依據(jù)GB50073-2013規(guī)范,潔凈室空氣潔凈度等級(jí)按懸浮粒子濃度劃分為ISO 1級(jí)至ISO 9級(jí)。其中,ISO 1級(jí)要求每立方米≥0.1μm粒子數(shù)≤10個(gè),而ISO 8級(jí)(十萬(wàn)級(jí))則放寬至≥0.5μm粒子數(shù)≤3,520,000個(gè)。等級(jí)確定需通過(guò)公式 Cn=10N×(0.1/D)2.08Cn=10N×(0.1/D)2.08 計(jì)算粒徑閾值,且相鄰等級(jí)壓差需≥5Pa以阻止交叉污染。半導(dǎo)體車(chē)間常要求ISO 3級(jí)(千級(jí))以上,采用ULPA過(guò)濾器(過(guò)濾效率99.999%)保障納米級(jí)工藝環(huán)境。電子廠(chǎng)檢測(cè)案例顯示,萬(wàn)級(jí)潔凈室需維持換氣次數(shù)≥25次/小時(shí),送風(fēng)量按 Q=面積×層高×換氣次數(shù)Q=面積×層高×換氣次數(shù) 計(jì)算,如300㎡車(chē)間需22,500m3/h風(fēng)量。無(wú)塵車(chē)間設(shè)置應(yīng)急排風(fēng)系統(tǒng),毒氣泄漏時(shí)30秒內(nèi)完成置換。安徽保護(hù)膜無(wú)塵車(chē)間裝修
隨著半導(dǎo)體技術(shù)和光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體與光學(xué)器件的交叉領(lǐng)域越來(lái)越寬。例如,在光電子器件、光通信器件等領(lǐng)域中,半導(dǎo)體和光學(xué)器件的集成度越來(lái)越高。這些交叉領(lǐng)域?qū)o(wú)塵車(chē)間的需求也日益增長(zhǎng)。無(wú)塵車(chē)間在半導(dǎo)體與光學(xué)器件交叉領(lǐng)域的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:一是提供潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,滿(mǎn)足半導(dǎo)體和光學(xué)器件制造的高潔凈度要求;二是提供穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境,確保半導(dǎo)體和光學(xué)器件的性能和穩(wěn)定性;三是有效控制靜電和電磁干擾,避免對(duì)精密制造和測(cè)試設(shè)備造成影響。通過(guò)無(wú)塵車(chē)間的應(yīng)用,半導(dǎo)體與光學(xué)器件的交叉領(lǐng)域可以實(shí)現(xiàn)更高的制造精度和更可靠的器件性能。江西PCB八層無(wú)塵車(chē)間是什么黃光區(qū)紫外防護(hù),保護(hù)光刻膠性能與產(chǎn)品質(zhì)量。
采用垂直單向流與水平單向流混合送風(fēng)模式,在電芯堆疊區(qū)設(shè)置0.45m/s勻速氣流屏障。通過(guò)CFD模擬優(yōu)化送風(fēng)面布局,使≥0.5μm顆粒物濃度始終≤3520個(gè)/m3。電芯注液工序采用隔離操作箱,內(nèi)置氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng),將氧含量控制在10ppm以下,防止電解液氧化。針對(duì)光刻工序?qū)諝夥肿游廴疚铮ˋMC)的嚴(yán)苛要求,配置化學(xué)過(guò)濾機(jī)組,對(duì)硼、磷、硫等氣態(tài)雜質(zhì)去除效率達(dá)99.999%。采用VOC在線(xiàn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)檢測(cè)NH3、SO2等關(guān)鍵指標(biāo),結(jié)合FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的三級(jí)過(guò)濾體系,確保ISO1級(jí)潔凈環(huán)境。
