上海倍藍(lán)光電科技有限公司2025-08-21

倍藍(lán)白光干涉膜厚儀采用130萬像素CMOS相機(jī)和LED寬光譜光源，其垂直分辨率達(dá)0.1nm，橫向分辨率1μm。針對粗糙表面測量，倍藍(lán)開發(fā)了獨(dú)特的區(qū)域平均算法，可自動(dòng)識別并排除表面凹凸造成的異常數(shù)據(jù)點(diǎn)。在金屬鍍層測試中，即使表面粗糙度Ra值達(dá)0.8μm，仍能準(zhǔn)確測得平均膜厚。干涉鏡頭配備倍藍(lán)專業(yè)技術(shù)的振動(dòng)隔離結(jié)構(gòu)，將環(huán)境振動(dòng)影響降低90%以上。儀器內(nèi)置的自動(dòng)對焦系統(tǒng)可在0.5秒內(nèi)完成Z軸定位，特別適合在線檢測場景。

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