中源綠凈在光伏組件層壓無塵車間環(huán)境監(jiān)測中,推出了粉塵 - 溫度 - 濕度多維度方案。應(yīng)用場景:光伏組件層壓無塵車間。針對 1000 級層壓區(qū),配置耐高溫監(jiān)測終端(可耐受 60℃環(huán)境),同步監(jiān)測 0.3μm 粉塵濃度(檢測下限 0.001mg/m3)、層壓溫度(130~150℃,精度 ±1℃)、相對濕度(30%~50% RH,精度 ±3%)及氣壓。采用 β 射線吸收法測塵技術(shù),響應(yīng)時間≤1 秒,數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次。系統(tǒng)對接層壓機(jī)控制系統(tǒng),溫濕度異常時自動調(diào)節(jié),使光伏組件層壓氣泡不良率下降 38%。已在晶澳太陽能、天合光能等應(yīng)用,符合 IEC 61215 光伏組件標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.86%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案,讓 45 + 疫苗廠冷鏈監(jiān)測,效價保持率提 20%!深圳萬級車間環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范
中源綠凈在半導(dǎo)體光刻潔凈室環(huán)境監(jiān)測中,打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體光刻工藝潔凈室。針對 10 級光刻潔凈區(qū),采用每 1.5 平方米 1 個監(jiān)測終端的高密度部署,實(shí)時監(jiān)測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期 2 秒)、溫度(23±0.1℃,精度 ±0.05℃)、濕度(45±2% RH,精度 ±1%)及相鄰區(qū)域壓差(≥25Pa,精度 ±1Pa)。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm,可捕捉極細(xì)微顆粒變化。通過與空調(diào)系統(tǒng)聯(lián)動調(diào)節(jié),當(dāng)溫濕度偏離設(shè)定值時 10 秒內(nèi)完成動態(tài)補(bǔ)償,使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國際、臺積電等企業(yè)應(yīng)用,符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.96%。深圳芯片半導(dǎo)體環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器品牌排行榜中源綠凈為 45 + 果園做環(huán)境監(jiān)測,病蟲害發(fā)生率降 18%,果實(shí)品質(zhì)提升!
中源綠凈為生物樣本庫潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),聚焦于低溫環(huán)境下的參數(shù)穩(wěn)定性監(jiān)測。針對 - 80℃超低溫冰箱存放區(qū)的 B 級潔凈區(qū),部署了耐低溫監(jiān)測終端,可在 - 40~50℃環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,監(jiān)測參數(shù)包括空氣潔凈度(0.5μm 微粒濃度)、庫內(nèi)溫度(波動范圍 ±1℃)、濕度(≤45% RH)及氣壓差。采用鉑電阻溫度傳感器,在低溫環(huán)境下測量精度達(dá) ±0.3℃,數(shù)據(jù)傳輸采用低溫 電纜,確保 - 80℃環(huán)境下信號無衰減。系統(tǒng)具備雙路報(bào)警機(jī)制,溫度異常時 30 秒內(nèi)觸發(fā)聲光 + 短信報(bào)警,使樣本保存事故率下降 70%。已在國家基因庫、協(xié)和醫(yī)院樣本庫應(yīng)用,符合 ISO 20387 生物樣本庫要求,參數(shù)監(jiān)測準(zhǔn)確率 100%。
中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測中,推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動方案。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車間。針對 10 級沉積區(qū),部署超高精度監(jiān)測終端,同步檢測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、沉積氣體純度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)及腔體壓差(≥20Pa)。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù),氣體純度響應(yīng)時間≤1 秒,微粒檢測分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動,當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時自動切斷氣源,使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn),潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。中源綠凈為 25 + 醫(yī)療器械廠做環(huán)境監(jiān)測,無菌環(huán)境好,產(chǎn)品合格率 100%!
中源綠凈在精密光學(xué)儀器潔凈室潔凈度監(jiān)測中,推出了超微顆粒專項(xiàng)監(jiān)測方案。應(yīng)用場景:精密光學(xué)儀器裝配潔凈室。針對 10 級潔凈環(huán)境,配置超高精度監(jiān)測終端,可檢測 0.1μm 超微顆粒濃度(采樣流量 100L/min)、空氣流速(0.2~0.4m/s,精度 ±0.02m/s)及溫濕度(溫度 20~25℃±0.5℃,濕度 40%~60% RH±3%)。采用激光干涉測量技術(shù),數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz,確保捕捉微小顆粒變化。系統(tǒng)與光學(xué)檢測設(shè)備聯(lián)動,當(dāng)顆粒濃度超標(biāo)時自動暫停檢測流程,使光學(xué)鏡片表面潔凈度達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在舜宇光學(xué)、蔡司光學(xué)等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 10110 光學(xué)儀器標(biāo)準(zhǔn),潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測方面,為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)共享服務(wù),促進(jìn)企業(yè)間交流合作!激光環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范
中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域,為 50 + 實(shí)驗(yàn)室保障實(shí)驗(yàn)精度,科研成果發(fā)表周期縮短!深圳萬級車間環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范
中源綠凈在航空航天精密部件裝配潔凈室環(huán)境監(jiān)測中,推出了微振動 - 潔凈度雙維度方案。應(yīng)用場景:航天發(fā)動機(jī)部件裝配潔凈室。針對 8 級潔凈裝配區(qū),配置高精度監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度(檢測下限 1 粒 / 升)、環(huán)境振動(頻率范圍 1~1000Hz,測量精度 ±0.0005mm/s)、空氣流速(0.2~0.4m/s)及溫濕度。采用激光多普勒振動測量技術(shù),數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 2000Hz,可捕捉微米級振動信號。通過振動源識別與隔離方案,使部件裝配精度(公差≤0.001mm)達(dá)標(biāo)率提升 45%。系統(tǒng)對接 MES 系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)全追溯,已在航天科技集團(tuán)、中國商飛應(yīng)用,符合 AS9100 航空質(zhì)量管理體系,環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.92%。深圳萬級車間環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范