電子探針X射線顯微分析儀（簡稱電子探針）利用約1Pm的細焦電子束，在樣品表層微區(qū)內(nèi)激發(fā)元素的特征X射線，根據(jù)特征X射線的波長和強度，進行微區(qū)化學成分定性或定量分析。電子探針的光學系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分與掃描電鏡基本相同，通常也配有二次電子和背散射電子信號檢測器，同時兼有組織形貌和微區(qū)成分分析兩方面的功能。電子探針的構(gòu)成除了與掃描電鏡結(jié)構(gòu)相似的主機系統(tǒng)以外，還主要包括分光系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)等部分。電子探針主要由電子光學系統(tǒng)（鏡筒），X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同，它們常常組合成單一的儀器。能兼作透射電鏡、能進行電子衍射、能作電子熒光觀察等。徐匯區(qū)特制探針五星服務(wù)

在不損耗試樣的情況下，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素；但是對原子序數(shù)小于12的元素，其靈敏度較差。常規(guī)分析的典型檢測相對靈敏度為萬分之一，在有些情況下可達十萬分之一。檢測的***靈敏度因元素而異，一般為10-14～10-16克。用這種方法可以方便地進行點、線、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖象。對原子序數(shù)高于10、濃度高于10%的元素，定量分析的相對精度優(yōu)于±2%。電子探針儀是 X射線光譜學與電子光學技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。1948年法國的R.卡斯坦制造了***臺電子探針儀。1958年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能，有的還附加另一些附件，使之除作微區(qū)成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。上海優(yōu)勢探針現(xiàn)價電子探針可以對試樣中微小區(qū)域（微米級）的化學組成進行定性或定量分析。

電子探針儀（圖1）主要包括：探針形成系統(tǒng) (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。電子探針的**早應(yīng)用領(lǐng)域是金屬學。對合金中各組成相、夾雜物等可作定性和定量分析，直觀而方便，還能較準確地測定元素的擴散和偏析情況。此外，它還可用于研究金屬材料的氧化和腐蝕問題，測定薄膜、滲層或鍍層的厚度和成分等，是機械構(gòu)件失效分析、生產(chǎn)工藝的選擇、特殊用材的剖析等的重要手段。圖2為鎂合金中稀土氧化物在晶界析出的電子探針分析照片。

該系統(tǒng)為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量，足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束，作為X射線的激發(fā)源。為此，一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個聚光鏡的結(jié)構(gòu)。 為了提高X射線的信號強度，電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流（在10-9-10-7A范圍），常用的加速電壓為10-30 KV，束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點。其方法是，先利用能發(fā)出熒光的材料（如ZrO2）置于電子束轟擊下，這是就能觀察到電子束轟擊點的位置，通過樣品移動裝置把它調(diào)到光學顯微鏡目鏡十字線交叉點上，這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點上，同時也保證了分析點處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學顯微鏡是同軸反射式物鏡，其優(yōu)點是光學觀察和X射線分析可同時進行。放大倍數(shù)為100-500倍。X射線譜儀。測量各種元素產(chǎn)生的X射線波長和強度，并以此對微小體積中所含元素進行定性和定量分析。

早期采用的RNA探針是細胞mRNA探針和病毒RNA探針，這些RNA是在細胞基因轉(zhuǎn)錄或病毒復(fù)制過程中得到標記的，標記效率往往不高，且受到多種因素的制約。這類RNA探針主要用于研究目的，而不是用于檢測。例如，在篩選逆轉(zhuǎn)錄病毒人類免疫缺陷病毒（HIV）的基因組DNA克隆時，因無DNA探針可利用，就利用HIV的全套標記mRNA作為探針，成功地篩選到多株HIV基因組DNA克隆。又如進行中的轉(zhuǎn)錄分析（nuclearrunontranscrip－tionassay）時，在體外將細胞核分離出來，然后在α-32P-ATP的存在下進行轉(zhuǎn)錄，所合成mR－NA均摻入同位素而得到標記，此混合mRNA與固定于硝酸纖維素濾膜上的某一特定的基因的DNA進行雜交，便可反映出該基因的轉(zhuǎn)錄狀態(tài)，這是一種反向探針實驗技術(shù)。主要用來分析固體物質(zhì)表面的細小顆?；蛭⑿^(qū)域，小范圍直徑為1μm左右。普陀區(qū)標準探針商家

把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合，可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來。徐匯區(qū)特制探針五星服務(wù)

利用電子探針分析方法可以探知材料樣品的化學組成以及各元素的重量百分數(shù)。分析前要根據(jù)試驗?zāi)康闹苽錁悠?，樣品表面要清潔。用波譜儀分析樣品時要求樣品平整，否則會降低測得的X射線強度。定性分析1 點分析用于測定樣品上某個指定點的化學成分。下圖是用能譜儀得到的某鋼定點分析結(jié)果。能譜儀中的多道分析器可使樣品中所有元素的特征X射線信號同時檢測和顯示。不像波譜儀那樣要做全部譜掃描，甚至還要更換分光晶體。2 線分析用于測定某種元素沿給定直線分布的情況。方法是將X射線譜儀（波譜儀或能譜儀）固定在所要測量的某元素特征X射線信號（波長或能量）的位置上，把電子束沿著指定的方向做直線軌跡掃描，便可得到該元素沿直線特征X射線強度的變化，從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。改變譜儀的位置，便可得到另一元素的X射線強度分布。下圖為50CrNiMo鋼中夾雜Al2O3的線分析像?？梢姡贏l2O3夾雜存在的地方，Al的X射線峰較強。徐匯區(qū)特制探針五星服務(wù)

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