燒結(jié)碳化物陶瓷復(fù)合材料:金屬?gòu)?fù)合物,聚合物和復(fù)合陶瓷印刷線(xiàn)路板微電子設(shè)備塑料和聚合物本書(shū)中討論的這些制備程序,都是在直徑8英寸(200mm)磨盤(pán)的自動(dòng)研磨機(jī)上,利用具有六個(gè)直徑(30mm)試樣孔的直徑5英寸(125mm)試樣夾持器,通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)和研究所得的程序。這些制備程序在直徑10英寸(250mm)或直徑12英寸(300mm)的研磨盤(pán)上使用時(shí),獲得了一樣的結(jié)果。當(dāng)使用8英寸(200mm)研磨盤(pán)和直徑5英寸(125mm)試樣夾持器時(shí),應(yīng)調(diào)整試樣夾持器的位置使得試樣盡量在研磨盤(pán)外沿旋轉(zhuǎn)研磨。這將比較大化利用工作表面同時(shí)提高邊緣保持度。這種調(diào)整在使用相同直徑試樣夾持器時(shí)對(duì)大直徑研磨盤(pán)的損傷將小。然而,如果使用直徑7英寸(175mm)試樣夾持器和直徑12英寸(300mm)研磨盤(pán)時(shí),應(yīng)調(diào)整試樣夾持器的位置使得試樣在研磨盤(pán)邊緣旋轉(zhuǎn)研磨。通常情況下,當(dāng)使用不同形式研磨盤(pán)和鑲嵌樣尺寸時(shí),很難預(yù)知試樣制備的時(shí)間和載荷的大小變化。雖然嵌樣尺寸不同,但嵌樣尺寸不能作為基本的計(jì)算依據(jù),因?yàn)樵嚇幼陨泶笮”惹稑映叽绺匾D佇Ч缓??試試賦耘金相磨拋機(jī)!天津汽車(chē)零部件金相磨拋機(jī)替代ATM
金相拋光機(jī)金相自動(dòng)磨拋機(jī)金相磨拋機(jī)磨拋機(jī)磨光機(jī)金相研磨機(jī)中心壓力、單點(diǎn)壓力兩種運(yùn)行模式,可根據(jù)工況選擇合適的方式!試樣夾盤(pán)可快速裝卸轉(zhuǎn)換,靈活使用不同口徑夾盤(pán)!磁性盤(pán)設(shè)計(jì),支持快速換盤(pán),墊板噴涂特氟龍,更換砂紙拋布無(wú)殘留!采用高清LCD觸摸屏操控和顯示,操作簡(jiǎn)便,清晰直觀!自動(dòng)研磨系統(tǒng),可定時(shí)定速,水系統(tǒng)自動(dòng)啟閉功能,有效代替手工磨拋!全自動(dòng)款可存儲(chǔ)十多種磨拋程序,針對(duì)不同試樣,設(shè)置不同的參數(shù)!適合各類(lèi)金相制樣、切片分析!金相研磨機(jī)磨盤(pán)直徑有200mm、230mm、250mm、300mm可選!研磨拋光是制備試樣的步驟或中間步驟,以得到一個(gè)平整無(wú)劃痕無(wú)變形的鏡面。這樣的表面是觀察真實(shí)顯微組織的基礎(chǔ)以便隨后的金相解釋?zhuān)ǘ慷ㄐ浴伖饧夹g(shù)不應(yīng)引入外來(lái)組織,例如干擾金屬,坑洞,夾雜脫出,彗星拖尾,著色或浮雕(不同相的高度不同或孔和組織高度不同)。初的粗拋光之后,可加上一步,即用1pm金剛石在無(wú)絨或短絨拋光布或中絨拋光布拋光。在拋光過(guò)程中,可以添加適量潤(rùn)滑液以預(yù)防過(guò)熱或表面變形。中間步驟的拋光應(yīng)充分徹底,這樣才可能減少終拋光時(shí)間。手工拋光通常是在旋轉(zhuǎn)的輪上進(jìn)行,試樣以與磨盤(pán)相反的旋轉(zhuǎn)方向進(jìn)行相對(duì)圓周運(yùn)動(dòng)。上海金相磨拋機(jī)代理加盟金相磨拋機(jī)的合適轉(zhuǎn)速;
