在進(jìn)行模型校準(zhǔn)時(shí)要依次確定用于校準(zhǔn)的參數(shù)和關(guān)鍵圖案，并建立校準(zhǔn)過(guò)程的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。校準(zhǔn)參數(shù)和校準(zhǔn)圖案的選擇結(jié)果直接影響校準(zhǔn)后光刻膠模型的準(zhǔn)確性和校準(zhǔn)的運(yùn)行時(shí)間，如圖4所示 [4]。準(zhǔn)參數(shù)包括曝光、烘烤、顯影等工藝參數(shù)和光酸擴(kuò)散長(zhǎng)度等光刻膠物理化學(xué)參數(shù)，如圖5所示 [5]。關(guān)鍵圖案的選擇方式主要包含基于經(jīng)驗(yàn)的選擇方式、隨機(jī)選擇方式、根據(jù)圖案密度等特性選擇的方式、主成分分析選擇方式、高維空間映射的選擇方式、基于復(fù)雜數(shù)學(xué)模型的自動(dòng)選擇方式、頻譜聚類選擇方式、基于頻譜覆蓋率的選擇方式等 [2]。校準(zhǔn)過(guò)程的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)通常使用模型預(yù)測(cè)值與晶圓測(cè)量值之間的偏差的均方根（RMS）。根據(jù)任務(wù)的不同，選擇合適的性能指標(biāo)進(jìn)行評(píng)估。嘉定區(qū)口碑好驗(yàn)證模型介紹

模型驗(yàn)證是指測(cè)定標(biāo)定后的交通模型對(duì)未來(lái)數(shù)據(jù)的預(yù)測(cè)能力（即可信程度）的過(guò)程。根據(jù)具體要求和可能，可用的驗(yàn)證方法有:①靈敏度分析,著重于確保模型預(yù)測(cè)值不會(huì)背離期望值，如相差太大，可判斷應(yīng)調(diào)整前者還是后者,另外還能確保模型與假定條件充分協(xié)調(diào)。②擬合度分析，類似于模型標(biāo)定，校核觀測(cè)值和預(yù)測(cè)值的吻合程度。 [1]因預(yù)測(cè)的規(guī)劃年數(shù)據(jù)不可能在現(xiàn)場(chǎng)得到，就要借用現(xiàn)狀或過(guò)去的觀測(cè)值，但需注意不能重復(fù)使用標(biāo)定服務(wù)的觀測(cè)數(shù)據(jù)。具體做法有兩種：一是將觀測(cè)數(shù)據(jù)按時(shí)序分成前后兩組，前組用于標(biāo)定，后組用于驗(yàn)證;二是將同時(shí)段的觀測(cè)數(shù)據(jù)隨機(jī)地分為兩部分，將用***部分?jǐn)?shù)據(jù)標(biāo)定后的模型計(jì)算值同第二部分?jǐn)?shù)據(jù)相擬合。寶山區(qū)直銷(xiāo)驗(yàn)證模型熱線評(píng)估模型性能：通過(guò)驗(yàn)證，我們可以了解模型在未見(jiàn)數(shù)據(jù)上的表現(xiàn)。這對(duì)于判斷模型的泛化能力至關(guān)重要。

用交叉驗(yàn)證的目的是為了得到可靠穩(wěn)定的模型。在建立PCR 或PLS 模型時(shí)，一個(gè)很重要的因素是取多少個(gè)主成分的問(wèn)題。用cross validation 校驗(yàn)每個(gè)主成分下的PRESS值，選擇PRESS值小的主成分?jǐn)?shù)。或PRESS值不再變小時(shí)的主成分?jǐn)?shù)。常用的精度測(cè)試方法主要是交叉驗(yàn)證，例如10折交叉驗(yàn)證(10-fold cross validation)，將數(shù)據(jù)集分成十份，輪流將其中9份做訓(xùn)練1份做驗(yàn)證，10次的結(jié)果的均值作為對(duì)算法精度的估計(jì)，一般還需要進(jìn)行多次10折交叉驗(yàn)證求均值，例如：10次10折交叉驗(yàn)證，以求更精確一點(diǎn)。

