正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準(zhǔn)和使用的漏孔，代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔（鹵素氣體漏率標(biāo)準(zhǔn)器），還有氫氣校準(zhǔn)漏孔。該類漏孔目前應(yīng)用場(chǎng)合和校準(zhǔn)需求要高于一類真空漏孔。主要因?yàn)檎龎簷z漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實(shí)際工作狀態(tài)，越來(lái)越被重視。被檢容器內(nèi)壓力在1.013×105Pa,容器內(nèi)氣體分子多,壓力受溫度影響大。壓力的變化不正壓檢漏技術(shù)與真空檢漏技術(shù)相比，具有被檢件不用抽真空、工作狀態(tài)和檢漏狀態(tài)可保持一致等特點(diǎn)，同時(shí)也帶來(lái)了新的問(wèn)題。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。嘉興滲氦漏孔定制

氦氣真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔真空漏孔的選用主要包括以下幾個(gè)技術(shù)指標(biāo)：漏率值和示漏氣體：主要由檢漏工藝和需求決定，說(shuō)明的是在檢漏儀內(nèi)置漏孔一般為2×10-8Pa.m3/s的氦漏率。漏孔泄漏方式，主要分為滲氦型和通道型。一般滲氦型漏孔主要用作帶氦氣室，并且氦氣漏率在（10-10～10-7）Pa.m3/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，檢漏儀內(nèi)置漏孔大多采用該型號(hào)。通道型漏孔相對(duì)滲氦型漏孔，應(yīng)用會(huì)更廣，特別是非標(biāo)定制的模擬漏孔。還具有可以用高壓容器，溫度系數(shù)小等優(yōu)勢(shì)。是否帶氦氣/氫氮混合氣室。主要由標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用方式?jīng)Q定。帶氦氣室具有漏率穩(wěn)定/恒定的特點(diǎn)，而不帶氦氣室往往用作模擬漏孔，模擬允許漏率指標(biāo)的被檢工件，用來(lái)保證檢漏系統(tǒng)的定量需求。接口方式和外形尺寸，是指氣源加壓端接口和漏氣端接口。主要根據(jù)漏孔使用方式確定。廣州鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏孔大小直接決定泄漏量及影響程度。

冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔(可調(diào)漏率)VTL-20B型 ，漏孔元件為微通道毛細(xì)管，其漏率或校準(zhǔn)精度0.1g/a，漏率范圍：（0～10）g/a，支持客戶指定漏率或年泄漏量定制，如1g/a，2.5g/a，5g/a，…，也可以指定其他漏率單位， 如Pa·m3/s(≥5×10-6 Pa·m3/s)， 大漏率10~100g/a亦可定制。 使用方法： 通過(guò)增壓或減壓閥旋鈕，調(diào)節(jié)到校準(zhǔn)點(diǎn)的對(duì)應(yīng)的漏率，氣瓶規(guī)格：雙罐設(shè)計(jì)，液態(tài)+氣態(tài)，一次充注，長(zhǎng)期使用，其優(yōu)點(diǎn)漏率穩(wěn)定、漏率可調(diào)、可重復(fù)充灌、使用成本低、便于攜帶等

隨著檢漏方法和技術(shù)發(fā)展，越來(lái)越強(qiáng)調(diào)檢漏的定量要求，舉例：產(chǎn)品質(zhì)量管理體系要求，項(xiàng)目驗(yàn)收要求，計(jì)量活動(dòng)要求。所以標(biāo)準(zhǔn)漏孔被采用。但是在標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用溯源方面存在著太多的定義方面的模糊甚至錯(cuò)誤，根據(jù)本人多年在該領(lǐng)域的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)特此做了一定的總結(jié)供行業(yè)人士參考。 這里標(biāo)準(zhǔn)漏孔是廣義上的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，是指所有檢漏儀和檢漏系統(tǒng)用來(lái)定量或量值溯源經(jīng)過(guò)標(biāo)定的漏率標(biāo)準(zhǔn)器。按照使用方式和分為：真空漏孔，正壓漏孔和壓差漏孔。本資料漏率不僅限于真空檢漏量值的溯源。漏孔檢測(cè)前需明確檢測(cè)范圍及標(biāo)準(zhǔn)。

氦氣真空漏孔的溯源國(guó)內(nèi)開(kāi)展的比較早也相對(duì)成熟一些，各級(jí)標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對(duì)其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善，并需要對(duì)不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求，在計(jì)量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用，對(duì)于以開(kāi)展量值溯源為主要任務(wù)，技術(shù)能級(jí)有所欠缺的省市和企業(yè)級(jí)別的校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室建議以相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對(duì)裝置，該裝置操作簡(jiǎn)單，成本低等特點(diǎn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀（RGA），因?yàn)樵搩x器悟操作容易造成儀器的損壞，影響工作效率和增加維修成本。標(biāo)準(zhǔn)漏孔可檢測(cè)檢漏儀的靈敏度指標(biāo)。紹興正壓漏孔尺寸

標(biāo)準(zhǔn)漏孔存放需遠(yuǎn)離磁場(chǎng)等干擾源。嘉興滲氦漏孔定制

標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來(lái)校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備，以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度，避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量，是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān)，頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來(lái)會(huì)縮短其壽命，只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長(zhǎng)其有效的使用時(shí)間。正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提，操作人員需經(jīng)過(guò)技術(shù)培訓(xùn)，熟悉其性能、特點(diǎn)、流程和操作規(guī)范，避免因誤操作導(dǎo)致的計(jì)量誤差或設(shè)備損壞。嘉興滲氦漏孔定制