不同的氣體對于標準漏孔的泄漏率有著一定影響,通常校準以氮氣或氦氣為介質(zhì),實際使用時需要根據(jù)檢測氣體的性質(zhì)來進行修正,提高檢測結(jié)果的準確性。標準漏孔的安裝方式應(yīng)該符合操作規(guī)程,以確保連接緊密、無額外的泄漏,避免因安裝不當影響校準或者檢測結(jié)果。部分漏孔的設(shè)計有專屬接口,方便與不同設(shè)備對接。隨著檢漏技術(shù)的發(fā)展,標準漏孔的性能不斷提升,出現(xiàn)了可調(diào)節(jié)泄漏率、智能化監(jiān)控等新型產(chǎn)品,滿足了更復雜場景下的計量需求。標準漏孔長期不用需進行定期活化處理。廣東鹵素漏孔出口多大
可調(diào)通道型漏孔是一種具有特定技術(shù)、規(guī)格和特點的漏孔,?它是屬于實漏型漏孔,?可調(diào)通道型其漏孔元件是通過物理節(jié)流形成的漏氣通道。?這種漏孔能夠通過所有氣體成分,?因此在使用時需要使用純氣體以獲得所需氣體的漏率。?可調(diào)通道型漏孔產(chǎn)品的應(yīng)用:氦質(zhì)譜檢漏真空和正壓吸法校準、模擬實際漏孔漏率,實際漏孔漏率的確定??烧{(diào)通道型漏孔產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于氣體分析、?真空技術(shù)、?流量測量等領(lǐng)域,?以及產(chǎn)品的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控。廣東鹵素漏孔出口多大標準漏孔在半導體制造檢漏中經(jīng)常使用。
差壓檢漏法差壓檢漏法的原理啟蒙于醫(yī)用天平,它是精確測量微量物品質(zhì)量的測量工具。使用者通過仔細調(diào)整天平一端的砝碼使兩端達到嚴格平衡,這樣被測物的質(zhì)量就可通過砝碼反映出來。差壓氣密檢漏儀的原理同天平一樣,首先我們將相同壓力的氣體同時充入到被測物和基準物內(nèi),使差壓傳感器隔離板兩邊的壓力完全相等,然后觀察其平衡情況。若被測物不漏,那么差壓傳感器隔離板兩邊的壓力將保持平衡。如果被測物存在泄漏,那么它內(nèi)部的壓力會逐漸降低,平衡就被破壞。這樣傳感器就可以檢測出隔離板兩側(cè)因泄漏產(chǎn)生的差壓。而且,如果發(fā)生泄漏,泄漏率(ml/sec)的大小將直接反映在兩側(cè)壓力的失衡速度上。
氣泡檢漏法氣泡法是出現(xiàn)比較早的檢漏方法,以其操作簡單,成本低廉而得到廣泛應(yīng)用。其原理是當漏孔兩側(cè)存在壓差時,氣體就會通過泄漏點從高壓側(cè)向低壓側(cè)流動,如果將被測件放入液體中,將會出現(xiàn)氣泡,通過觀察氣泡產(chǎn)生位置可以確定泄漏點位置,通過收集氣體或者數(shù)氣泡的方法測量漏率。使泄漏點兩側(cè)產(chǎn)生壓差的方法有三種:充氣法,熱槽法和抽真空法。充氣法首先向被檢件中沖入氣體,使其壓力上升到規(guī)定值,然后將被檢件放入液體中,觀察氣泡。這樣的檢測結(jié)果很大程度上取決于測試者本人的判斷,而且光憑氣泡很難確定出泄漏率的大小。同時這些方法還可能帶來另外一些問題,如對被測物進行拆卸,清洗,烘干,涂防銹漆等額外工作。標準漏孔安裝時要確保連接部位密封完好。
檢漏儀內(nèi)置標準漏孔目前通常是廠家提供的鋁制滲氦標準漏孔, 漏率一般是10-8 Pa·m3/s量級, 東貝真空制作的內(nèi)置標準漏孔是采用微通道毛細管的通道型漏孔。檢漏儀內(nèi)置標準漏孔的特點是抗震抗摔,使用壽命較長:檢漏儀自帶漏孔為滲氦漏孔,泄漏元件是玻璃滲透膜,非常容易破碎損壞,而且不能充氣重復使用,廠家建議一般2年更換一次漏孔,上海東貝真空采用的微通道毛細管通道型漏孔,抗震抗摔,使用壽命一般為滲透膜材質(zhì)漏孔幾倍甚至更長。標準漏孔連接接口有多種規(guī)格可供不同場景選擇。南京氣密性漏孔尺寸
標準漏孔受氣流影響需穩(wěn)定狀態(tài)使用 。廣東鹵素漏孔出口多大
標準漏孔的常見問題,外部標準漏孔校準,檢漏儀的外部校準是非常重要的??紤]到各個廠家對自己利益的保護,目前對標準漏孔存在比較大的兩個誤區(qū):誤區(qū)1:多個檢漏儀廠家特別是國外廠家說只能用自己的漏孔,包括外置與內(nèi)置,這是一個典型性的謬誤說法。因為氦質(zhì)譜檢漏儀準不準,應(yīng)符合標準漏孔。而標準漏孔準不準,是國家標準規(guī)定的檢測機構(gòu)而不是廠家。誤區(qū)2就是檢漏儀內(nèi)置漏孔檢測通過,檢漏儀就沒有問題。這也是一個認識的誤區(qū),實際上每一臺檢漏儀要做到寬量程都精確是非常困難的。廣東鹵素漏孔出口多大