工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的管道若存在泄漏,會(huì)吸入空氣中的浮游菌,污染氣體并影響產(chǎn)品質(zhì)量,尤其在食品、醫(yī)藥行業(yè)。例如在藥品凍干車間,壓縮空氣若含浮游菌,會(huì)污染凍干藥品,導(dǎo)致無(wú)菌檢測(cè)不合格;在乳制品生產(chǎn)中,氮?dú)庵械母∮尉鷷?huì)導(dǎo)致牛奶變質(zhì)。因此,工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的保壓測(cè)試需與浮游菌檢測(cè)聯(lián)動(dòng):保壓測(cè)試合格(壓力降≤0.5%)后,采集管道內(nèi)氣體,用撞擊法檢測(cè)浮游菌,每立方米需≤10CFU。檢測(cè)時(shí)需關(guān)注管道過(guò)濾器 —— 若過(guò)濾器濾芯完整性失效,會(huì)導(dǎo)致浮游菌進(jìn)入管道,而保壓測(cè)試可發(fā)現(xiàn)過(guò)濾器密封不良的問(wèn)題(如濾芯與殼體間隙泄漏)。這種聯(lián)動(dòng)檢測(cè)能多方面保障氣體潔凈度,符合行業(yè)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。尾氣處理系統(tǒng)的氦檢漏,需在風(fēng)機(jī)前后管道檢測(cè),防止負(fù)壓區(qū)吸入空氣。中山電子特氣系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)耐壓測(cè)試
高純氣體系統(tǒng)工程的管道若存在泄漏,會(huì)導(dǎo)致氣體純度下降,影響生產(chǎn),保壓測(cè)試是驗(yàn)證其密封性的關(guān)鍵。測(cè)試時(shí),管道需先經(jīng)超凈氮?dú)獯祾撸ㄋ趾俊?70℃),再充入高純氮?dú)庵猎O(shè)計(jì)壓力(0.8MPa),關(guān)閉閥門后監(jiān)測(cè) 48 小時(shí),壓力降需≤0.1% 初始?jí)毫Α8呒儦怏w管道多為小口徑(≤50mm)電解拋光管,焊接采用全自動(dòng)軌道焊,若焊接參數(shù)不當(dāng)(如電流過(guò)大),會(huì)導(dǎo)致焊縫氧化或產(chǎn)生氣孔,引發(fā)泄漏。保壓測(cè)試能發(fā)現(xiàn)這些隱蔽缺陷,例如某半導(dǎo)體廠的高純氬氣管道,因焊縫微漏導(dǎo)致氬氣純度從 99.9999% 降至 99.999%,影響晶圓刻蝕精度。通過(guò)保壓測(cè)試,可確保管道無(wú)泄漏,為氣體純度提供基礎(chǔ)保障,這是高純氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收的必備項(xiàng)。惠州大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)0.1微米顆粒度檢測(cè)尾氣處理系統(tǒng)的 0.1 微米顆粒度檢測(cè),每立方米≤100000 個(gè),防止堵塞處理設(shè)備。
實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)輸送的氣體若含 0.1 微米顆粒,會(huì)污染實(shí)驗(yàn)樣品和儀器,影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。例如在原子吸收光譜分析中,顆粒會(huì)堵塞霧化器,導(dǎo)致吸光度波動(dòng);在激光粒度儀校準(zhǔn)中,顆粒會(huì)干擾標(biāo)準(zhǔn)粒子的檢測(cè)。0.1 微米顆粒度檢測(cè)需用超凈采樣頭接入管道,用激光顆粒計(jì)數(shù)器采樣,采樣時(shí)間≥10 分鐘,每立方米顆粒數(shù)(0.1μm 及以上)需≤5000 個(gè)。實(shí)驗(yàn)室氣路管道安裝后需用無(wú)水乙醇擦拭內(nèi)壁,去除油污和顆粒;閥門需使用無(wú)油閥門,避免油脂顆粒污染。通過(guò)顆粒度檢測(cè),可驗(yàn)證管道清潔度,確保進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室儀器的氣體無(wú)顆粒干擾,為實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性提供保障。