金相研磨機(jī)磨盤(pán)直徑有200mm、230mm、250mm、300mm可選!大直徑的研磨盤(pán)會(huì)增加試樣在給定時(shí)間內(nèi)的運(yùn)動(dòng)距離。例如,轉(zhuǎn)速一樣時(shí),試樣在直徑10英寸或直徑12英寸(250或300mm)研磨盤(pán)上的運(yùn)動(dòng)距離,分別是在8英寸(200mm)直徑研磨盤(pán)上運(yùn)動(dòng)距離的。因此當(dāng)使用10英寸或12英寸(250或300mm)研磨盤(pán)時(shí),建議將時(shí)間減少為8英寸(200mm)研磨盤(pán)的80%或67%。大直徑的研磨機(jī)的試樣制備時(shí)間要短,但耗材消耗稍多,所以大直徑的研磨機(jī)更適合試樣數(shù)量多試樣尺寸大的地方使用。根據(jù)報(bào)道,研磨和拋光速率因晶體方向不同而不同。錸是非常敏感于冷作的金屬,并生產(chǎn)機(jī)械孿晶。鉭是比鈮更軟的更難制備的金屬,因?yàn)樗菀子汕懈詈脱心ギa(chǎn)生變形層。在金屬材料產(chǎn)品中,鐵基合金金屬占有很大的比例。鐵基合金材料的化學(xué)成分和顯微組織的范圍也要比其它系列合金材料大的多。純鐵比較軟,易延展,不容易獲得一個(gè)無(wú)劃痕不變形的顯微組織。板鋼也有相同的問(wèn)題,可通過(guò)鍍一層保護(hù)膜如鍍鋅、鍍鋁或鍍鋅-鋁來(lái)消除影響。一般來(lái)說(shuō),比較硬的合金更容易制備。鑄鐵因其可能含有石墨,必須保證制備時(shí)能將起保留以供分析。夾雜物經(jīng)常要被定性定量分析評(píng)定。其碳含量變化范圍。
微電子材料所指的材料范圍很廣,這是因?yàn)槲㈦娮釉O(shè)備很復(fù)雜,包含大量的單個(gè)組件。例如,微處理器的失效分析可能會(huì)要求金相工作者正好從多層鍍層(例如氧化物、聚合物、易延展的金屬如銅或鋁、難熔金屬如鎢或鈦-鎢)的硅片的橫截面切割。另外,包裝材料也可能含有機(jī)械性能各異的材料如I氧化鋁或焊料。這些焊料有可能含有高達(dá)97%的鉛??梢韵胂髮⑦@么多性能各異的材料整合到一個(gè)單一的設(shè)備里,并開(kāi)發(fā)出一個(gè)適用于所有材料的制備程序的可能性就不存在,所以我們必須將注意力集中在幾種材料上,去開(kāi)發(fā)我們所要關(guān)注材料的試樣制備程序。初定義的微電子材料是硅。硅是一種相當(dāng)硬的脆的材料,不容易用大顆粒的SiC研磨。因?yàn)镾iC砂紙粘有堅(jiān)硬的磨削顆粒,當(dāng)它們接觸時(shí)會(huì)在硅片的邊緣造成損傷。另外,會(huì)在硅片的邊緣產(chǎn)生拉應(yīng)力,將導(dǎo)致較深的破壞裂紋。盡量接近切割目標(biāo)區(qū)切割,但也不能太接近目標(biāo)區(qū)切割,精細(xì)研磨仍然是必不可少的。因此硅的制備被劃分成兩種截然不同的方法,第一種是傳統(tǒng)的金相方法,第二種用特殊的夾具和研磨顆粒制備沒(méi)有封裝的硅片。磨拋機(jī)的啟動(dòng)和停止操作規(guī)范及注意要點(diǎn)?