模型檢驗(yàn)是確定模型的正確性、有效性和可信性的研究與測(cè)試過(guò)程。具體是指對(duì)一個(gè)給定的軟件或硬件系統(tǒng)建立模型后，需要對(duì)其進(jìn)行行為上的可信性、動(dòng)態(tài)性能的有效性、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、可測(cè)數(shù)據(jù)的逼近精度、研究自的的可達(dá)性等問(wèn)題的檢驗(yàn)，以驗(yàn)證所建立的模型是否能夠真實(shí)反喚實(shí)際系統(tǒng)，或者說(shuō)能夠與真實(shí)系統(tǒng)達(dá)到較高精度的性能相關(guān)技術(shù)。 [2]模型檢驗(yàn)在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，它在軟件工程中用于驗(yàn)證軟件系統(tǒng)的正確性和可靠性，在硬件設(shè)計(jì)中確保硬件模型符合設(shè)計(jì)規(guī)范，而在數(shù)據(jù)分析與機(jī)器學(xué)習(xí)領(lǐng)域則評(píng)估模型的擬合效果和泛化能力。此外，在心理學(xué)與社會(huì)科學(xué)領(lǐng)域，模型檢驗(yàn)通過(guò)驗(yàn)證性因子分析等方法檢驗(yàn)量表的結(jié)構(gòu)效度，確保研究工具的可靠性和有效性。可以有效地驗(yàn)證模型的性能，確保其在未見(jiàn)數(shù)據(jù)上的泛化能力。

性能指標(biāo)：根據(jù)任務(wù)的不同，選擇合適的性能指標(biāo)進(jìn)行評(píng)估。例如：分類任務(wù)：準(zhǔn)確率、精確率、召回率、F1-score、ROC曲線和AUC值等。回歸任務(wù)：均方誤差（MSE）、均***誤差（MAE）、R2等。學(xué)習(xí)曲線：繪制學(xué)習(xí)曲線可以幫助理解模型在不同訓(xùn)練集大小下的表現(xiàn)，幫助判斷模型是否過(guò)擬合或欠擬合。超參數(shù)調(diào)優(yōu)：使用網(wǎng)格搜索（Grid Search）或隨機(jī)搜索（Random Search）等方法對(duì)模型的超參數(shù)進(jìn)行調(diào)優(yōu)，以找到比較好參數(shù)組合。模型比較：將不同模型的性能進(jìn)行比較，選擇表現(xiàn)比較好的模型。外部驗(yàn)證：如果可能，使用**的外部數(shù)據(jù)集對(duì)模型進(jìn)行驗(yàn)證，以評(píng)估其在真實(shí)場(chǎng)景中的表現(xiàn)。使用驗(yàn)證集評(píng)估模型的性能，常用的評(píng)估指標(biāo)包括準(zhǔn)確率、召回率、F1分?jǐn)?shù)、均方誤差（MSE）、均方根誤差。寶山區(qū)直銷(xiāo)驗(yàn)證模型熱線

模型解釋：使用特征重要性、SHAP值、LIME等方法解釋模型的決策過(guò)程，提高模型的可解釋性。嘉定區(qū)口碑好驗(yàn)證模型介紹

因?yàn)樵趯?shí)際的訓(xùn)練中，訓(xùn)練的結(jié)果對(duì)于訓(xùn)練集的擬合程度通常還是挺好的（初始條件敏感），但是對(duì)于訓(xùn)練集之外的數(shù)據(jù)的擬合程度通常就不那么令人滿意了。因此我們通常并不會(huì)把所有的數(shù)據(jù)集都拿來(lái)訓(xùn)練，而是分出一部分來(lái)（這一部分不參加訓(xùn)練）對(duì)訓(xùn)練集生成的參數(shù)進(jìn)行測(cè)試，相對(duì)客觀的判斷這些參數(shù)對(duì)訓(xùn)練集之外的數(shù)據(jù)的符合程度。這種思想就稱為交叉驗(yàn)證（Cross Validation） [1]。交叉驗(yàn)證（Cross Validation），有的時(shí)候也稱作循環(huán)估計(jì)（Rotation Estimation），是一種統(tǒng)計(jì)學(xué)上將數(shù)據(jù)樣本切割成較小子集的實(shí)用方法，該理論是由Seymour Geisser提出的。嘉定區(qū)口碑好驗(yàn)證模型介紹

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