氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中，經(jīng)過不斷的改進發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國質(zhì)譜檢漏儀的檢測精度已經(jīng)達到了10-14Pa·m3/s，國外質(zhì)譜檢漏儀檢測精度達到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)荷比（m/e）的離子在磁場中受洛倫茲力不同而做圓周運動半徑不同的原理，將不同質(zhì)荷比的離子分開，在相應(yīng)半徑上收集到示蹤氣體，如果被檢件出現(xiàn)泄漏，則會檢測到示蹤氣體離子，再通過相應(yīng)計算得出漏率大小。氦氣在空氣中的含量低，又是惰性氣體，使其成為了常用的示蹤氣體。利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏的方法很多，較早的是噴吹法，以后逐漸出現(xiàn)了氦罩法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、背壓法及前級泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)方法。標準漏孔可用于檢漏系統(tǒng)的調(diào)試與驗證 。常州全系列漏孔壓力

檢漏儀內(nèi)置標準漏孔的優(yōu)點是漏率穩(wěn)定：檢漏儀自帶的滲氦漏孔，溫度系數(shù)一般為3.0%~4.0%/℃，由于天氣原因不同的溫差，以及檢漏儀內(nèi)部開機前后內(nèi)部相對封閉環(huán)境的溫度變化等，均會對漏孔的漏率影響相對較大，而且滲氦漏孔的穩(wěn)定時間非常長，通常來說是需要幾個小時的，這必然會造成檢漏儀上的偏差； 上海東貝真空采用的是微通道毛細管技術(shù)它的溫度補償小于0.3%/℃，可以忽略溫度補償（溫度變化10℃漏率變化相當于滲氦漏孔變化1℃）。重慶可調(diào)漏孔生產(chǎn)廠家標準漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。

標準漏孔的制造工藝需嚴格把控材料純度與結(jié)構(gòu)精度，細微的尺寸偏差都可能導(dǎo)致泄漏率明顯變化。例如毛細管型漏孔的內(nèi)徑和長度需經(jīng)過精密測量，確保氣體流動符合理論計算模型，為量值準確性奠定基礎(chǔ)。在制冷設(shè)備檢漏中，標準漏孔用于校準鹵素檢漏儀，幫助檢測制冷劑是否存在微量泄漏。由于制冷劑泄漏不僅影響設(shè)備效率，還可能對環(huán)境造成影響，因此借助標準漏孔確保檢測精度尤為重要。濕度較高的環(huán)境可能導(dǎo)致標準漏孔內(nèi)部結(jié)露，進而堵塞氣體通道，影響其性能。因此在潮濕地區(qū)使用時，需配備干燥裝置，或選擇具有抗潮濕設(shè)計的漏孔，維持其穩(wěn)定工作狀態(tài)。

正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準和使用的漏孔，代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標準漏孔（鹵素氣體漏率標準器），還有氫氣校準漏孔。該類漏孔目前應(yīng)用場合和校準需求要高于一類真空漏孔。主要因為正壓檢漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實際工作狀態(tài)，越來越被重視。被檢容器內(nèi)壓力在1.013×105Pa,容器內(nèi)氣體分子多,壓力受溫度影響大。壓力的變化不正壓檢漏技術(shù)與真空檢漏技術(shù)相比，具有被檢件不用抽真空、工作狀態(tài)和檢漏狀態(tài)可保持一致等特點，同時也帶來了新的問題。漏孔檢測前需明確檢測范圍及標準。

隨著檢漏方法和技術(shù)發(fā)展，越來越強調(diào)檢漏的定量要求，舉例：產(chǎn)品質(zhì)量管理體系要求，項目驗收要求，計量活動要求。所以標準漏孔被采用。但是在標準漏孔使用溯源方面存在著太多的定義方面的模糊甚至錯誤，根據(jù)本人多年在該領(lǐng)域的實際經(jīng)驗特此做了一定的總結(jié)供行業(yè)人士參考。 這里標準漏孔是廣義上的標準漏孔，是指所有檢漏儀和檢漏系統(tǒng)用來定量或量值溯源經(jīng)過標定的漏率標準器。按照使用方式和分為：真空漏孔，正壓漏孔和壓差漏孔。本資料漏率不僅限于真空檢漏量值的溯源。標準漏孔是計量檢測工作的重要基礎(chǔ)器具 。南通冷媒漏孔出口多大

標準漏孔運輸過程中需做好防震保護 。常州全系列漏孔壓力

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數(shù)量進行量化，而到達質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時，這個分流比會有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個點做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準確的，可能到E-9就很不準確。建議用2個標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行標定。事實上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標準漏孔進行標定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個接近該漏率的標準漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過校準的檢漏儀不需要自檢通過也能準確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購?fù)庵脴藴事┛?，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標準漏孔。用戶可選用帶氣室的標準漏孔或開放式漏孔。常州全系列漏孔壓力