凈化車間的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)是維持潔凈環(huán)境的物理屏障。其設(shè)計(jì)建造必須滿足高密封性、易清潔消毒、不產(chǎn)塵不積塵、耐腐蝕等要求。墻體、天花板通常采用表面光滑、無縫或接縫密封良好的板材,如彩鋼板(巖棉或玻鎂芯材)、不銹鋼板等。地面需耐磨、抗化學(xué)腐蝕、防靜電且無縫隙,常用材料包括環(huán)氧樹脂自流平、PVC卷材、水磨石等,墻角需做圓弧處理(R角)以減少積塵死角。門窗需氣密性好,并采用不易產(chǎn)生靜電的材料。所有管道(水、電、氣)穿墻處必須嚴(yán)格密封。照明應(yīng)充足均勻,燈具需采用潔凈燈具,密封性好,不積塵。表面材料的選擇還需考慮其對(duì)清潔消毒劑的耐受性,確保在日常頻繁清潔消毒下不褪色、不剝落、不釋放有害物質(zhì)。設(shè)備選型需考慮其產(chǎn)塵量、易清潔性和對(duì)氣流的干擾程度。廣州百級(jí)凈化車間施工
在GMP凈化車間內(nèi)運(yùn)行的設(shè)備,其選型、安裝和維護(hù)有特殊要求。設(shè)備選型應(yīng)優(yōu)先考慮設(shè)計(jì)易于清潔消毒(如表面光滑、無死角、可拆卸)、不產(chǎn)塵(如使用無油空氣壓縮機(jī))、運(yùn)行平穩(wěn)低噪、材質(zhì)兼容(如316L不銹鋼)的設(shè)備。設(shè)備安裝必須遵循預(yù)定的布局,避免阻礙氣流或造成清潔死角,與地面、墻壁的連接處需密封。設(shè)備的基礎(chǔ)安裝(IQ)、運(yùn)行確認(rèn)(OQ)和性能確認(rèn)(PQ)是GMP驗(yàn)證的關(guān)鍵環(huán)節(jié),確保其在預(yù)期環(huán)境下能穩(wěn)定運(yùn)行并滿足工藝要求。日常維護(hù)保養(yǎng)需制定計(jì)劃性維護(hù)(PM)計(jì)劃,包括定期潤(rùn)滑、校準(zhǔn)、更換易損件、清潔消毒及性能檢查。維護(hù)工作本身也需在受控狀態(tài)下進(jìn)行,使用潔凈的工具和材料,完成后需清潔現(xiàn)場(chǎng)并進(jìn)行環(huán)境監(jiān)測(cè)確認(rèn)。所有維護(hù)活動(dòng)應(yīng)有詳細(xì)記錄。廣州百級(jí)凈化車間施工凈化車間的報(bào)警系統(tǒng)(壓差、溫濕度超標(biāo)等)需有效運(yùn)行。
經(jīng)過嚴(yán)格處理、溫濕度穩(wěn)定的空氣通過布滿HEPA/ULPA過濾器的潔凈天花以層流(垂直或水平)形式均勻送入凈化車間關(guān)鍵區(qū)域(如光刻區(qū)、鍵合區(qū)),形成穩(wěn)定、單向的氣流“活塞效應(yīng)”,持續(xù)將懸浮污染物向下或向回風(fēng)口方向擠壓排出。回風(fēng)經(jīng)過嚴(yán)格過濾和處理后,大部分重新進(jìn)入循環(huán),少量根據(jù)新風(fēng)比要求排出室外并補(bǔ)充經(jīng)過同等處理的新鮮空氣。整個(gè)系統(tǒng)的風(fēng)量、壓差、溫濕度、潔凈度均需通過分布式傳感器網(wǎng)絡(luò)實(shí)時(shí)監(jiān)控,數(shù)據(jù)集成至監(jiān)控系統(tǒng)(BMS/EMS),確保環(huán)境參數(shù)始終處于設(shè)定范圍內(nèi),為微米乃至納米級(jí)制造工藝提供無塵保障。
