激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為 激光波長(zhǎng)(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。干涉圖樣分析：通過觀察干涉條紋的變化，可以獲取關(guān)于物體形狀、厚度等信息。高新區(qū)直銷雙頻激光干涉儀單價(jià)

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種外差式干涉儀，以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹：一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光，通過分束后分別作為參考光和測(cè)量光。測(cè)量光經(jīng)移動(dòng)目標(biāo)反射后與參考光疊加產(chǎn)生多普勒頻移差頻信號(hào)，通過檢測(cè)差頻的變化來(lái)計(jì)算位移量。具體來(lái)說(shuō)：雙頻生成：激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制），頻率分別為f1和f2。分束干涉：光束經(jīng)分光鏡分為兩路，一路為參考光（頻率穩(wěn)定），另一路為測(cè)量光（頻率經(jīng)被測(cè)物**移產(chǎn)生多普勒頻移Δf）。高新區(qū)直銷雙頻激光干涉儀單價(jià)起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。

工程測(cè)量：用于高精度的長(zhǎng)度測(cè)量和地形測(cè)量。波譜分析：用于分析光譜的精細(xì)結(jié)構(gòu)和超精細(xì)結(jié)構(gòu)。量子物理實(shí)驗(yàn)：用于研究量子光學(xué)、原子物理學(xué)等領(lǐng)域的物理現(xiàn)象。五、發(fā)展歷史與現(xiàn)狀19世紀(jì)的波動(dòng)論者認(rèn)為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播，這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。人們做了一系列實(shí)驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證以太的存在并探求其屬性，以干涉原理為基礎(chǔ)的實(shí)驗(yàn)**為精確，其中**有名的是菲佐實(shí)驗(yàn)和邁克耳孫-莫雷實(shí)驗(yàn)。隨著激光器的發(fā)展，干涉儀開始使用激光作為光源，提高了測(cè)量的精度和穩(wěn)定性。到了20世紀(jì)70年代以后，隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，將激光干涉儀和電子計(jì)算機(jī)綜合起來(lái)的許多新的干涉儀，可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)測(cè)量。目前，干涉儀已經(jīng)成為一種重要的精密測(cè)量工具，在各個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計(jì)，通過對(duì)比被測(cè)平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測(cè)量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測(cè)量口徑：Φ60mm（典型型號(hào)） [3-4]對(duì)準(zhǔn)方式：兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性：小型化設(shè)計(jì)、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍：根據(jù)型號(hào)不同覆蓋1/10-1/100波長(zhǎng)梯度 [11.光學(xué)制造：檢測(cè)平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測(cè)：評(píng)估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn)：實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計(jì)量分析在科學(xué)研究和工業(yè)檢測(cè)中，干涉儀是一種非常重要的工具。

激光干涉測(cè)量?jī)x通過雙頻激光技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度線性位移測(cè)量，適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)及光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)。其測(cè)量鏡組可擴(kuò)展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測(cè) [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補(bǔ)償單元3.測(cè)量軟件、分析軟件4.各類測(cè)量鏡組激光干涉測(cè)量?jī)x的優(yōu)勢(shì)包括緊湊設(shè)計(jì)、自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償及符合測(cè)校國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量分析軟件。截至2023年8月，典型型號(hào)LH3000的測(cè)量速度可達(dá)2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]?？垢蓴_能力強(qiáng)：由于使用了兩種不同頻率的激光，干涉儀對(duì)環(huán)境噪聲和振動(dòng)的抗干擾能力較強(qiáng)。姑蘇區(qū)耐用雙頻激光干涉儀單價(jià)

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。高新區(qū)直銷雙頻激光干涉儀單價(jià)

這路光束和由固定反射鏡反射回來(lái)*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-（f2±Δf）的測(cè)量光束。測(cè)量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后，由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算（乘 1/2激光波長(zhǎng)）后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。高新區(qū)直銷雙頻激光干涉儀單價(jià)

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