金相全自動(dòng)研磨拋光設(shè)備采用多頭試樣夾持器,初的磨拋步驟叫磨平步驟。本步驟必須把切割損傷去除,以便給所有的試樣建立一個(gè)統(tǒng)一的平面,保證在隨后的步驟中每一個(gè)試樣所受的影響都一樣。碳化硅和氧化鋁砂紙通常被用于磨平步驟,并且效果理想。除了這些砂紙之外,還有其它的選擇。其中一種,是用傳統(tǒng)的氧化鋁磨拋石磨平。這就要求一部特殊的設(shè)備,氧化鋁磨拋石必須高速旋轉(zhuǎn),≥1500rpm以有效研磨。這些氧化鋁磨拋石除了必須定期用金剛石韌磨以保持平整度,研磨損傷大及研磨顆粒容易嵌到試樣里可能會(huì)是一個(gè)要面對(duì)的問(wèn)題。其它材料也被用于磨平步驟和隨后的步驟,以替代SiC砂紙。對(duì)那些非常硬的材料,如陶瓷和燒結(jié)碳化物,一個(gè)或多個(gè)金屬黏結(jié)或樹(shù)脂黏結(jié)的金剛石磨盤(pán)(傳統(tǒng)類(lèi)型)粒度從70μm到9μm可以使用。磨拋機(jī)的基本分類(lèi)及各類(lèi)別的特點(diǎn)??jī)?nèi)蒙古陶瓷金相磨拋機(jī)替代斯特爾
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金相研磨機(jī)磨盤(pán)直徑有200mm、230mm、250mm、300mm可選!大直徑的研磨盤(pán)會(huì)增加試樣在給定時(shí)間內(nèi)的運(yùn)動(dòng)距離。例如,轉(zhuǎn)速一樣時(shí),試樣在直徑10英寸或直徑12英寸(250或300mm)研磨盤(pán)上的運(yùn)動(dòng)距離,分別是在8英寸(200mm)直徑研磨盤(pán)上運(yùn)動(dòng)距離的。因此當(dāng)使用10英寸或12英寸(250或300mm)研磨盤(pán)時(shí),建議將時(shí)間減少為8英寸(200mm)研磨盤(pán)的80%或67%。大直徑的研磨機(jī)的試樣制備時(shí)間要短,但耗材消耗稍多,所以大直徑的研磨機(jī)更適合試樣數(shù)量多試樣尺寸大的地方使用。根據(jù)報(bào)道,研磨和拋光速率因晶體方向不同而不同。錸是非常敏感于冷作的金屬,并生產(chǎn)機(jī)械孿晶。.鉭是比鈮更軟的更難制備的金屬,因?yàn)樗菀子汕懈詈脱心ギa(chǎn)生變形層。鉭可能會(huì)含有硬的相,這將引起難控制的浮雕問(wèn)題。釩是軟的有延展性的金屬,可能因氫變脆,否則釩就可以象不銹鋼那樣制備了。盡管研磨和拋光的速率較低,但鎢制備不是很難。硬的碳化物和氧化物可能會(huì)出現(xiàn)在這些金屬里,這將浮雕缺陷問(wèn)題的產(chǎn)生。機(jī)械拋光經(jīng)常會(huì)在步驟使用侵蝕拋光劑或者跟隨一個(gè)震動(dòng)拋光步驟或化學(xué)拋光步驟。手工制備這些金屬和合金相對(duì)乏味,因?yàn)樗鼈兊难心ズ蛼伖馑俣刃侍汀R话阃扑]使用自動(dòng)制備方法,特別當(dāng)采用侵蝕拋光時(shí)。天津汽車(chē)零部件金相磨拋機(jī)替代ATM