佑光智能半導(dǎo)體科技(深圳)有限公司2025-08-05
佑光智能半導(dǎo)體科技研發(fā)的標(biāo)定模組通過(guò)機(jī)械臂、定位臺(tái)和雙識(shí)別相機(jī)系統(tǒng),可對(duì)不同晶體進(jìn)行角度識(shí)別和矯正,其技術(shù)設(shè)計(jì)表明該設(shè)備應(yīng)能兼容需要精密角度標(biāo)定的各類(lèi)晶圓,但具體兼容尺寸范圍需結(jié)合其機(jī)械臂和定位臺(tái)的物理參數(shù)進(jìn)一步確認(rèn)。
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