電子凈化車間的建筑結(jié)構(gòu)與材料選擇是其物理屏障功能的基礎(chǔ),旨在構(gòu)建一個(gè)高度密閉、光滑易潔、不產(chǎn)塵、不積塵的穩(wěn)定空間。主體結(jié)構(gòu)通常采用大跨度鋼結(jié)構(gòu)或混凝土框架,提供穩(wěn)固支撐。凈化車間圍護(hù)結(jié)構(gòu)至關(guān)重要:墻面廣泛應(yīng)用金屬夾芯板(如彩鋼板內(nèi)填充巖棉或玻鎂板),其表面經(jīng)特殊噴涂處理,光滑、耐磨、抗化學(xué)腐蝕且不易剝落產(chǎn)生顆粒。更高級(jí)別區(qū)域會(huì)選用電解鋼板(SUS304或更高等級(jí)不銹鋼)墻面,達(dá)到潔凈與耐腐蝕性要求。門窗設(shè)計(jì)注重氣密性:門采用快速閉門器或不銹鋼氣密平移門,窗為固定式雙層中空玻璃窗,與墻板接縫處均采用硅酮密封膠嚴(yán)格密封。所有轉(zhuǎn)角、接縫均需采用圓弧角(R角)過渡處理,徹底消除難以清潔的90度死角。潔凈室清潔用水應(yīng)至少達(dá)到純化水標(biāo)準(zhǔn)。
在凈化車間內(nèi),人員和物料的流動(dòng)管理同樣重要。人員進(jìn)入凈化車間前,必須經(jīng)過嚴(yán)格的更衣程序,包括穿戴潔凈服、口罩、手套和鞋套等個(gè)人防護(hù)裝備。此外,凈化車間通常設(shè)有氣閘室或風(fēng)淋室,以減少人員進(jìn)出時(shí)對(duì)室內(nèi)潔凈度的影響。物料和設(shè)備的進(jìn)入也需要經(jīng)過特定的清潔和消毒程序,以防止污染。維護(hù)和監(jiān)測(cè)是確保凈化車間長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。定期對(duì)凈化設(shè)備進(jìn)行檢查和更換過濾器是必要的,以保持空氣過濾系統(tǒng)的高效運(yùn)行。同時(shí),需要對(duì)凈化車間的潔凈度進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測(cè),確保其符合預(yù)定的標(biāo)準(zhǔn)。監(jiān)測(cè)通常包括對(duì)空氣中的微粒數(shù)量、微生物含量、溫濕度等參數(shù)的檢測(cè)。建立潔凈服穿戴確認(rèn)流程,確保無皮膚暴露。江西恒溫恒濕凈化車間建造
不同潔凈度等級(jí)的區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置緩沖間進(jìn)行有效隔離。廣州百級(jí)凈化車間施工
凈化車間的“凈化”依賴于高效、可靠的暖通空調(diào)系統(tǒng)(HVAC)。該系統(tǒng)承擔(dān)多重使命:首先,通過多級(jí)過濾(初效、中效、高效HEPA或超高效ULPA過濾器)持續(xù)去除空氣中的塵埃粒子和微生物載體,達(dá)到并維持所需的潔凈度等級(jí)。HEPA/ULPA過濾器對(duì)≥0.3μm粒子的過濾效率高達(dá)99.97%以上,是保障A/B級(jí)潔凈度的關(guān)鍵。其次,精確控制車間的溫度(通常20-24℃)和相對(duì)濕度(通常45%-65%),以滿足工藝要求和人員舒適度,并抑制微生物滋生。第三,通過合理的氣流組織(如單向流/層流用于高風(fēng)險(xiǎn)操作區(qū),亂流用于背景區(qū))和壓差控制(通常維持10-15 Pa梯度),確??諝舛ㄏ蛄鲃?dòng),有效隔離不同潔凈區(qū)域。系統(tǒng)還需保證足夠的換氣次數(shù)(如C級(jí)≥25次/小時(shí),D級(jí)≥15次/小時(shí)),以持續(xù)稀釋和排除污染物。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、安裝、運(yùn)行、監(jiān)控和維護(hù)均需嚴(yán)格驗(yàn)證。廣州百級(jí)凈化車間施工