標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備,以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度,避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量,是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān),頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會(huì)縮短其壽命,只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長(zhǎng)其有效的使用時(shí)間...
10-7Pa·m3/s量級(jí)以下的漏孔,在正常情況下是不需要關(guān)閉出口閥門的,但是由于客戶不清楚漏孔的一些結(jié)構(gòu),通常會(huì)關(guān)閉閥門。對(duì)于滲氦型漏孔,如果長(zhǎng)時(shí)間關(guān)閉閥門會(huì)積攢一定的氦氣,使得滲透元件的邊界條件遭到破壞,使用時(shí)短時(shí)間內(nèi)漏率值便會(huì)偏大,打開閥門經(jīng)過一段時(shí)間(...
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的運(yùn)輸過程需要避免劇烈震動(dòng)和碰撞,防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形。部分精密漏孔會(huì)采用防震包裝,并標(biāo)注 “輕放” 標(biāo)識(shí),以減少運(yùn)輸對(duì)其性能的潛在影響。氣體壓力差是標(biāo)準(zhǔn)漏孔工作的必要條件,通常需在漏孔兩側(cè)建立穩(wěn)定的壓力環(huán)境。壓力波動(dòng)過大會(huì)導(dǎo)致泄漏率不穩(wěn)定,因此實(shí)際應(yīng)用中...
10-7Pa·m3/s量級(jí)以下的漏孔,在正常情況下是不需要關(guān)閉出口閥門的,但是由于客戶不清楚漏孔的一些結(jié)構(gòu),通常會(huì)關(guān)閉閥門。對(duì)于滲氦型漏孔,如果長(zhǎng)時(shí)間關(guān)閉閥門會(huì)積攢一定的氦氣,使得滲透元件的邊界條件遭到破壞,使用時(shí)短時(shí)間內(nèi)漏率值便會(huì)偏大,打開閥門經(jīng)過一段時(shí)間(...
冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔(可調(diào)漏率)VTL-20B型 ,漏孔元件為微通道毛細(xì)管,其漏率或校準(zhǔn)精度0.1g/a,漏率范圍:(0~10)g/a,支持客戶指定漏率或年泄漏量定制,如1g/a,2.5g/a,5g/a,…,也可以指定其他漏率單位, 如Pa·m3/s(≥5×10-6 ...
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的制造工藝需嚴(yán)格把控材料純度與結(jié)構(gòu)精度,細(xì)微的尺寸偏差都可能導(dǎo)致泄漏率明顯變化。例如毛細(xì)管型漏孔的內(nèi)徑和長(zhǎng)度需經(jīng)過精密測(cè)量,確保氣體流動(dòng)符合理論計(jì)算模型,為量值準(zhǔn)確性奠定基礎(chǔ)。在制冷設(shè)備檢漏中,標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于校準(zhǔn)鹵素檢漏儀,幫助檢測(cè)制冷劑是否存在微量泄漏...
檢漏的具體工作內(nèi)容就是在一些設(shè)備制造、安裝、調(diào)試和運(yùn)行過程中,來判斷泄漏量是否在允許范圍之內(nèi)、來檢測(cè)泄漏率的大小,并且查明泄漏點(diǎn)具體的位置,從而可以進(jìn)一步的找出一些原因,從而來避免發(fā)生因泄漏而導(dǎo)致的一些故障問題。其中值得說明的是漏率的概念問題,漏率是指單位時(shí)間...
檢漏的具體工作內(nèi)容就是在一些設(shè)備制造、安裝、調(diào)試和運(yùn)行過程中,來判斷泄漏量是否在允許范圍之內(nèi)、來檢測(cè)泄漏率的大小,并且查明泄漏點(diǎn)具體的位置,從而可以進(jìn)一步的找出一些原因,從而來避免發(fā)生因泄漏而導(dǎo)致的一些故障問題。其中值得說明的是漏率的概念問題,漏率是指單位時(shí)間...
正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準(zhǔn)和使用的漏孔,代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔(鹵素氣體漏率標(biāo)準(zhǔn)器),還有氫氣校準(zhǔn)漏孔。該類漏孔目前應(yīng)用場(chǎng)合和校準(zhǔn)需求要高于一類真空漏孔。主要因?yàn)檎龎簷z漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實(shí)際工作狀態(tài),越來越被...
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的運(yùn)輸過程需要避免劇烈震動(dòng)和碰撞,防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形。部分精密漏孔會(huì)采用防震包裝,并標(biāo)注 “輕放” 標(biāo)識(shí),以減少運(yùn)輸對(duì)其性能的潛在影響。氣體壓力差是標(biāo)準(zhǔn)漏孔工作的必要條件,通常需在漏孔兩側(cè)建立穩(wěn)定的壓力環(huán)境。壓力波動(dòng)過大會(huì)導(dǎo)致泄漏率不穩(wěn)定,因此實(shí)際應(yīng)用中...
