其次,要進一步考慮到成本,鋰電池潔凈室環(huán)境目前在鋰電池行業(yè)個應(yīng)用較廣,但由于制造和生產(chǎn)成本處于高耗能狀態(tài),如果做好有效的成本控制,提高管理效率,這就可以再項目建設(shè)前期以及生產(chǎn)過程中的實現(xiàn)已經(jīng)的成本節(jié)約。當然有部分廠家不注重整個生產(chǎn)環(huán)境帶來的影響,也不積極考慮下溫濕度和潔凈度的控制,由于過于注重低成本,沒有追求高質(zhì)量,導(dǎo)致后面的結(jié)果差強人意。所以成本控制方面要考慮高效率的節(jié)約,高精度的生產(chǎn),生產(chǎn)產(chǎn)品高效受益。然后是關(guān)于鋰電無塵池潔凈室相關(guān)的配套措施,除了上述提到的要有較高效率的除濕設(shè)備、除塵設(shè)備這些基礎(chǔ)設(shè)施,還要對外在的影響因素進行預(yù)防,保證常規(guī)情況下無塵車間可以正常運行。常見的車間必備一些擦拭設(shè)備用的清潔布、防靜電擦拭布等等,隨用隨手清潔,也是通過人工干預(yù),實現(xiàn)溫濕度調(diào)整的一種方式。并就車間常用的除濕機需要做好日常的維修和保養(yǎng),保證車間大環(huán)境的整體穩(wěn)定性等。潔凈室環(huán)境控制,中沃電子技術(shù)領(lǐng)行業(yè)。徐州潔凈室 標準
在上海中沃電子科技有限公司的潔凈室里,電子半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)得以蓬勃發(fā)展。半導(dǎo)體制造對環(huán)境潔凈度要求近乎苛刻,塵埃粒子哪怕有微米級,都可能在芯片電路中引發(fā)短路或斷路。中沃潔凈室配備高效空氣過濾系統(tǒng),能持續(xù)過濾空氣中的塵埃、微生物等污染物,將潔凈度控制在極高水準。從晶圓制造的光刻、蝕刻,到芯片封裝的各個環(huán)節(jié),都在此潔凈環(huán)境下進行。極大提高了芯片良品率,降低生產(chǎn)成本,還助力我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突破技術(shù)瓶頸,精細化邁進,滿足5G通信、人工智能等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅苄酒钠惹行枨??;幢彪娮訚崈羰抑悄軡崈羰蚁到y(tǒng),中沃電子行業(yè)新趨勢。
潔凈室的功能與空氣潔凈度分級標準潔凈室是通過高效空氣過濾系統(tǒng)(HEPA/ULPA)與氣流控制技術(shù),將室內(nèi)空氣中的微粒(如塵埃、微生物)濃度控制在極低水平的封閉空間,其功能是為半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、精密光學(xué)等高精度生產(chǎn)或?qū)嶒炋峁o污染環(huán)境。根據(jù)國際標準ISO14644-1,潔凈室按空氣中≥0.1μm微粒的濃度分為9個等級(ISO1至ISO9),其中ISO1級潔凈室每立方米空氣中≥0.1μm微粒數(shù)≤10個,相當于普通戶外環(huán)境的百萬分之一;而ISO9級潔凈室則允許每立方米≤35,200,000個微粒,接近普通辦公室環(huán)境。以半導(dǎo)體制造為例,光刻工序需在ISO1級潔凈室中進行,因為空氣中一粒0.1μm的微粒就可能覆蓋整個芯片電路,導(dǎo)致產(chǎn)品報廢;而藥品灌裝則可在ISO5級(百級)潔凈室中完成,通過層流保護確保藥液不受污染?,F(xiàn)代潔凈室還結(jié)合動態(tài)監(jiān)測系統(tǒng),實時顯示溫濕度、壓差、微粒濃度等參數(shù),為工藝控制提供數(shù)據(jù)支持。
潔凈室在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用半導(dǎo)體制造對潔凈度的要求堪稱嚴苛,潔凈室是保障芯片良率的設(shè)施。在晶圓加工過程中,光刻、蝕刻、薄膜沉積等工序需在ISO1-3級潔凈室中進行,因為空氣中微粒會直接污染晶圓表面,導(dǎo)致電路短路或開路。例如,某12英寸晶圓廠的光刻車間采用ISO1級潔凈室,通過垂直單向流(層流)設(shè)計,使空氣以0.45m/s的速度垂直向動,將微粒攜帶至地面回風口;同時,車間內(nèi)所有設(shè)備(如光刻機、涂膠顯影機)均采用密閉設(shè)計,避免內(nèi)部機械運動產(chǎn)生微粒外泄。數(shù)據(jù)顯示,在普通環(huán)境中生產(chǎn)的芯片良率30%,而在ISO1級潔凈室中可提升至85%以上。此外,潔凈室還需控制化學(xué)污染物(如氨氣、有機蒸氣),通過活性炭過濾器與化學(xué)過濾系統(tǒng),將關(guān)鍵工序區(qū)域的化學(xué)污染物濃度控制在ppb(十億分之一)級別,防止對晶圓表面造成化學(xué)腐蝕。而生物醫(yī)藥潔凈室可能要求溫度18℃-26℃、濕度30%RH-70%RH,以適應(yīng)不同藥品的儲存需求。
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施:(1)對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用高效或亞高效過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。(2)根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風口排走。將電池片生產(chǎn)過程中的顆粒物污染降低90%,助力客戶提升光伏組件的轉(zhuǎn)換效率?;幢彪娮訚崈羰?/p>
提升產(chǎn)品良率與性能穩(wěn)定性,助力企業(yè)突破技術(shù)瓶頸。徐州潔凈室 標準
(二)非單向流無塵室/潔凈室(6-9萬級)6-9級無塵室/潔凈室的氣流組織方向和5級以上的潔凈室不同,室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動的,伴有回流或渦流,它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實現(xiàn)凈化。不同的凈化等級,主要是依靠單位時間內(nèi)所送風量的不同來實現(xiàn)的。(三)無塵室/潔凈室基本工作原理:1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果良好的阻燃型膠塑保溫棉。4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔5。凈化參數(shù)A換氣次數(shù):為保證空氣潔凈度等級的送風量,按表6.3.3中有關(guān)數(shù)據(jù)進行計算或按室內(nèi)發(fā)塵量進行計算。B潔凈室溫度20-26℃,相對濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。徐州潔凈室 標準