一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜（DLC），這類薄膜具有高的硬度，低的摩擦因數(shù)，優(yōu)異的耐磨性，良好的光學(xué)透過(guò)性和生物相容性，是近年來(lái)引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強(qiáng)弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素，也是決定所有涂層應(yīng)用價(jià)值的較基礎(chǔ)因素。DLC涂層結(jié)合強(qiáng)度不高，通過(guò)納米調(diào)制等手段來(lái)提高其結(jié)合力。其中硼摻雜類金剛石涂層的研究主要集中在電化學(xué)和生物相容性方面,首先采用射頻磁控濺射法在不同基底材料上制備了類金剛石涂層，分析了基底材料對(duì)涂層結(jié)構(gòu)及膜基結(jié)合力的影響，通過(guò)原子力顯微鏡、掃描電鏡、拉曼光譜結(jié)果表明：射頻磁控濺射和閉合場(chǎng)非平衡磁控濺射制備的類金剛石涂層，上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)?？梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。DLC涂層結(jié)合強(qiáng)度不高，通過(guò)納米調(diào)制等手段來(lái)提高其結(jié)合力。浙江電鍍DLC涂層廠

類金剛石在電學(xué)性能及應(yīng)用。DLC薄膜具有優(yōu)異的電學(xué)性能，一般來(lái)說(shuō)，含氫DLC薄膜電阻率比不含氫的DLC薄膜的高，可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3相的緣故。由于DLC中的sp2相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系，因此沉積工藝和離子束的能量都對(duì)DLC薄膜層電阻率有著很大的影響。由于DLC薄膜的良好導(dǎo)熱性能，它可以作為芯片中銅片散熱器的絕緣電阻，能防止通常功率下因熱膨脹系數(shù)不匹配而引起的銅片抓痕。此外，DLC在腐蝕介質(zhì)中表現(xiàn)出極高的化學(xué)惰性，可以保護(hù)基底免遭外界腐蝕介質(zhì)的溶蝕。純的DLC薄膜表現(xiàn)出極好的耐蝕性，可以抵御各類酸堿甚至王水的侵蝕。另外，DLC薄膜具有較低的電子親和勢(shì)，是一種優(yōu)異的冷陰極場(chǎng)發(fā)射材料，其中一個(gè)重要的應(yīng)用領(lǐng)域就是場(chǎng)發(fā)射平面顯示器件。上海納米DLC類金剛（DLC）石薄膜的分類。

表面硬質(zhì)涂層硬度的檢測(cè)方法,并分別利用顯微硬度計(jì)和納米壓入儀對(duì)類金剛石(DLC)涂層進(jìn)行了硬度檢測(cè)試驗(yàn),運(yùn)用Jonsson-Hogmark提出的顯微硬度模型進(jìn)行了涂層本征硬度的推算,并與納米壓入硬度進(jìn)行了對(duì)比分析,結(jié)果表明,在加載力為1N時(shí),兩者具有較好的一致性,推算結(jié)果可信.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于0.1結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。

類金剛石薄膜(DLC)是1種非晶薄膜，可分為無(wú)氫類金剛石碳膜(a-C)和氫化類金剛石碳膜(a-C:H)(圖2)兩類。無(wú)氫類金剛石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2鍵碳原子相互混雜的三維網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成)，以及四面體非晶碳(tetrahedralcarbon，簡(jiǎn)稱ta-C)(主要由超過(guò)80%的sp3鍵碳原子為骨架構(gòu)成);氫化類金剛石碳膜(a-C:H)又可分為類聚合物非晶態(tài)碳(polymer-likecarbon，簡(jiǎn)稱PLC)、類金剛石碳、類石墨碳3種，其三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中同時(shí)還結(jié)合一定數(shù)量的氫.類聚合物非晶態(tài)碳是含氫金剛石薄膜的一種它是非晶體又有類似于聚合物那種通過(guò)相同簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)單元通過(guò)共價(jià)鍵重復(fù)連接而成的化合物。這種類金剛石薄膜因?yàn)閟p2鍵占據(jù)了主要數(shù)量，所以比較軟，又不具備石墨的特性，使得它的用途受到了限制，在摩擦學(xué)的應(yīng)用上還處在起步階段。退火處理對(duì)WC-DLC薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響。

利用顏色快速分辨類金剛石（DCL）薄膜。浙江電鍍DLC涂層廠

DLC薄膜的機(jī)械性能怎么樣？浙江電鍍DLC涂層廠

在一臺(tái)yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計(jì)、顯微硬度計(jì)、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對(duì)薄膜的力學(xué)性能和結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析和測(cè)定.摩擦磨損試驗(yàn)在一臺(tái)球-盤(pán)滑動(dòng)磨損試驗(yàn)機(jī)上進(jìn)行.比較了不同鈦合金化程度的DLC膜及熱處理前后的性能變化.結(jié)果表明,薄膜的力學(xué)性能與Ti含量有非單值關(guān)系,但摩擦系數(shù)隨Ti含量增加而升高;熱處理后薄膜顯微硬度有名升高的原因是生成了碳化鈦硬化相.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)?？梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。浙江電鍍DLC涂層廠