專為8"-12"晶圓設(shè)計(jì),主軸采用PIN升降氣缸結(jié)構(gòu),避免旋轉(zhuǎn)精度損失。兩路供膠系統(tǒng)(高/低粘度)結(jié)合EBR、BSR、RRC清洗功能,液路通...
全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)在化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用針對(duì)化合物半導(dǎo)體(如GaN、SiC),全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)需適應(yīng)高溫工藝。例如愛姆加設(shè)備支持0-250℃溫控...
顯影機(jī)維護(hù)智能化趨勢(shì)新一代顯影機(jī)集成物聯(lián)網(wǎng)傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空壓力、液路流量等參數(shù)。例如DM200-SE配備真空過濾器堵塞預(yù)警,CKF-12...
顯影機(jī)維護(hù)要點(diǎn):保障穩(wěn)定運(yùn)行與壽命定期的專業(yè)維護(hù)是保障顯影機(jī)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行、維持比較好性能并延長(zhǎng)使用壽命的關(guān)鍵。**維護(hù)要點(diǎn)包括:定期徹底清潔...
蘇州沙芯科技有限公司2022年10月19日成立,是一家研制生產(chǎn)型半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè),產(chǎn)品有勻膠機(jī),顯影機(jī),刻蝕機(jī),清洗機(jī)等多式設(shè)備,也可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)生產(chǎn)定制化產(chǎn)品。逐漸形成以“研發(fā),生產(chǎn),銷售和服務(wù)”為一體的專業(yè)性設(shè)備制造商和服務(wù)商