無(wú)塵車(chē)間的潔凈等級(jí)是如何劃分,常用的無(wú)塵車(chē)間潔凈等級(jí)劃分依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1等。以每立方米空氣中不同粒徑粒子的數(shù)量為標(biāo)準(zhǔn),百級(jí)無(wú)塵車(chē)間0.5微米的比較大容許粒子濃度小于3520(pc/m3),5微米的比較大容許粒子濃度小于293(pc/m3);千級(jí)無(wú)塵車(chē)間0.5微米的比較大容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的比較大容許粒子濃度小于2930(pc/m3);萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間0.5微米的比較大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的比較大容許粒子濃度小于29300(pc/m3);十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間每立方米空氣中直徑大于等于0.5um的灰塵粒的數(shù)量少于10萬(wàn)個(gè)。不同行業(yè)根據(jù)自身產(chǎn)品特性和生產(chǎn)工藝,選擇合適潔凈等級(jí)的無(wú)塵車(chē)間。智能排風(fēng)與應(yīng)急裝置,保障生產(chǎn)安全與人員健康。
千級(jí)無(wú)塵車(chē)間對(duì)塵埃粒子有嚴(yán)格數(shù)量控制。塵埃粒子大于或等于0.2微米的數(shù)量不超過(guò)237000個(gè),大于或等于0.3微米的微塵數(shù)量不超過(guò)102000個(gè),大于或等于0.5微米的塵埃數(shù)量不超過(guò)35200個(gè),大于或等于1微米的塵埃數(shù)量不超過(guò)8320個(gè),大于或等于5微米的微塵數(shù)量不超過(guò)293個(gè)。這些標(biāo)準(zhǔn)確保車(chē)間內(nèi)空氣潔凈度達(dá)到極高水平,滿(mǎn)足高質(zhì)量生產(chǎn)需求。千級(jí)無(wú)塵車(chē)間不僅對(duì)塵埃粒子有嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn),對(duì)微生物數(shù)量也有明確控制。每立方米內(nèi)的浮游菌數(shù)量控制在5到100個(gè)之間,沉降菌數(shù)量控制在1 - 3個(gè)以?xún)?nèi)。通過(guò)嚴(yán)格的微生物數(shù)量控制,有效防止產(chǎn)品受到微生物污染,保障產(chǎn)品質(zhì)量和安全性。千級(jí)無(wú)塵車(chē)間對(duì)溫濕度有精確控制要求。溫度冬季20 - 22℃;夏季24 - 26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30 - 50%,夏季潔凈室濕度控制在50% - 70%。合適的溫濕度環(huán)境有助于維持車(chē)間內(nèi)設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行,保證生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行,同時(shí)也有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量。半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)無(wú)塵車(chē)間,顆粒檢測(cè)靈敏度達(dá)0.1μm,缺陷無(wú)所遁形。江蘇PCB四層無(wú)塵車(chē)間費(fèi)用
醫(yī)藥凍干粉針無(wú)塵車(chē)間,懸浮粒子≤3520粒/m3,符合歐盟GMP要求。安徽保護(hù)膜無(wú)塵車(chē)間裝修
醫(yī)療設(shè)備制造過(guò)程中,微生物污染是必須嚴(yán)格控制的。廣東楚嶸公司設(shè)計(jì)的醫(yī)療設(shè)備無(wú)塵車(chē)間,采用了雙層氣密隔離門(mén)禁系統(tǒng)和正壓氣流控制,有效防止了外部微生物的侵入。同時(shí),車(chē)間內(nèi)還配備了高效的空氣過(guò)濾系統(tǒng)和紫外線(xiàn)消毒裝置,定期對(duì)空氣和表面進(jìn)行消毒,確保醫(yī)療設(shè)備的無(wú)菌性和安全性。光學(xué)器件的制造對(duì)振動(dòng)和塵埃極為敏感。廣東楚嶸公司設(shè)計(jì)的無(wú)塵車(chē)間,采用了先進(jìn)的防振基座和空氣彈簧隔振技術(shù),將車(chē)間的振動(dòng)頻譜控制在極低水平,滿(mǎn)足了高精度光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的需求。同時(shí),車(chē)間內(nèi)還設(shè)置了單獨(dú)的氣流組織,通過(guò)垂直單向流送風(fēng)模式,確保了光學(xué)鏡片研磨、鍍膜等工序的潔凈度,提高了光學(xué)產(chǎn)品的清晰度和精度。安徽保護(hù)膜無(wú)塵車(chē)間裝修