雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀,以下是對其的詳細介紹:一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光,通過分束后分別作為參考光和測量光。測量光經移動目標反射后與參考光疊加產生多普勒頻移差頻信號,通過檢測差頻的變化來計算位移量。具體來說:雙頻生成:激光器產生兩束頻率相近的激光(如利用塞曼效應或聲光調制),頻率分別為f1和f2。分束干涉:光束經分光鏡分為兩路,一路為參考光(頻率穩(wěn)定),另一路為測量光(頻率經被測物**移產生多普勒頻移Δf)。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等。昆山附近雙頻激光干涉儀銷售廠
干涉儀是很***的一類實驗技術的總稱, 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息, 從而獲得實驗所關心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學 (Thompson et al, 2001) [1], 光學, 工程測量, 海洋學, 地震學, 波譜分析, 量子物理實驗, 遙感, 雷達等等精密測量領域都有廣泛應用(Hariharan, 2007) [2]。具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導致振幅發(fā)生變化, 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動在一點處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動為工業(yè)園區(qū)銷售雙頻激光干涉儀性價比雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計量室的束縛,更為廣泛的應用于工業(yè)生產和科學研究中。
多普勒效應:當測量鏡移動時,測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|,該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測:光電探測器將光信號轉為電信號,經電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計數來計算位移。二、主要特點精度高:雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量,即使不做細分也可達到微米(μm)量級,細分后更可達到納米(nm)量級。應用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量,配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。
8、激光干涉儀的光源——激光,具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。2、在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上,以后又用于加工中心的定位系統中。
光源:提供相干光,通常是激光,因為激光具有高度的相干性,能夠產生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器:將光束分成兩部分,通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡:調節(jié)光程差,確保兩束光在干涉屏(或檢測器)上相遇時具有合適的相位差。干涉屏(或檢測器):顯示干涉結果,或將干涉后的光束轉換為電信號進行進一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進行分類,常見的分類方法包括:按結構區(qū)分:分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中,干涉的波通過同一路徑傳播,如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等;而多路徑干涉儀中,干涉的波通過不同的路徑傳播,如邁克爾遜干涉儀。高精度:雙頻激光干涉儀能夠實現亞納米級別的測量精度,適用于微小位移的檢測。相城區(qū)新款雙頻激光干涉儀單價
當兩束不同頻率的激光光束經過分束器分開后,經過被測物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。昆山附近雙頻激光干涉儀銷售廠
機床與加工設備:應用于數控機床、磨床、鏜床、加工中心等設備的定位系統校準及誤差修正,以提升加工精度。集成電路制造:支持半導體光刻技術的工件臺的精密定位。物理實驗:測量位移、速度、加速度等動力學參數。在線監(jiān)測控制:在大規(guī)模集成電路加工設備、精密機床中實現誤差的在線測量,以提升生產穩(wěn)定性。檢測儀器校準:用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強環(huán)境適應力、高實時動態(tài)測速以及廣泛的應用領域,在精密制造、科研創(chuàng)新以及標準化檢測等方面發(fā)揮著關鍵作用。昆山附近雙頻激光干涉儀銷售廠
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