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湖北高分辨率無掩膜光刻

來源: 發(fā)布時間:2025-08-29

科學家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術(2PP)打印微型通道的聚合物母版,并結(jié)合軟光刻技術做后續(xù)復制工作。隨后,在密閉的微流道中通過芯片內(nèi)3D微納加工技術直接制作復雜結(jié)構噴絲頭。這種集成復雜3D結(jié)構于傳統(tǒng)平面微流控芯片的全新方式為微納加工制造打開了新的大門。布魯塞爾自由大學的光子學研究小組(B-PHOT)的科學家們正在通過使用Nanoscribe雙光子聚合技術(2PP)將光波導漏斗3D打印到光纖末端上來攻克將具有不同模場幾何形狀的兩個元件之間的光束進行高效和穩(wěn)健耦合這個難題。這些錐形光束漏斗可調(diào)整SMF的模式場,以匹配光子芯片上光波導模式場。Nanoscribe的2PP技術將可調(diào)整模場的錐形體作為階躍折射率光波導光束。更多有關3D雙光子無掩模光刻技術和產(chǎn)品,請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。湖北高分辨率無掩膜光刻

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Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)QuantumX,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。利用Nanoscribe的雙光子聚合微納3D打印技術,斯圖加特大學和阿德萊德大學的研究人員聯(lián)手澳大利亞醫(yī)學研究中心的科學家們新研發(fā)的微型內(nèi)窺鏡。將12050微米直徑的微光學器件直接打印在光纖上,構建了一款功能齊全的超薄像差校正光學相干斷層掃描探頭。這是迄今有報道的尺寸低值排名優(yōu)先的自由曲面3D成像探頭,包括導管鞘在內(nèi)的直徑只為0.457mm。歡迎咨詢北京超高速無掩膜光刻多少錢無掩膜光刻機具有無掩模光刻技術的便利,很大程度提高了無掩膜影印和新產(chǎn)品研發(fā)的效率。

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事實上,雙光子聚合加工是在2001年開始真正應用在微納制造領域的,其先驅(qū)者是東京大阪大學的Kawata教授以及孫洪波教授。當時這個實驗室在nature上發(fā)表的一篇工作,也就是傳說中的納米牛引起了極大的轟動:《Finerfeaturesforfunctionalmicrodevices:Micromachinescanbecreatedwithhigherresolutionusingtwo-photonabsorption.》但是,這篇文獻中還進行了另外一個更厲害的工作,這兩位教授做出了當時世界上特別小的彈簧振子,其加工分辨率達到了120nm,超越了衍射極限,同時還沒有使用諸如近場加工之類的解決方案,而是單純的利用了材料的性質(zhì)。來自不來梅大學微型傳感器、致動器和系統(tǒng)(IMSAS)研究所的科學家們發(fā)明了一種全新的微流道混合方式,使用Nanoscribe公司的3D打印系統(tǒng),利用雙光子聚合原理(2PP)結(jié)合光刻技術,將自由形式3D微流控混合元件集成到預制的晶圓級二維微流道中。該微型混合器可以處理高達100微升/分鐘的高流速樣品,適用于藥物和納米顆粒制造,快速化學反應、生物學測量和分析藥物等各種不同應用。

為了進一步提升技術先進性,科研人員又在新材料研發(fā)的過程中發(fā)現(xiàn)了巨大的潛力。一方面,利用SCRIBE新技術的情況下,高折射率的光刻膠可進一步拓展對打印結(jié)構的光學性能的調(diào)節(jié)度。另一方面,低自發(fā)熒光的可打印材料非常適用于生物成像領域。Nanoscribe公司的IP系列光刻膠,例如具有高折射率的IP-n162和具有生物相容性和低自發(fā)熒光的IP-Visio已經(jīng)為接下來的研究提供了進一步的可能。為了證明SCRIBE新技術的巨大潛力,科研人員打印了眾多令人矚目的光學組件,例如已經(jīng)提到的龍勃透鏡。此外科研人員還打印了消色差雙合透鏡(如圖示)。通過色散透鏡聚焦的光因波長不同焦點位置也不盡相同。通過組合不同折射率的透鏡可幫助降低透鏡的色差。在給出的例子中,成像中的熒光強度和折射率高度相關,同時將打印的雙透鏡中的每個單獨透鏡可視化。無掩膜光刻系統(tǒng)可以實現(xiàn)非常高的加工精度和分辨率,適用于微米和納米級別的加工要求。

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Nanoscribe公司成立于2007年,總部位于德國卡爾斯魯厄,秉持著卡爾斯魯厄理工學院(KIT)的技術背景的德國卡爾蔡司公司的支持,經(jīng)過十幾年的不斷研究和成長,已然成為微納米生產(chǎn)的帶領者,一直致力于推動諸如力學超材料,微納機器人,再生醫(yī)學工程,微光學等創(chuàng)新領域的研究和發(fā)展,并提供優(yōu)化制程方案。如今,Nanoscribe客戶遍布全球30個國家,超過1500名用戶正在使用Nanoscribe3D打印系統(tǒng)。這些大學包含哈佛大學、加州理工學院、牛津大學、倫敦帝國理工學院和蘇黎世聯(lián)邦理工學院等等。為了拓展并加強中國及亞太地區(qū)的銷售推廣和售后服務范圍,Nanoscribe于2017年底在上海成立了獨資子公司-納糯三維科技(上海)有限公司。自Nanoscribe進軍中國市場以來,已有20多家出名大學和研究所成為了Nanoscribe用戶,其中包括多所C9前列高校聯(lián)盟成員,例如:北京大學,復旦大學,南京大學等等。我們提供高精度無掩膜光刻寫服務,確保圖案清晰無模糊。海南工業(yè)級無掩膜光刻

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Nanoscribe首屆線上用戶大會于九月順利召開,在微流控研究中,通常在針對微流控器件和芯片的快速成型制作中會結(jié)合不同制造方法。亞琛工業(yè)大學(RWTHUniversityofAachen)和不來梅大學(UniversityofBremen)的研究小組提出將三維結(jié)構的芯片結(jié)構打印到預制微納通道中。生命科學研究的驅(qū)動力是三維打印模擬人類細胞形狀和大小的支架,以推動細胞培養(yǎng)和組織工程學。丹麥技術大學(DTU)和德國于利希研究中心的研究團隊展示了他們的成就,并強調(diào)了光刻膠如IP-L780和Nanoscribe新型柔性打印材料IP-PDMS的重要性。在微納光學和光子學研究中,布魯塞爾自由大學的研究人員提出了用于光纖到光纖和光纖到芯片連接的錐形光纖和低損耗波導等解決方案。阿卜杜拉國王科技大學的研究團隊3D打印了一個超小型單纖光鑷,以實現(xiàn)集成微納光學系統(tǒng)。連接處理是光子集成研究的挑戰(zhàn)。正如明斯特大學(WWU)研究人員所示,Nanoscribe微納加工技術正在驅(qū)動研究用于集成納米多孔電路的混合接口方法。麻省理工學院(MIT)的科學家們正在使用Nanoscribe的2PP技術制造用于高密度集成光子學的光學自由形式耦合器。湖北高分辨率無掩膜光刻