溫度對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)漏孔的性能有著明顯的影響,多數(shù)的漏孔需在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)來使用,以保證泄漏率的穩(wěn)定性。部分高精度漏孔會(huì)配備溫度補(bǔ)償裝置,從而減少環(huán)境溫度波動(dòng)的影響。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)需要依托正規(guī)計(jì)量機(jī)構(gòu),通過與更高等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)裝置來比對(duì),確定其實(shí)際泄漏率,并出具校準(zhǔn)證明...
檢漏技術(shù)發(fā)展前景:目前,我們掌握的檢漏技術(shù)是完全可以滿足我們的生產(chǎn)需要的,對(duì)于檢漏儀的發(fā)展,更多的是向智能化、模塊化、集成化方向發(fā)展。隨著加工技術(shù)的進(jìn)步和集成電路技術(shù)的發(fā)展,檢漏儀日趨輕便,甚至微型化。通訊技術(shù)的發(fā)展也使得對(duì)泄漏的狀態(tài)監(jiān)測(cè)成為可能,為了及時(shí)發(fā)現(xiàn)...
氣密性標(biāo)準(zhǔn)漏孔的原理是利用節(jié)流效應(yīng)來實(shí)現(xiàn)氣體的泄漏。具體來說,當(dāng)氣體通過漏孔時(shí),由于孔徑的限制和節(jié)流效應(yīng)的作用,氣體的流量是會(huì)受到一定的限制,從而實(shí)現(xiàn)氣體上的泄漏。通過來調(diào)節(jié)漏孔的大小和孔徑,可以控制氣體的泄漏速率和流量,從而模擬出不同的氣體泄漏情況??勺稣龎?..
氦氣真空漏孔的溯源國(guó)內(nèi)開展的比較早也相對(duì)成熟一些,各級(jí)標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立,檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對(duì)其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善,并需要對(duì)不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和...
檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔目前通常是廠家提供的鋁制滲氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔, 漏率一般是10-8 Pa·m3/s量級(jí), 東貝真空制作的內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是采用微通道毛細(xì)管的通道型漏孔。檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔的特點(diǎn)是抗震抗摔,使用壽命較長(zhǎng):檢漏儀自帶漏孔為滲氦漏孔,泄漏元件是玻璃滲透膜,非常...
航空航天領(lǐng)域?qū)γ芊庑阅芤髽O高,標(biāo)準(zhǔn)漏孔在此類場(chǎng)景中用于校準(zhǔn)航天器密封件檢漏設(shè)備,確保燃料艙、艙體等關(guān)鍵部件無泄漏,確保飛行安全與任務(wù)順利執(zhí)行。在醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域,標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于校準(zhǔn)氧艙的檢漏儀器,確保艙體密封性能達(dá)標(biāo),避免氧氣泄漏引發(fā)安全問題,是確保患者安全的重要...
不同的氣體對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)漏孔的泄漏率有著一定影響,通常校準(zhǔn)以氮?dú)饣蚝鉃榻橘|(zhì),實(shí)際使用時(shí)需要根據(jù)檢測(cè)氣體的性質(zhì)來進(jìn)行修正,提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的安裝方式應(yīng)該符合操作規(guī)程,以確保連接緊密、無額外的泄漏,避免因安裝不當(dāng)影響校準(zhǔn)或者檢測(cè)結(jié)果。部分漏孔的設(shè)計(jì)有專屬...
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的運(yùn)輸過程需要避免劇烈震動(dòng)和碰撞,防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形。部分精密漏孔會(huì)采用防震包裝,并標(biāo)注 “輕放” 標(biāo)識(shí),以減少運(yùn)輸對(duì)其性能的潛在影響。氣體壓力差是標(biāo)準(zhǔn)漏孔工作的必要條件,通常需在漏孔兩側(cè)建立穩(wěn)定的壓力環(huán)境。壓力波動(dòng)過大會(huì)導(dǎo)致泄漏率不穩(wěn)定,因此實(shí)際應(yīng)用中...
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的制造工藝需嚴(yán)格把控材料純度與結(jié)構(gòu)精度,細(xì)微的尺寸偏差都可能導(dǎo)致泄漏率明顯變化。例如毛細(xì)管型漏孔的內(nèi)徑和長(zhǎng)度需經(jīng)過精密測(cè)量,確保氣體流動(dòng)符合理論計(jì)算模型,為量值準(zhǔn)確性奠定基礎(chǔ)。在制冷設(shè)備檢漏中,標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于校準(zhǔn)鹵素檢漏儀,幫助檢測(cè)制冷劑是否存在微量泄漏...
