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標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備,以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度,避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量,是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān),頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會縮短其壽命,只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長其有效的使用時間。正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提,操作人員需經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn),熟悉其性能、特點、流程和操作規(guī)范,避免因誤操作導(dǎo)致的計量誤差或設(shè)備損壞。漏孔是影響設(shè)備密封性的常見問題之一。湖南可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔偏差
壓差式標(biāo)準(zhǔn)漏孔在此是指壓差檢漏系統(tǒng)(泄漏儀)中用來模擬被檢產(chǎn)品泄漏的漏孔,它的使用方式和正壓漏孔相近,只是一般漏率比較大,在(0.1-1000)SCCM。漏率單位一般采用SCCM或SLM。介質(zhì)也一般為空氣或氮氣。該類型的標(biāo)準(zhǔn)漏孔主要配合檢漏儀使用,漏率值得大小主要由被檢產(chǎn)品的漏率指標(biāo)確定,是產(chǎn)品檢漏的定量標(biāo)準(zhǔn)和檢漏的保證。在國內(nèi)許多省市級計量院所和檢漏儀生產(chǎn)廠家已經(jīng)長期開展此項校準(zhǔn)活動,但該產(chǎn)品的校準(zhǔn)需要考慮流量,大氣壓力,壓力,氣體特性和漏率綜合知識和標(biāo)準(zhǔn),到目前為止還沒有一家能夠比較全,嚴(yán)謹(jǐn)?shù)亻_展過研究。對于許多企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和地方標(biāo)準(zhǔn),錯誤和疏漏的方面很多,需要大量的工作才能夠完成該項工作。濟(jì)南漏孔定制標(biāo)準(zhǔn)漏孔能為各類檢漏結(jié)果提供可靠依據(jù)。
系列漏孔為通道型定值標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏孔元件為微通道毛細(xì)管,其漏率或校準(zhǔn)精度0.1g/a,支持客戶漏率或年泄漏量定制,如1g/a,2.5g/a,5g/a,…,也可以定制其他漏率單位,如Pa·m3/s(≥5x10-6Pa ·m3/s),大漏率10~100g/a亦可定制。本產(chǎn)品結(jié)合了國內(nèi)外定值漏孔的特點專門研制的一套知識產(chǎn)權(quán)的標(biāo)準(zhǔn)儀器,該產(chǎn)品很好地適應(yīng)國內(nèi)外制冷等行業(yè)對產(chǎn)品檢漏過程嚴(yán)格把控的需求。冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔(定值)特點是漏率穩(wěn)定、可重復(fù)充灌、使用成本較低等
氦氣真空漏孔的溯源國內(nèi)開展的比較早也相對成熟一些,各級標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立,檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善,并需要對不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求,在計量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用,對于以開展量值溯源為主要任務(wù),技術(shù)能級有所欠缺的省市和企業(yè)級別的校準(zhǔn)實驗室建議以相對比較法漏率校準(zhǔn)裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對裝置,該裝置操作簡單,成本低等特點,對實驗室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀(RGA),因為該儀器悟操作容易造成儀器的損壞,影響工作效率和增加維修成本。標(biāo)準(zhǔn)漏孔長期不用需進(jìn)行定期活化處理。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的運(yùn)輸過程需要避免劇烈震動和碰撞,防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形。部分精密漏孔會采用防震包裝,并標(biāo)注 “輕放” 標(biāo)識,以減少運(yùn)輸對其性能的潛在影響。氣體壓力差是標(biāo)準(zhǔn)漏孔工作的必要條件,通常需在漏孔兩側(cè)建立穩(wěn)定的壓力環(huán)境。壓力波動過大會導(dǎo)致泄漏率不穩(wěn)定,因此實際應(yīng)用中需配備壓力調(diào)節(jié)與穩(wěn)定裝置。長期未使用的標(biāo)準(zhǔn)漏孔在啟用前,應(yīng)進(jìn)行預(yù)熱和通氣處理,排除內(nèi)部殘留的雜質(zhì)氣體,使漏孔內(nèi)部狀態(tài)達(dá)到穩(wěn)定,確保測量的準(zhǔn)確性。標(biāo)準(zhǔn)漏孔運(yùn)輸過程中需做好防震保護(hù) 。湖南可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔偏差
標(biāo)準(zhǔn)漏孔需按規(guī)范定期進(jìn)行性能校準(zhǔn)與核查。湖南可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔偏差
上海東貝真空設(shè)備有限公司座落于:上海市青浦開發(fā)區(qū)上海市青浦工業(yè)園區(qū),聯(lián)東U谷科技園。通過長期以來的貼心服務(wù)本公司積累了一些良好的客戶關(guān)系,我們是一家正在成長的年輕企業(yè),真誠地感謝所有的新老客戶的信任和關(guān)照。公司技術(shù)能力包括:建立了齊全的漏率校準(zhǔn)和檢測能力,漏率計量標(biāo)準(zhǔn)裝置的設(shè)計制造能力,為國內(nèi)計量技術(shù)機(jī)構(gòu)提供成熟的漏率計量標(biāo)準(zhǔn)裝置.實現(xiàn)了目前目前已知漏孔形式的產(chǎn)品制造能,為檢漏客戶提供專業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔產(chǎn)品.本公司建立了專業(yè)的漏率計量實驗室并通過”國家實驗室合格認(rèn)可委”考核的CNAS實驗室授權(quán)(注冊號:CNAS L20566).湖南可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔偏差
上海東貝真空設(shè)備有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽(yù)可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍(lán)圖,在上海市等地區(qū)的儀器儀表行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來公司能成為行業(yè)的翹楚,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將引領(lǐng)上海東貝真空設(shè)備供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績,一直以來,公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實守信的方針,員工精誠努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場,我們一直在路上!