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無塵車間環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書

來源: 發(fā)布時間:2025-08-22

中源綠凈在鋰電池電芯潔凈車間環(huán)境監(jiān)測中,推出了粉塵 - 濕度 - 靜電多參數(shù)協(xié)同方案。針對鋰電池勻漿、涂布工序的 1000 級潔凈區(qū),配置了防爆型監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 0.1μm 粉塵濃度(檢測下限 0.01mg/m3)、相對濕度(控制范圍 20%~30% RH,精度 ±2%)、靜電電位(量程 - 500~+500V,精度 ±10V)等參數(shù)。采用 β 射線吸收法測量粉塵濃度,響應(yīng)時間≤1 秒,數(shù)據(jù)采樣間隔 10 秒 / 次,確保及時發(fā)現(xiàn)粉塵聚集風(fēng)險。通過靜電消除聯(lián)動控制,使電芯粉塵附著導(dǎo)致的不良率下降 50%。該系統(tǒng)已在寧德時代、比亞迪電池車間應(yīng)用,滿足 IEC 62133 安全標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率維持在 99.85%。中源綠凈為 25 + 水產(chǎn)養(yǎng)殖場做環(huán)境監(jiān)測,水質(zhì)優(yōu)化,存活率提 20%!無塵車間環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書

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中源綠凈為食品無菌加工無塵車間開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),重點強化了微生物與壓差梯度的 管控。應(yīng)用場景:食品無菌灌裝無塵車間。針對 C 級無菌加工區(qū),部署每 2.5 平方米 1 個監(jiān)測點,同步采集浮游菌(每 30 分鐘采樣 1 次,檢測下限 1CFU/m3)、0.5μm 微粒濃度、加工區(qū)與外界壓差(≥15Pa,精度 ±1Pa)及溫濕度。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù),微生物檢測時間從傳統(tǒng) 48 小時縮短至 15 分鐘,準(zhǔn)確率達(dá) 98.8%。系統(tǒng)與灌裝設(shè)備聯(lián)動,參數(shù)異常時立即觸發(fā)停機并啟動消毒程序,使食品微生物超標(biāo)率下降 62%。已在娃哈哈、統(tǒng)一企業(yè)等應(yīng)用,符合 GB 14881 食品生產(chǎn)通用衛(wèi)生規(guī)范,環(huán)境數(shù)據(jù)審計通過率 100%。凈化車間環(huán)境監(jiān)測顆粒物在線監(jiān)測中源綠凈為 75 + 糧油廠做環(huán)境監(jiān)測,倉儲環(huán)境優(yōu)化,脂肪酸值升速降 15%!

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中源綠凈針對半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測方案,聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區(qū),配置防腐蝕監(jiān)測終端,可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境,實時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min)、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封裝傳感器,檢測精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動控制,當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動啟動局部排風(fēng),使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè),符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn),潔凈度監(jiān)測準(zhǔn)確率 99.92%。

中源綠凈為核電部件檢測潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),重點強化了輻射與潔凈度協(xié)同監(jiān)測能力。應(yīng)用場景:核電承壓部件無損檢測潔凈室。針對檢測區(qū) 8 級潔凈環(huán)境,部署耐輻射監(jiān)測終端(耐受累計輻射劑量 100kGy),同步采集 1μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 10 秒)、空氣中放射性氣溶膠含量(量程 0~100Bq/m3,精度 ±5Bq/m3)、溫濕度及氣壓。采用半導(dǎo)體輻射探測器實現(xiàn)放射性實時監(jiān)測,響應(yīng)時間≤2 秒,數(shù)據(jù)傳輸采用光纖加密方式,確??垢蓴_性和保密性。系統(tǒng)具備遠(yuǎn)程操控功能,支持在輻射控制區(qū)外完成參數(shù)配置與數(shù)據(jù)調(diào)取,減少人員輻射暴露風(fēng)險。通過與通風(fēng)系統(tǒng)聯(lián)動,當(dāng)微粒超標(biāo)時自動提升換氣次數(shù)至 60 次 / 小時,使部件檢測缺陷誤判率下降 45%。已在中核武漢核電運行技術(shù)股份有限公司等應(yīng)用,符合 GB 18871 輻射防護標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,幫 55 + 溫室大棚監(jiān)測,作物產(chǎn)量提升 15%!

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中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測中,推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動方案。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車間。針對 10 級沉積區(qū),部署超高精度監(jiān)測終端,同步檢測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、沉積氣體純度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)及腔體壓差(≥20Pa)。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù),氣體純度響應(yīng)時間≤1 秒,微粒檢測分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動,當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時自動切斷氣源,使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn),潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。中源綠凈為 30+3D 打印材料企業(yè)降低打印件缺陷率,提升產(chǎn)品質(zhì)量!深圳十萬級環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域,為 50 + 企業(yè)提供遠(yuǎn)程監(jiān)測服務(wù),打破地域限制!無塵車間環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書

中源綠凈在電子封裝測試潔凈室環(huán)境監(jiān)測中,構(gòu)建了微粒 - 靜電 - 溫濕度三位一體管控體系。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體封裝測試潔凈車間。針對 100 級封裝區(qū),采用每 2 平方米 1 個監(jiān)測終端的布局,實時監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min,數(shù)據(jù)更新周期 2 秒)、靜電電壓(量程 - 500~+500V,精度 ±5V)、溫度(22±1℃,精度 ±0.3℃)及濕度(40%~50% RH,精度 ±2%)。系統(tǒng)搭載的激光粒子計數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm,配合壓電式靜電傳感器,響應(yīng)時間均≤0.5 秒。通過與封裝設(shè)備聯(lián)動,當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動啟動局部凈化,使芯片封裝引線鍵合不良率下降 48%。已在長電科技、通富微電應(yīng)用,符合 JEDEC J-STD-033B 標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.94%。無塵車間環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書