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化,而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分,這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí),這個(gè)分流比會(huì)有變化,檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程:例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-...
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率換算:1mbar.L/sec = 0.1Pa.m3/sec = 1/1.013atm.cc/sec = 0.987std.cc/sec(標(biāo)準(zhǔn)體積) = 59.23scc/min、1mbar.L/sec ≈ 1cc/sec, 直觀的來說, 1mba...
檢漏的具體工作內(nèi)容就是在一些設(shè)備制造、安裝、調(diào)試和運(yùn)行過程中,來判斷泄漏量是否在允許范圍之內(nèi)、來檢測(cè)泄漏率的大小,并且查明泄漏點(diǎn)具體的位置,從而可以進(jìn)一步的找出一些原因,從而來避免發(fā)生因泄漏而導(dǎo)致的一些故障問題。其中值得說明的是漏率的概念問題,漏率是指單位時(shí)間...
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的常見問題,外部標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn),檢漏儀的外部校準(zhǔn)是非常重要的??紤]到各個(gè)廠家對(duì)自己利益的保護(hù),目前對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔存在比較大的兩個(gè)誤區(qū):誤區(qū)1:多個(gè)檢漏儀廠家特別是國(guó)外廠家說只能用自己的漏孔,包括外置與內(nèi)置,這是一個(gè)典型性的謬誤說法。因?yàn)楹べ|(zhì)譜檢漏儀準(zhǔn)不準(zhǔn),應(yīng)...
上海東貝真空設(shè)備有限公司座落于:上海市青浦開發(fā)區(qū)上海市青浦工業(yè)園區(qū),聯(lián)東U谷科技園。通過長(zhǎng)期以來的貼心服務(wù)本公司積累了一些良好的客戶關(guān)系,我們是一家正在成長(zhǎng)的年輕企業(yè),真誠(chéng)地感謝所有的新老客戶的信任和關(guān)照。公司技術(shù)能力包括:建立了齊全的漏率校準(zhǔn)和檢測(cè)能力,漏率...
JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范》,規(guī)范條文解釋:本規(guī)范適用于可檢漏率為(1.0×10-6 ~1.0×10-4)Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準(zhǔn),其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋:與目前鹵素檢漏儀校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器(鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔)的可溯源...
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的運(yùn)輸過程需要避免劇烈震動(dòng)和碰撞,防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形。部分精密漏孔會(huì)采用防震包裝,并標(biāo)注 “輕放” 標(biāo)識(shí),以減少運(yùn)輸對(duì)其性能的潛在影響。氣體壓力差是標(biāo)準(zhǔn)漏孔工作的必要條件,通常需在漏孔兩側(cè)建立穩(wěn)定的壓力環(huán)境。壓力波動(dòng)過大會(huì)導(dǎo)致泄漏率不穩(wěn)定,因此實(shí)際應(yīng)用中...
檢漏技術(shù)發(fā)展前景:目前,我們掌握的檢漏技術(shù)是完全可以滿足我們的生產(chǎn)需要的,對(duì)于檢漏儀的發(fā)展,更多的是向智能化、模塊化、集成化方向發(fā)展。隨著加工技術(shù)的進(jìn)步和集成電路技術(shù)的發(fā)展,檢漏儀日趨輕便,甚至微型化。通訊技術(shù)的發(fā)展也使得對(duì)泄漏的狀態(tài)監(jiān)測(cè)成為可能,為了及時(shí)發(fā)現(xiàn)...
正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準(zhǔn)和使用的漏孔,代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔(鹵素氣體漏率標(biāo)準(zhǔn)器),還有氫氣校準(zhǔn)漏孔。該類漏孔目前應(yīng)用場(chǎng)合和校準(zhǔn)需求要高于一類真空漏孔。主要因?yàn)檎龎簷z漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實(shí)際工作狀態(tài),越來越被...
檢漏的具體工作內(nèi)容就是在一些設(shè)備制造、安裝、調(diào)試和運(yùn)行過程中,來判斷泄漏量是否在允許范圍之內(nèi)、來檢測(cè)泄漏率的大小,并且查明泄漏點(diǎn)具體的位置,從而可以進(jìn)一步的找出一些原因,從而來避免發(fā)生因泄漏而導(dǎo)致的一些故障問題。其中值得說明的是漏率的概念問題,漏率是指單位時(shí)間...
氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中,經(jīng)過不斷的改進(jìn)發(fā)展,氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國(guó)質(zhì)譜檢漏儀的檢測(cè)精度已經(jīng)達(dá)到了10-14Pa·m3/s,國(guó)外質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度達(dá)到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)...