Nanoscribe將在未來在基于雙光子聚合技術(shù)的3D微納加工系統(tǒng)基礎(chǔ)上進一步擴大產(chǎn)品組合實現(xiàn)多樣化,以滿足不用客戶群的需求。Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)QuantumX,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)作工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。

Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)QuantumX,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)造工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標準材料。所打印的亞微米級別分辨率器件具有特別高的形狀精度,屬于目前市場上易于操作的“負膠”。IP樹脂作為高效的打印材料,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一。我們提供針對優(yōu)化不同光刻膠和應(yīng)用領(lǐng)域的高級配套軟件,從而簡化3D打印工作流程并加快科研和工業(yè)領(lǐng)域的設(shè)計迭代周期,包括仿生表面,微光學元件,機械超材料和3D細胞支架等。歡迎咨詢聚焦Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司,給您講解灰度光刻技術(shù)。

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近年來,實現(xiàn)微納尺度下的3D灰度光刻結(jié)構(gòu)在包括微機電(MEMS)、微納光學及微流控研究領(lǐng)域內(nèi)備受關(guān)注,良好的線性側(cè)壁灰度結(jié)構(gòu)可以很大程度上提高維納器件的靜電力學特性,信號通訊性能及微流通道的混合效率等。相比一些獲取灰度結(jié)構(gòu)的傳統(tǒng)手段,如超快激光刻蝕工藝、電化學腐蝕或反應(yīng)離子刻蝕等,灰度直寫圖形曝光結(jié)合干法刻蝕可以更加方便地制作任意圖形的3D微納結(jié)構(gòu)。該方法中,利用微鏡矩陣(DMD)開合控制的激光灰度直寫曝光表現(xiàn)出更大的操作便捷性、易于設(shè)計等特點,不需要特定的灰度色調(diào)掩膜版,結(jié)合軟件的圖形化設(shè)計可以直觀地獲得灰度結(jié)構(gòu)。更多灰度光刻技術(shù),歡迎您致電Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。湖北德國灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

灰度光刻技術(shù)將灰度光刻的性能與雙光子聚合的精確性和靈活性結(jié)合。北京Nanoscribe灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

傳統(tǒng)3D打印難以實現(xiàn)對于復(fù)雜設(shè)計或曲線形狀的高分辨率3D打印,必須切片并分為大量水平和垂直層。這會明顯增加對于平滑、曲線或精細結(jié)構(gòu)的打印時間。雙光子聚合技術(shù)(2PP)則可以解決這個難題。Nanosribe于2019年推出的雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)可實現(xiàn)體素調(diào)節(jié),從而明顯減少打印層數(shù)。這是通過掃描過程中的快速激光調(diào)制來實現(xiàn)的。并且,這項技術(shù)已從原先適用于。Nanoscribe于2023年推出雙光子灰度光刻3D打印技術(shù)3Dprintingby2GL®,該技術(shù)具備實現(xiàn)出色形狀精度的優(yōu)越打印品質(zhì),并將Nanoscribe的灰度技術(shù)拓展到三維層面。整個打印過程在保持高速掃描的同時實現(xiàn)實時動態(tài)調(diào)整激光功率。這使得聚合體素得到精確尺寸調(diào)整,以完美匹配任何3D形狀的輪廓。在無需切片步驟,不產(chǎn)生形狀失真的要求下,您將獲得具有無瑕疵光學級表面的任意3D打印設(shè)計的真實完美形狀。北京Nanoscribe灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)