標準漏孔的制造工藝需嚴格把控材料純度與結(jié)構(gòu)精度,細微的尺寸偏差都可能導致泄漏率明顯變化。例如毛細管型漏孔的內(nèi)徑和長度需經(jīng)過精密測量,確保氣體流動符合理論計算模型,為量值準確性奠定基礎(chǔ)。在制冷設(shè)備檢漏中,標準漏孔用于校準鹵素檢漏儀,幫助檢測制冷劑是否存在微量泄漏。由于制冷劑泄漏不僅影響設(shè)備效率,還可能對環(huán)境造成影響,因此借助標準漏孔確保檢測精度尤為重要。濕度較高的環(huán)境可能導致標準漏孔內(nèi)部結(jié)露,進而堵塞氣體通道,影響其性能。因此在潮濕地區(qū)使用時,需配備干燥裝置,或選擇具有抗潮濕設(shè)計的漏孔,維持其穩(wěn)定工作狀態(tài)。標準漏孔需詳細記錄每次使用的相關(guān)情況。蘇州全系列標準漏孔定制
標準漏孔的常見問題,外部標準漏孔校準,檢漏儀的外部校準是非常重要的??紤]到各個廠家對自己利益的保護,目前對標準漏孔存在比較大的兩個誤區(qū):誤區(qū)1:多個檢漏儀廠家特別是國外廠家說只能用自己的漏孔,包括外置與內(nèi)置,這是一個典型性的謬誤說法。因為氦質(zhì)譜檢漏儀準不準,應符合標準漏孔。而標準漏孔準不準,是國家標準規(guī)定的檢測機構(gòu)而不是廠家。誤區(qū)2就是檢漏儀內(nèi)置漏孔檢測通過,檢漏儀就沒有問題。這也是一個認識的誤區(qū),實際上每一臺檢漏儀要做到寬量程都精確是非常困難的。鹽城鹵素漏孔參數(shù)標準漏孔在壓力容器檢漏中應用較多。
蘭州510所建立了國內(nèi)測量范圍較寬,不確定度較小的正壓漏率校準裝置。計量院在2010年前后也搭建了一套試驗用正壓漏孔校準裝置。并與今年正式立項建立正壓漏孔校準裝置,涵蓋了專題中第二,三種正壓漏孔的校準。上海市計量測試技術(shù)研究院在2004年建立國內(nèi)一套正常開展量值溯源的正壓漏率校準校準裝置,并通過CNAC實驗室認證。近幾年來該裝置每年完成超過500件標準漏孔的校準服務,在長期的校準過程中驗證了裝置和校準規(guī)范在量值的不確定度、長期穩(wěn)定性方面的成熟。為國內(nèi)起草該范圍的正壓漏孔的校準規(guī)范做好了技術(shù)準備。
正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準和使用的漏孔,代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標準漏孔(鹵素氣體漏率標準器),還有氫氣校準漏孔。該類漏孔目前應用場合和校準需求要高于一類真空漏孔。主要因為正壓檢漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實際工作狀態(tài),越來越被重視。被檢容器內(nèi)壓力在1.013×105Pa,容器內(nèi)氣體分子多,壓力受溫度影響大。壓力的變化不正壓檢漏技術(shù)與真空檢漏技術(shù)相比,具有被檢件不用抽真空、工作狀態(tài)和檢漏狀態(tài)可保持一致等特點,同時也帶來了新的問題。標準漏孔是真空檢漏領(lǐng)域不可或缺的基準工具。
JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準規(guī)范》,規(guī)范條文解釋:本規(guī)范適用于可檢漏率為(1.0×10-6 ~1.0×10-4)Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準,其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋:與目前鹵素檢漏儀校準用標準器(鹵素標準漏孔)的可溯源范圍相適應,待發(fā)布的正壓漏孔校準規(guī)范使用范圍(10-6~10-4)Pa.m3/s,與檢漏儀的實際測量范圍(1-10)g/a對應。測量標準:測量標準為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標準漏孔,如表所示,鹵素標準漏孔應具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋:通常配備多個標準漏孔,一個標準漏孔對應一種示漏氣體,根據(jù)被校檢漏儀選擇相應的標準漏孔。標準漏孔在半導體制造檢漏中經(jīng)常使用。云南滲氦漏孔型號
標準漏孔需按規(guī)范定期進行性能校準與核查。蘇州全系列標準漏孔定制
標準漏孔的漏率換算:1mbar.L/sec = 0.1Pa.m3/sec = 1/標準體積) = 59.23scc/min、1mbar.L/sec ≈ 1cc/sec, 直觀的來說, 1mbar.L/sec ≈ 1秒鐘泄漏1cc標準體積氣體、23℃,某氣體分子量=m,它的泄漏率為X mbar.L/s,換算成克/年見如下公式:X mbar.L/s=(X*365*86400)/(22.413*1000)*(273/(273+23))*m *(1/1.013)(克/年),漏孔壓力:一般分為表壓(相對大氣壓的壓差)和絕壓(相對真空的壓差)。漏孔絕壓:1個大氣壓+表壓。蘇州全系列標準漏孔定制
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