行業(yè)應(yīng)用案例：半導(dǎo)體制造在半導(dǎo)體行業(yè)，無塵車間是芯片生產(chǎn)的核? ?心基礎(chǔ)設(shè)施。中沃為某12英寸晶圓廠建造的ISOClass3無塵車間，通過采用AMC（氣態(tài)分子污染物）控制系統(tǒng)，將酸性氣體濃度控制在≤0.1ppb，避免晶圓表面氧化；同時配備超純水系統(tǒng)（電阻率≥18MΩ·cm），滿足光刻膠清洗需求。該車間投產(chǎn)后，晶圓良率從92%提升至96%，年產(chǎn)值增加超5億元。更換周期從3個月延長至4個月，節(jié)省成本20%。平臺還支持生成符合FDA 21 CFR Part 11標(biāo)準(zhǔn)的電子記錄，助力企業(yè)通過GMP認(rèn)證。無塵車間嚴(yán)格把控空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。嘉興萬級無塵車間

溫濕度與壓差控制無塵車間需同步控制溫濕度與壓差梯度。中沃集成恒溫恒濕系統(tǒng)，溫度波動范圍±0.5℃，濕度波動±3%RH，滿足電子制造（22℃±1℃、55%RH±5%RH）與醫(yī)藥生產(chǎn)（18℃至26℃、45%RH至65%RH）的不同需求。壓差控制方面，通過變頻風(fēng)機(jī)與壓差傳感器聯(lián)動，維持核? ?心區(qū)相對相鄰區(qū)≥10Pa的正壓，防止外部污染侵入。例如，某疫苗生產(chǎn)車間的無塵室通過分級壓差設(shè)計，使灌裝區(qū)壓差達(dá)15Pa，有效阻斷微生物交叉污染。門體采用氣密型快速卷簾門，開關(guān)速度≤1.5秒，減少空氣交換；觀察窗采用雙層中空鋼化玻璃，邊緣密封膠條耐老化性能達(dá)10年以上百級凈化無塵車間 裝修高效過濾器持續(xù)凈化車間懸浮顆粒。

優(yōu)化氣流組織設(shè)計，確保潔凈氣流均勻分布：項目團(tuán)隊依據(jù)不同車間功能與生產(chǎn)工藝，精心設(shè)計氣流組織形式。在對潔凈度要求極高的區(qū)域，采用垂直單向流（層流）方式，高效過濾器從頂部送風(fēng)，經(jīng)地面回風(fēng)，形成自上而下、均勻穩(wěn)定的氣流，有效避免氣流渦流與污染物積聚，適用于如半導(dǎo)體光刻車間等場景。對于長條形生產(chǎn)區(qū)域，如電子裝配線，則采用水平單向流設(shè)計，從側(cè)墻高效過濾器送風(fēng)，對側(cè)墻回風(fēng)，保證生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)氣流均勻，減少產(chǎn)品受污染風(fēng)險，提升整體生產(chǎn)環(huán)境潔凈度。

一．塵粒:塵粒是細(xì)菌、病毒的良好載體，所以十萬級凈化車間工程的首要任務(wù)便是"除塵"。1.在十萬級凈化車間中，塵粒允許數(shù)≥0.5微米的粒子數(shù)不允許超過350萬個；2.≥5微米的粒子數(shù)不可以超過2萬個。二．微生物:1.微生物跟塵粒一樣，也有允許數(shù)。要求浮游菌數(shù)不超過500個/m3；2.沉降菌數(shù)不超過10個/培養(yǎng)皿。三．壓差:這里根據(jù)潔凈度等級分2種情況：1.相同潔凈度等級的潔凈室，壓差需要保持一致；2.不同潔凈等級的潔凈室，相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa（這里主要是為了保障空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)，避免氣流倒灌）。四．技術(shù)參數(shù):換氣次數(shù)、壓差、溫度、相對濕度、噪聲以及新風(fēng)補(bǔ)充量在十萬級凈化車間工程中非常重要，每一項都有其要求的數(shù)值：1.換氣次數(shù)：10-15次/小時；2.壓差：主車間相對相鄰房間≥5pa；3.溫度：冬季＞16℃±2℃；夏季小于26℃±2℃；4.相對濕度：45-65%（RH）；5.噪聲≤65dB（A）；6.新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20%-30%；照度大于等于300Lux。模塊化結(jié)構(gòu)支持快速拆裝，滿足半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等多行業(yè)靈活布局需求。

嚴(yán)格的人員與物料凈化流程，杜絕污染源引入：為從源頭杜絕污染，中沃無塵車間制定嚴(yán)格的人員與物料凈化流程。人員進(jìn)入車間前，需依次經(jīng)過換鞋、更衣、洗手、消毒、風(fēng)淋等環(huán)節(jié)，身著專無塵服，通過風(fēng)淋室時，高速氣流吹除衣物表面塵埃。物料則通過傳遞窗或緩沖間進(jìn)入，傳遞窗配備紫外線消毒裝置，對物料表面進(jìn)行消毒處理，且傳遞窗兩側(cè)門設(shè)有互鎖功能，防止空氣對流。在某醫(yī)療器械生產(chǎn)車間，嚴(yán)格執(zhí)行該流程后，車間內(nèi)微生物污染率降低 70%，為好的品質(zhì)醫(yī)療器械生產(chǎn)提供可靠保障。模塊化潔凈棚可快速擴(kuò)展，建設(shè)周期較傳統(tǒng)工程縮短60%。杭州芯片無塵車間

傳遞窗采用互鎖機(jī)制防止交叉污染。嘉興萬級無塵車間

結(jié)構(gòu)設(shè)計與材料選擇無塵車間的庫體結(jié)構(gòu)直接影響潔凈度維持能力。中沃采用50mm厚巖棉夾芯彩鋼板作為墻體，表面涂覆防靜電環(huán)氧樹脂，電阻值控制在10?Ω至10?Ω之間，防止靜電吸附灰塵；地面鋪設(shè)PVC防靜電地板，搭配無縫焊接工藝，避免微生物藏匿。門體采用氣密型快速卷簾門，開關(guān)速度≤1.5秒，減少空氣交換；觀察窗采用雙層中空鋼化玻璃，邊緣密封膠條耐老化性能達(dá)10年以上。例如，某生物實(shí)驗室的無塵車間通過優(yōu)化庫板拼接工藝，將漏風(fēng)率降低至0.2%以下，年能耗減少25%。嘉興萬級無塵車間