微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystems)是一種將微型機(jī)械結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器與電子電路集成在單一芯片上的技術(shù)。其**是通過微納加工工藝(如光刻、薄膜沉積、離子刻蝕等),在硅基或其他材料上制造出尺寸在微米至毫米級別的三維可動(dòng)結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)能夠感知或操控物理量(如壓力、加速度、溫度等),并通過嵌入式電路實(shí)現(xiàn)信號(hào)處理與通信。MEMS的制造技術(shù)借鑒了半導(dǎo)體工藝,但增加了機(jī)械部件的設(shè)計(jì),例如通過深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)形成懸臂梁、空腔或微型齒輪。這種技術(shù)的高度集成性使得MEMS器件在體積、功耗和成本上***優(yōu)于傳統(tǒng)機(jī)電系統(tǒng),同時(shí)具備高靈敏度和快速響應(yīng)能力,成為現(xiàn)代智能設(shè)備的組件之一。寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司,配備MEMS微納加工實(shí)驗(yàn)室,激光隱切機(jī)、光刻機(jī)深硅刻蝕機(jī)等完善的技術(shù)設(shè)備。福建模塊化MEMS工藝檢測項(xiàng)目合作
秉承“斫雕為樸,芯程再啟”的企業(yè)宗旨,寧波啟樸芯微致力于將先進(jìn)的光刻、深硅刻蝕、鍵合等技術(shù)服務(wù)方案應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)中,不斷提升產(chǎn)品的性能和品質(zhì),以滿足客戶日益增長的多樣化需求。啟樸芯微自主研發(fā)的小型高光譜相機(jī)產(chǎn)品,以光功能芯片為,通過對連續(xù)的物體光譜進(jìn)行高精度采集和分析,能夠獲取豐富的反射和輻射光譜信息,為科研、醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。啟樸芯微團(tuán)隊(duì)充分發(fā)揮自身技術(shù)優(yōu)勢,利用MEMS芯片結(jié)構(gòu)輕便、精細(xì)度高、材料強(qiáng)度高等特點(diǎn),研制具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光譜濾波芯片及其成像系統(tǒng),其通過像素級定標(biāo)技術(shù)實(shí)現(xiàn)圖像精細(xì)分析,比較大限度避免強(qiáng)光干擾問題,極大提升了工業(yè)制造品檢測效率,為光學(xué)傳感技術(shù)的發(fā)展注入了新的活力,同時(shí),啟樸芯微力求提高產(chǎn)品定制化設(shè)計(jì)服務(wù)質(zhì)量,持續(xù)開展特種光學(xué)產(chǎn)品應(yīng)用與推廣,圍繞MEMS產(chǎn)品可行性方案積極參與行業(yè)交流。天津模塊化MEMS工藝檢測與成果轉(zhuǎn)化啟樸芯微技術(shù)團(tuán)隊(duì)持續(xù)攻關(guān),將技術(shù)優(yōu)勢賦予光譜成像系統(tǒng)的研制工藝。
寧波啟樸芯微自主可控國內(nèi)首條8英寸MEMS規(guī)?;庸し?wù)ODM產(chǎn)線,實(shí)驗(yàn)區(qū)內(nèi)設(shè)置有激光隱切機(jī)、光刻機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、電子束蒸鍍儀、鍵合機(jī)、濕法腐蝕系統(tǒng)、磁控濺射儀、原子層沉積設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、自動(dòng)涂膠顯影系統(tǒng)等整套技術(shù)設(shè)備,加工區(qū)域1000余平方米,具備**研發(fā)室、光學(xué)實(shí)驗(yàn)室,配套百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間、微納加工實(shí)驗(yàn)室,可以支持8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級MEMS技術(shù)研發(fā)和加工制造,自建立以來已服務(wù)200余家高校、科研院所和科創(chuàng)企業(yè),并先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務(wù)型示范平臺(tái)、寧波市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等。
啟樸芯微的團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的消高反光特種視覺檢測系統(tǒng),是科技創(chuàng)新的典范。它的研發(fā)過程充滿了挑戰(zhàn)和機(jī)遇,團(tuán)隊(duì)成員們憑借著堅(jiān)定的信念和不懈的努力,成功突破了技術(shù)瓶頸。這一系統(tǒng)的應(yīng)用,不僅提高了工業(yè)制造品的檢測效率,還推動(dòng)了我國在工業(yè)檢測領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。同時(shí),它也為其他領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新提供了有益的借鑒。在未來,相信這一系統(tǒng)將在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用,為我國科技發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。走進(jìn)寧波啟樸芯微的實(shí)驗(yàn)區(qū),仿佛置身于一個(gè)科技的神話世界。先進(jìn)的設(shè)備閃爍著科技的光芒,科研人員們忙碌的身影充滿了活力和激情。8英寸MEMS規(guī)?;庸し?wù)ODM產(chǎn)線在這里高效運(yùn)轉(zhuǎn),每一個(gè)環(huán)節(jié)都充滿了科技的力量。**研發(fā)室里的創(chuàng)新成果,光學(xué)實(shí)驗(yàn)室里的深入研究,百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室的嚴(yán)格管理,都展示了團(tuán)隊(duì)的專業(yè)和實(shí)力。這里的一切,都讓人感受到了科技的魅力和無限可能。啟樸芯微,持續(xù)追求“精耕細(xì)耘,以業(yè)為本”的服務(wù)目標(biāo),精益求精!
