晶圓甩干機性能特點:
高潔凈度:采用高純度的去離子水和惰性氣體氮氣,以及高效的過濾系統(tǒng),能夠有效去除晶圓表面的顆粒、有機物和金屬離子等雜質(zhì),確保晶圓的高潔凈度。
高精度控制:可以精確控制旋轉(zhuǎn)速度、沖洗時間、干燥時間、氮氣流量和溫度等參數(shù),滿足不同工藝要求,保證晶圓干燥的一致性和重復(fù)性。
高效節(jié)能:通過優(yōu)化設(shè)計和先進的控制技術(shù),實現(xiàn)了快速干燥,縮短了加工時間,提高了生產(chǎn)效率,同時降低了能源消耗。
自動化程度高:具備自動化操作功能,能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的自動上下料、清洗、干燥等工序,減少了人工干預(yù),提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,降低了勞動強度和人為因素造成的誤差。
兼容性強:可通過更換不同的轉(zhuǎn)子或夾具,適應(yīng)2英寸-8英寸等不同尺寸的晶圓加工,還能兼容硅晶圓、砷化鎵、碳化硅、掩膜版、太陽能電池基片等多種材料的片子。 晶圓甩干機還具備自動檢測功能,可實時監(jiān)測甩干狀態(tài),確保甩干質(zhì)量。浙江臥式甩干機批發(fā)
追求高效與品質(zhì),是半導(dǎo)體制造行業(yè)的永恒主題,凡華半導(dǎo)體生產(chǎn)的 晶圓甩干機正是這一理念的完美踐行者。其具備 zhuo yue 的甩干效率,先進的離心系統(tǒng)能在短時間內(nèi)將晶圓表面的水分及雜質(zhì)徹底qing chu ,da da 縮短生產(chǎn)周期。同時,設(shè)備采用高精度的制造工藝,旋轉(zhuǎn)部件經(jīng)過嚴格檢測,確保在高速運轉(zhuǎn)下的穩(wěn)定性和可靠性,為晶圓提供安全、穩(wěn)定的甩干環(huán)境。此外,人性化的操作界面,讓操作人員輕松上手,減少操作失誤。選擇 凡華半導(dǎo)體生產(chǎn)的晶圓甩干機,就是選擇高效與品質(zhì),助力您在半導(dǎo)體領(lǐng)域取得更大成功。SRD甩干機低能耗雙腔甩干機符合環(huán)保標準,節(jié)約家庭用電成本。
晶圓甩干機是提升半導(dǎo)體制造精度的重要干燥設(shè)備。利用離心力原理,當晶圓在甩干機內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)時,表面液體在離心力作用下被甩出。該設(shè)備結(jié)構(gòu)精良,旋轉(zhuǎn)軸精度極高,保證了旋轉(zhuǎn)的平穩(wěn)性,減少對晶圓的振動影響。旋轉(zhuǎn)盤與晶圓接觸緊密且不會刮傷晶圓。驅(qū)動電機動力強勁且調(diào)速精 zhun ,能根據(jù)不同工藝要求調(diào)整轉(zhuǎn)速??刂葡到y(tǒng)智能化程度高,可實現(xiàn)對甩干過程的精確控制。在半導(dǎo)體制造流程中,清洗后的晶圓經(jīng)甩干機處理,去除殘留液體,防止液體殘留對后續(xù)光刻、蝕刻等工藝造成精度影響,如導(dǎo)致線條寬度偏差,從而提升半導(dǎo)體制造的精度。
甩干機具備高度自動化的操作流程,可以與芯片制造生產(chǎn)線中的其他設(shè)備無縫對接。通過自動化傳輸系統(tǒng)實現(xiàn)晶圓的自動上料和下料,在甩干過程中,能夠根據(jù)預(yù)設(shè)的工藝參數(shù)自動完成轉(zhuǎn)子加速、穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)、通風干燥、減速等一系列操作,無需人工干預(yù),提高了生產(chǎn)效率和質(zhì)量穩(wěn)定性。晶圓甩干機具備智能故障診斷功能,能夠?qū)崟r監(jiān)測設(shè)備的運行狀態(tài),一旦出現(xiàn)故障或異常情況,如轉(zhuǎn)速異常、溫度過高、壓力異常等,能夠及時發(fā)出警報,并在操作界面上顯示故障信息,方便維修人員快速定位和解決問題。導(dǎo)流式排水系統(tǒng):脫水廢液快速排出,避免殘留影響下一批次處理。
臥式甩干機基于離心力原理工作。當裝有晶圓的轉(zhuǎn)鼓開始高速旋轉(zhuǎn)時,晶圓表面殘留的液體(如清洗液、刻蝕液等)在離心力作用下被甩離晶圓表面。離心力的大小由轉(zhuǎn)鼓轉(zhuǎn)速和晶圓到旋轉(zhuǎn)中心的距離決定,根據(jù)公式2(其中是離心力,是液體質(zhì)量,是角速度,是旋轉(zhuǎn)半徑),通過精確控制轉(zhuǎn)鼓轉(zhuǎn)速,可以產(chǎn)生足夠強大的離心力,使液體沿轉(zhuǎn)鼓切線方向甩出。在甩干過程中,除了離心力的直接作用,設(shè)備內(nèi)部的通風系統(tǒng)也發(fā)揮關(guān)鍵作用。清潔、干燥的空氣被引入轉(zhuǎn)鼓內(nèi)部,在晶圓表面形成氣流,加速液體的蒸發(fā)。同時,由于不同液體的揮發(fā)性不同,在離心力和氣流的共同作用下,揮發(fā)性較強的成分會更快地揮發(fā),使晶圓表面達到高度干燥狀態(tài)。設(shè)備內(nèi)部設(shè)有專門的防液濺裝置,防止甩出的液體對周圍環(huán)境造成污染。浙江立式甩干機公司
實驗室場景:生物樣本、化學(xué)試劑脫水,滿足科研實驗的高精度需求。浙江臥式甩干機批發(fā)
對于半導(dǎo)體制造企業(yè)來說,設(shè)備的穩(wěn)定高效運行是企業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。臥式晶圓甩干機以其穩(wěn)定的性能和高效的甩干能力,為企業(yè)的發(fā)展提供了有力支持。穩(wěn)定的運行意味著設(shè)備的故障率低,減少了因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。高效的甩干能力則縮短了生產(chǎn)周期,提高了企業(yè)的產(chǎn)能。臥式晶圓甩干機的高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)鼓和精 zhun的控制系統(tǒng),能在短時間內(nèi)將晶圓表面的液體徹底qing 除,滿足企業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)的需求。同時,設(shè)備的節(jié)能設(shè)計和低維護成本,也為企業(yè)降低了運營成本,增強了企業(yè)的市場競爭力,助力企業(yè)不斷發(fā)展壯大。浙江臥式甩干機批發(fā)