標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備，以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度，避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量，是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān)，頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會(huì)縮短其壽命，只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長其有效的使用時(shí)間。正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提，操作人員需經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn)，熟悉其性能、特點(diǎn)、流程和操作規(guī)范，避免因誤操作導(dǎo)致的計(jì)量誤差或設(shè)備損壞。標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用后需清潔并妥善保存?zhèn)溆?。河北全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔

檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一個(gè)組成部分，與檢漏儀的精確度息息相關(guān)， 檢漏儀器在檢測(cè)的過程中是用來校準(zhǔn)其精度的一種標(biāo)準(zhǔn)漏率。 通過來比較檢漏儀對(duì)這些標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行檢測(cè)時(shí)的響應(yīng)值與實(shí)際尺寸上的差異， 可以評(píng)估檢漏儀的檢測(cè)準(zhǔn)確度和它的穩(wěn)定性，在檢漏儀的檢測(cè)過程中， 由于受到了環(huán)境、物質(zhì)等各種因素的影響，檢漏儀的檢測(cè)結(jié)果可能會(huì)出現(xiàn)誤差。此時(shí)若采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)， 便可以提高檢測(cè)儀器的準(zhǔn)確性和可靠性。湖北全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)漏孔在航空航天檢漏中很關(guān)鍵。

冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔(可調(diào)漏率)VTL-20B型 ，漏孔元件為微通道毛細(xì)管，其漏率或校準(zhǔn)精度0.1g/a，漏率范圍：（0～10）g/a，支持客戶指定漏率或年泄漏量定制，如1g/a，2.5g/a，5g/a，…，也可以指定其他漏率單位， 如Pa·m3/s(≥5×10-6 Pa·m3/s)， 大漏率10~100g/a亦可定制。 使用方法： 通過增壓或減壓閥旋鈕，調(diào)節(jié)到校準(zhǔn)點(diǎn)的對(duì)應(yīng)的漏率，氣瓶規(guī)格：雙罐設(shè)計(jì)，液態(tài)+氣態(tài)，一次充注，長期使用，其優(yōu)點(diǎn)漏率穩(wěn)定、漏率可調(diào)、可重復(fù)充灌、使用成本低、便于攜帶等

正壓漏率與真空漏率:正壓漏率是指泄漏到大氣的漏率，真空漏率是泄漏到真空的漏率。漏孔漏率包含分子流與粘滯流，其中分子流與壓力差成正比，粘滯流與壓力平方差成正比。一般來說，對(duì)于同一個(gè)漏孔，內(nèi)部壓力>10Bar，正壓漏率≈真空漏率。漏孔壓力與漏率衰減計(jì)算:10-1-10-6mbar.L/sec的漏孔,漏率與壓力平方成近似正比，壓力衰減，漏率也會(huì)衰減。計(jì)算時(shí)假定一段時(shí)間△t漏率不變，例如1個(gè)160cc的氣室，充氣壓力106bar，起始漏率=2.80E-5mbar.L/s。我們?nèi)?天為△t，以計(jì)算1天衰減后的壓力和漏率(同樣△t可以去1h,1min,或ls，乃至更小，但計(jì)算量線性增加)再以該計(jì)算的漏率計(jì)算第2天衰減后的壓力和漏率，以此類推，可以計(jì)算1年或某個(gè)時(shí)間的壓力衰減及漏率。 標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)使用環(huán)境的真空度有要求。

檢漏技術(shù)發(fā)展前景：目前，我們掌握的檢漏技術(shù)是完全可以滿足我們的生產(chǎn)需要的，對(duì)于檢漏儀的發(fā)展，更多的是向智能化、模塊化、集成化方向發(fā)展。隨著加工技術(shù)的進(jìn)步和集成電路技術(shù)的發(fā)展，檢漏儀日趨輕便，甚至微型化。通訊技術(shù)的發(fā)展也使得對(duì)泄漏的狀態(tài)監(jiān)測(cè)成為可能，為了及時(shí)發(fā)現(xiàn)泄漏，預(yù)防嚴(yán)重泄漏事故的發(fā)生起也到了保障作用。同時(shí)現(xiàn)代科技的發(fā)展需求也向檢漏技術(shù)提出了精度和靈敏度更高，更加便捷，更加快速、成本更低的要求。漏孔大小直接決定泄漏量及影響程度。湖北全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔技術(shù)

標(biāo)準(zhǔn)漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。河北全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔

檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔的優(yōu)點(diǎn)是漏率穩(wěn)定：檢漏儀自帶的滲氦漏孔，溫度系數(shù)一般為3.0%~4.0%/℃，由于天氣原因不同的溫差，以及檢漏儀內(nèi)部開機(jī)前后內(nèi)部相對(duì)封閉環(huán)境的溫度變化等，均會(huì)對(duì)漏孔的漏率影響相對(duì)較大，而且滲氦漏孔的穩(wěn)定時(shí)間非常長，通常來說是需要幾個(gè)小時(shí)的，這必然會(huì)造成檢漏儀上的偏差； 上海東貝真空采用的是微通道毛細(xì)管技術(shù)它的溫度補(bǔ)償小于0.3%/℃，可以忽略溫度補(bǔ)償（溫度變化10℃漏率變化相當(dāng)于滲氦漏孔變化1℃）。河北全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