啟樸芯微始終致力于光學(xué)、流動(dòng)測量等領(lǐng)域的MEMS器件及系統(tǒng)開發(fā),以B2B模式攜手中國MEMS伙伴,支持高校、科研院所、相關(guān)行業(yè)企業(yè)的技術(shù)開發(fā)加速和自主產(chǎn)品生產(chǎn),助推智能傳感芯片產(chǎn)業(yè)變革,共赴智創(chuàng)未來!啟樸芯微持續(xù)助力廣大客戶的技術(shù)迭代與項(xiàng)目推進(jìn),力求提供質(zhì)量、效率與穩(wěn)定性并具的MEMS技術(shù)路線與加速開發(fā)服務(wù),持續(xù)構(gòu)建更加穩(wěn)健、持久的項(xiàng)目合作。一直以來,啟樸芯微遵循市場與生產(chǎn)對接流程,由市場人員負(fù)責(zé)對接客戶方,建立生產(chǎn)人員直接溝通渠道并及時(shí)予以反饋,全程掌握從業(yè)務(wù)簽訂、開單生產(chǎn)到暫存、發(fā)貨,同時(shí)恪守企業(yè)內(nèi)部生產(chǎn)定標(biāo)準(zhǔn)與客戶方要求,遵循生產(chǎn)員與質(zhì)檢員登記對接制度,針對不同業(yè)務(wù)進(jìn)度進(jìn)行檢驗(yàn)工作。公司積極推動(dòng)技術(shù)研發(fā)與市場需求結(jié)合,參與行業(yè)交流積極!福建模塊化MEMS工藝檢測項(xiàng)目合作
寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司擁有MEMS領(lǐng)域博士團(tuán)隊(duì),多年從事MEMS智能制造與智能傳感裝備設(shè)計(jì)研究工作。福建模塊化MEMS工藝檢測項(xiàng)目合作
在市場拓展方面,寧波啟樸芯微積極與高校、科研院所和相關(guān)行業(yè)企業(yè)開展合作與交流,共同推動(dòng)光學(xué)傳感技術(shù)的研發(fā)和應(yīng)用,為客戶量身打造小型化、集成化的高分辨率特種光學(xué)相機(jī)模組和光學(xué)檢測解決方案,切實(shí)滿足了客戶對于高性能、高精度產(chǎn)品服務(wù)的需求,為構(gòu)建千萬級本土產(chǎn)業(yè)規(guī)模做出了積極貢獻(xiàn)。啟樸芯微不斷吸納、凝聚MEMS領(lǐng)域?qū)I(yè)人才,構(gòu)建了一支具有凝聚力、自驅(qū)力的智能傳感領(lǐng)域科創(chuàng)工程師隊(duì)伍,為公司的持續(xù)創(chuàng)新和發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的人才保障。面向未來,啟樸芯微將繼續(xù)深耕光學(xué)傳感領(lǐng)域,以智能制造加工為導(dǎo)向,同步開展技術(shù)開發(fā)、團(tuán)隊(duì)平臺(tái)建設(shè)和合作互信,不斷提升自身的技術(shù)實(shí)力,更好地為客戶提供質(zhì)量MEMS微納加工服務(wù)。福建模塊化MEMS工藝檢測項(xiàng)目合作