閥門開關60設置在每一子管道301上。在一些實施例中,閥門開關60設置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,閥門開關60設置在每一第二子管道502上。具體的,閥門開關60的設置位置可以設置在連接過濾器30的任意管道上,在此不做贅述。在一些實施例中,請參閱圖4,圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。第二管道50包括多個第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102。其中,閥門開關60設置在每一第三子管道503上。本申請實施例提供的剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設置通過管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在管道或所述第二管道上設置有閥門開關。通過閥門開關控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,提高生產(chǎn)效率。本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,請參閱圖5,圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。什么制程中需要使用剝離液。蘇州銅鈦蝕刻液剝離液生產(chǎn)
本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領域:,更具體的說是涉及一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。背景技術(shù)::電子行業(yè)飛速發(fā)展,光刻膠應用也越來越。在半導體元器件制造過程中,經(jīng)過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才能再進行下道工序。因此,光刻膠的剝離質(zhì)量也有直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量。但是傳統(tǒng)光刻膠剝離液雖然能剝離絕大部分光阻,但對于高世代面板(高世代面板是代指大尺寸的液晶面板),傳統(tǒng)剝離液親水性不夠,水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的是提供一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質(zhì)量組分:酰胺:50-60%;醇醚:35-45%;環(huán)胺與鏈胺:3-7%;緩蝕劑:%%;潤濕劑:%%。的技術(shù)方案中,所述的酰胺為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種。的技術(shù)方案中,所述的醇醚為二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的任意一種或多種。的技術(shù)方案中。杭州配方剝離液銷售電話剝離液可以有正膠和負膠以及正負膠不同的分類。
具體實施方式現(xiàn)有技術(shù)中剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質(zhì),而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,或者回收后需要通過大量的時間分析其含量以及花大量時間進行再生處理,影響了剝離液廢液的利用率。本發(fā)明對于已知的剝離液的含量以及比例有預先的了解,通過預先制定添加劑的方法,將添加劑以及某些原材料加入后重新制備剝離液新液。本發(fā)明中對于回收的剝離液廢液的進一步處理加工,是采用現(xiàn)有技術(shù)中加壓、蒸餾等方式,可以是采用階段性變壓精餾塔進行加壓、蒸餾處理。表1:已知的剝離液新液的組分:表二:添加劑的組分組分比例:純化液體的組分表四:制備剝離液新液在對純化液體進行加工處理,重新制備剝離液新液的過程中,需要預先制備添加劑,該添加劑中不含有酰胺化合物,而通過表四中可以得出,制備過程中在純化液體中加入添加劑以及nmf或bdg重新得出與表1組分相同的剝離液新液,該剝離液新液能夠達到表1中剝離液新液相同的成分以及相同或大致相同的技術(shù)效果。對所公開的實施例的上述說明,使本領域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的。
剝離液是用來干嘛的?簡單了解了剝離液的朋友圈,接下來,我們就展開講講剝離液是做什么的吧。剝離液通常用在蝕刻工藝完成之后,用于去除光刻膠和殘留物質(zhì),同時防止對下層的襯底層造成損壞??梢哉f我們現(xiàn)在正在看的手機、電腦屏幕都用到剝離液。據(jù)調(diào)研報告顯示,在LCD面板制造所需的濕電子化學品中,剝離液占比31%;在OLED面板制造所需的濕電子化學品中,剝離液占比44%;剝離液是顯示面板制造中用量比較大的濕電子化學品之一。那么,剝離液是如何應用在顯示面板中的呢?我們以“人體的新***”——手機為例?,F(xiàn)在**常見的手機屏幕主要是LCD屏和OLED屏。哪家剝離液質(zhì)量比較好一點?
形成帶有沉淀物的固液混合物,打開一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,固液混合物進入一級過濾罐16的過濾筒中,先由一級過濾罐16的過濾筒過濾得到一級線性酚醛樹脂,濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環(huán)料口7,往復3次數(shù)后,一級線性酚醛樹脂回收完成,關閉一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,利用提升泵6將一級過濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內(nèi)備用;2、向攪拌釜10中輸入酸性溶液,與前述濾液充分攪拌混合再次析出沉淀物,即二級線性酚醛樹脂,利用ph計檢測溶液ph值,當達到5-7范圍內(nèi)即可,打開二級過濾罐13進料管路上的電磁閥17,帶有沉淀物的混合液進入二級過濾罐13中,由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,廢液二級過濾罐底部的廢液出口20流出,送往剝離成分處理系統(tǒng)。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合。哪家的剝離液性價比比較高?無錫鋁鉬鋁蝕刻液剝離液哪里買
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單片清洗工藝避免了不同硅片之間相互污染,降低了產(chǎn)品缺陷,提高了產(chǎn)品良率。可選擇的,清洗液采用氧化硫磺混合物溶液和過氧化氨混合物溶液??蛇x的,進一步改進,清洗液采用h2so4:h2o2配比范圍為6:1~4:1且溫度范圍為110℃~140℃的過氧化硫磺混合物溶液;以及,nh4oh:h2o2:h2o配比為1:℃~70℃的過氧化氨混合物溶液。本發(fā)明采用等離子體氮氫混合氣體能與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應生成含氨揮發(fā)性化合物氣體,且與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應速率相等能更高效的剝離去除光刻膠,能有效減少光刻膠殘留。進而避免由于光刻膠殘留造成對后續(xù)工藝的影響,提高產(chǎn)品良率。附圖說明本發(fā)明附圖旨在示出根據(jù)本發(fā)明的特定示例性實施例中所使用的方法、結(jié)構(gòu)和/或材料的一般特性,對說明書中的描述進行補充。然而,本發(fā)明附圖是未按比例繪制的示意圖,因而可能未能夠準確反映任何所給出的實施例的精確結(jié)構(gòu)或性能特點,本發(fā)明附圖不應當被解釋為限定或限制由根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例所涵蓋的數(shù)值或?qū)傩缘姆秶?。下面結(jié)合附圖與具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細的說明:圖1是本發(fā)明的流程示意圖。圖2是一現(xiàn)有技術(shù)光刻膠剝離去除示意圖一,其顯示襯底上形成介質(zhì)層并旋圖光刻膠。蘇州銅鈦蝕刻液剝離液生產(chǎn)