在失效分析中，零成本簡單且常用的三個(gè)方法基于“觀察-驗(yàn)證-定位”的基本邏輯，無需復(fù)雜設(shè)備即可快速縮小失效原因范圍：

1.外觀檢查法（VisualInspection）

2.功能復(fù)現(xiàn)與對(duì)比法（FunctionReproduction&Comparison）

3.導(dǎo)通/通路檢查法（ContinuityCheck）

但當(dāng)失效分析需要進(jìn)階到微觀熱行為、隱性感官缺陷或材料/結(jié)構(gòu)內(nèi)部異常的層面時(shí)，熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 能成為關(guān)鍵工具，與基礎(chǔ)方法結(jié)合形成更深度的分析邏輯。在進(jìn)階失效分析中，熱紅外顯微鏡可捕捉微觀熱分布，鎖定電子元件微區(qū)過熱（如虛焊、短路）、材料內(nèi)部缺陷（如裂紋、氣泡）引發(fā)的隱性熱異常，結(jié)合動(dòng)態(tài)熱演化記錄，與基礎(chǔ)方法協(xié)同，從 “不可見” 熱信號(hào)中定位失效根因。 熱紅外顯微鏡在材料研究領(lǐng)域，常用于觀察材料微觀熱傳導(dǎo)特性。鎖相熱紅外顯微鏡運(yùn)動(dòng)

熱紅外顯微鏡是半導(dǎo)體失效分析與缺陷定位的三大主流手段之一（EMMI、THERMAL、OBIRCH），通過捕捉故障點(diǎn)產(chǎn)生的異常熱輻射，實(shí)現(xiàn)精細(xì)定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表現(xiàn)為局部功耗異常，導(dǎo)致微區(qū)溫度升高。顯微熱分布測試系統(tǒng)結(jié)合熱點(diǎn)鎖定技術(shù)，能夠高效識(shí)別這些區(qū)域。熱點(diǎn)鎖定是一種動(dòng)態(tài)紅外熱成像方法，通過調(diào)節(jié)電壓提升分辨率與靈敏度，并借助算法優(yōu)化信噪比。在集成電路（IC）分析中，該技術(shù)廣泛應(yīng)用于定位短路、ESD損傷、缺陷晶體管、二極管失效及閂鎖問題等關(guān)鍵故障。 半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡用途熱紅外顯微技術(shù)可透過硅片或封裝材料，實(shí)現(xiàn)非接觸式熱斑定位。

RTTLIT P10 熱紅外顯微鏡在光學(xué)配置上的靈活性，可通過多種可選物鏡得以充分體現(xiàn)，為不同尺度、不同場景的熱分析需求提供精細(xì)適配。

Micro 廣角鏡頭擅長捕捉大視野范圍的整體熱分布，適合快速定位樣品宏觀熱異常區(qū)域，如整片晶圓的整體散熱趨勢觀測；0.2X 鏡頭在保持一定視野的同時(shí)提升細(xì)節(jié)捕捉能力，可用于中等尺寸器件（如傳感器模組）的熱行為分析，平衡效率與精度；0.4X 鏡頭進(jìn)一步聚焦局部，能清晰呈現(xiàn)芯片封裝級(jí)的熱分布特征，助力排查封裝缺陷導(dǎo)致的散熱不均問題；1X 與 3X 鏡頭則聚焦微觀尺度，1X 鏡頭可解析芯片內(nèi)部功能模塊的熱交互，3X 鏡頭更是能深入到微米級(jí)結(jié)構(gòu)（如晶體管陣列、引線鍵合點(diǎn)），捕捉納米級(jí)熱點(diǎn)的細(xì)微溫度波動(dòng)。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）技術(shù)，作為半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域的關(guān)鍵手段，通過捕捉器件內(nèi)部產(chǎn)生的熱輻射，實(shí)現(xiàn)失效點(diǎn)的精細(xì)定位。它憑借對(duì)微觀熱信號(hào)的高靈敏度探測，成為解析半導(dǎo)體故障的 “火眼金睛”。然而，隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷升級(jí)，器件正朝著超精細(xì)圖案制程與低供電電壓方向快速演進(jìn)：線寬進(jìn)入納米級(jí)，供電電壓降至 1V 以下。這使得失效點(diǎn)（如微小短路、漏電流區(qū)域）產(chǎn)生的熱量急劇減少，其輻射的紅外線信號(hào)強(qiáng)度降至傳統(tǒng)檢測閾值邊緣，疊加芯片復(fù)雜結(jié)構(gòu)的背景輻射干擾，信號(hào)提取難度呈指數(shù)級(jí)上升。
芯片復(fù)雜度提升對(duì)缺陷定位技術(shù)的精度與靈敏度提出更高要求。

近年來，非制冷熱紅外顯微鏡價(jià)格呈下行趨勢。在技術(shù)進(jìn)步層面，國內(nèi)紅外焦平面陣列芯片技術(shù)不斷突破，像元間距縮小、陣列規(guī)模擴(kuò)大，從早期的 17μm、384×288 發(fā)展到如今主流的 12μm 像元，1280 ×1 024、1920 × 1080 陣列規(guī)模實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，如大立科技等企業(yè)推動(dòng)技術(shù)升級(jí)，提升生產(chǎn)效率，降低單臺(tái)設(shè)備成本。同時(shí)，國產(chǎn)化進(jìn)程加速，多家本土廠商崛起，如我司推出非制冷型鎖相紅外顯微鏡，打破進(jìn)口壟斷格局，市場競爭加劇，促使產(chǎn)品價(jià)格更加親民。熱紅外顯微鏡助力科研人員研究新型材料的熱穩(wěn)定性與熱性能 。科研用熱紅外顯微鏡內(nèi)容

熱紅外顯微鏡的動(dòng)態(tài)功耗分析功能，同步記錄 100MHz 高頻信號(hào)下的熱響應(yīng)曲線。鎖相熱紅外顯微鏡運(yùn)動(dòng)

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 作為一種能夠捕捉微觀尺度熱輻射信號(hào)的精密儀器，其優(yōu)勢在于對(duì)材料、器件局部溫度分布的高空間分辨率觀測。

然而，在面對(duì)微弱熱信號(hào)（如納米尺度結(jié)構(gòu)的熱輻射、低功耗器件的散熱特性等）時(shí)，傳統(tǒng)熱成像方法易受環(huán)境噪聲、背景輻射的干擾，難以實(shí)現(xiàn)精細(xì)測量。鎖相熱成像技術(shù)的引入，為熱紅外顯微鏡突破這一局限提供了關(guān)鍵解決方案。通過鎖相熱成像技術(shù)的賦能，熱紅外顯微鏡從 “可見” 微觀熱分布升級(jí)為 “可測” 納米級(jí)熱特性，為微觀尺度熱科學(xué)研究與工業(yè)檢測提供了不可或缺的工具。 鎖相熱紅外顯微鏡運(yùn)動(dòng)