反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經(jīng)反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經(jīng)過透射和反射后,來到觀察區(qū)域E。G2(右)為補償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等,兩束光在到達觀察區(qū)域E時沒有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時,表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時,則表現(xiàn)為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數(shù) N 的關(guān)系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光(如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制),頻率分別為f1和f2。工業(yè)園區(qū)本地雙頻激光干涉儀選擇
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀)張家港直銷雙頻激光干涉儀哪家好雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測量工具,適用于各種科學研究和工業(yè)應(yīng)用。
多普勒效應(yīng):當測量鏡移動時,測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|,該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測:光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號,經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移。二、主要特點精度高:雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量,即使不做細分也可達到微米(μm)量級,細分后更可達到納米(nm)量級。應(yīng)用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量,配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。
激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計的光學精密計量儀器,主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測量精度可達到1/10-1/100波長量級,采用半導體激光器(635nm)作為光源,具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點,適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力,其中G150M、G200M及60-LP等型號產(chǎn)品采用標準化測量口徑設(shè)計,可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年,相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號,經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移。
(1)接受信號為交流信號,前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器,不用直流放大,故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應(yīng),計數(shù)器計頻率差的變化,不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號,這對于遠距離測量是十分重要的,同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響,無需預(yù)熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中?,F(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至達到十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。張家港直銷雙頻激光干涉儀哪家好
由于其高精度和高靈敏度,激光干涉儀在科學研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。工業(yè)園區(qū)本地雙頻激光干涉儀選擇
分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準線紋尺,后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應(yīng)用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。三、應(yīng)用工業(yè)園區(qū)本地雙頻激光干涉儀選擇
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