工業(yè)集中供氣系統(tǒng)中,水分會(huì)促進(jìn)浮游菌滋生,因此需聯(lián)動(dòng)檢測(cè)。例如壓縮空氣中的水分(>5000ppb)會(huì)使管道內(nèi)形成生物膜,滋生細(xì)菌(如芽孢桿菌),污染產(chǎn)品。檢測(cè)時(shí),水分合格(≤1000ppb)后,測(cè)浮游菌(≤50CFU/m3);若水分超標(biāo),浮游菌必超標(biāo)。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)需安裝除水過(guò)濾器和除菌過(guò)濾器,且需定期更換濾芯,而關(guān)聯(lián)檢測(cè)能驗(yàn)證過(guò)濾器性能 —— 若水分合格但浮游菌超標(biāo),可能是除菌過(guò)濾器失效。這種方法能多方面保障氣體衛(wèi)生指標(biāo),符合食品、醫(yī)藥行業(yè)的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。尾氣處理系統(tǒng)保壓測(cè)試壓力 0.2MPa,8 小時(shí)壓力降≤2%,確保污染物無(wú)泄漏。
電子特氣系統(tǒng)工程中,水分會(huì)導(dǎo)致顆粒污染物增多(如金屬氧化物顆粒),因此需關(guān)聯(lián)檢測(cè)。例如氟化氫氣體中的水分會(huì)與管道內(nèi)壁的金屬反應(yīng),生成氟化鹽顆粒(0.1-1μm),堵塞閥門。檢測(cè)時(shí),先測(cè)水分(≤10ppb),合格后再測(cè)顆粒度(0.1μm 及以上顆?!?00 個(gè) /m3)。檢測(cè)需關(guān)注特氣的化學(xué)特性 —— 如三氯化硼遇水會(huì)水解生成鹽酸和硼酸顆粒,因此這類特氣系統(tǒng)的水分控制需更嚴(yán)格(≤5ppb)。通過(guò)關(guān)聯(lián)檢測(cè),可多方面評(píng)估氣體潔凈度,避免因水分引發(fā)的顆粒污染,確保電子特氣系統(tǒng)工程滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)要求。尾氣處理系統(tǒng)的 0.1 微米顆粒度檢測(cè),需在處理前后對(duì)比,評(píng)估凈化效果。惠州大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)0.1微米顆粒度檢測(cè)
高純氣體系統(tǒng)工程保壓測(cè)試,壓力 0.6MPa,24 小時(shí)壓降≤0.03MPa,確保無(wú)泄漏。中山電子特氣系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)耐壓測(cè)試
尾氣處理系統(tǒng)中,某些尾氣(如可燃性氣體)的氧含量需嚴(yán)格控制,防止發(fā)生事故。例如在化工企業(yè)的甲醇尾氣處理中,氧含量超過(guò) 5% 會(huì)形成危險(xiǎn)混合物,遇明火引發(fā)事故;在催化燃燒系統(tǒng)中,氧含量不足會(huì)導(dǎo)致燃燒不完全,處理效率下降。ppb 級(jí)氧含量檢測(cè)需用磁氧分析儀,在尾氣進(jìn)入處理設(shè)備前采樣,檢測(cè)范圍 0-10000ppm(可擴(kuò)展至 ppb 級(jí)),精度≤±0.1% FS。檢測(cè)時(shí)需關(guān)注管道是否泄漏 —— 若空氣滲入尾氣管道,會(huì)導(dǎo)致氧含量升高,因此尾氣處理系統(tǒng)需先通過(guò)保壓測(cè)試確保密封性,再進(jìn)行氧含量檢測(cè)。通過(guò)嚴(yán)格的氧含量控制,可保障尾氣處理系統(tǒng)的安全運(yùn)行,避免事故發(fā)生。中山電子特氣系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)耐壓測(cè)試