將裝置主體1內部的蝕刻液進行清洗,具有很好的清理作用。工作原理:對于這類的回收處理裝置,首先將蝕刻液倒入進液漏斗6并由過濾網(wǎng)7過濾到進液管8中,之后蝕刻液流入到承載板3上的電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環(huán)塊13配合連接桿14和伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池4的功能,之后金屬銅在隔膜5左側析出;其次在蝕刻液初次電解后,通過控制面板30啟動增壓泵16并打開一號電磁閥18,將蝕刻液通過回流管15抽入到一號排液管17中,并由進液管8導入到伸縮管9中,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用,然后打開二號電磁閥23,將蝕刻液通過二號排液管22導入到分隔板2左側,傾斜板24使得蝕刻液向左流動以便排出到裝置主體1外,接著啟動抽氣泵19,將電解池4中產生的有害氣體抽入到排氣管20并導入到集氣箱21中,實現(xiàn)有害氣體的清理,緊接著打開活動板25將金屬銅取出,之后啟動增壓泵16并打開三號電磁閥29,將由進水管27導入到蓄水箱26中的清水。蝕刻液的時刻速率是多少;四川銀蝕刻液蝕刻液訂做價格
在上述硅烷系偶聯(lián)劑的含量處于上述含量范圍內的情況下,能夠調節(jié)添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發(fā)明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發(fā)明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發(fā)明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。上述蝕刻液組合物中說明的、對于添加劑選擇等的一切內容均可以同樣地應用于本發(fā)明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。具體而言,提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法、由此選擇的硅烷系偶聯(lián)劑以及包含該硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻方法。池州京東方用的蝕刻液蝕刻液費用是多少蝕刻液應用于什么樣的場合?
如前文所述,必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經由該復數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示)。再者,請再參閱圖10至圖12所示,為本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖、其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔與斜錐孔混合的態(tài)樣(如圖10所示),或是全部為斜錐孔的態(tài)樣(如圖11所示),其中該宣泄孔121具有一***壁面1211與一第二壁面1212,且該第二擋板12具有一下表面122,當該宣泄孔121為斜錐孔的態(tài)樣時,該***壁面1211與該下表面122的***夾角θ1不同于該第二壁面1212與該下表面122的第二夾角θ2,亦即該***壁面1211與該第二壁面1212可不互相平行,但應避免該***夾角θ1與該第二夾角θ2差距過大而造成毛細現(xiàn)象破除;此外,當該宣泄孔121為斜錐孔態(tài)樣時。
技術實現(xiàn)要素:本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,以解決上述背景技術中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機,所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內部底端一側固定連接有單片機,所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,所述裝置主體的頂部一側固定連接有磷酸儲罐,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內部頂部固定連接有攪拌電機,所述攪拌倉的另一側頂部固定連接有醋酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間一側固定連接有硝酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間另一側固定連接有陰離子表面活性劑儲罐,所述陰離子表面活性劑儲罐的另一側固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,所述裝置主體的頂部另一側固定連接有氯化鉀儲罐,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐,所述裝置主體的內部中間部位固定連接有連接構件。蝕刻液的主要成分是什么?
鋁板面蝕刻用:酸、堿都行。(鋁板是兩性材料,既能與酸反應,又能與堿反應,所以腐蝕液有的用堿性材料腐蝕,有的用酸性材料腐蝕,一般情況下,以酸性材料腐蝕的為多,堿性材料可以洗白。下好料的鋁板用棗木碳研磨,去掉油膩、劃痕,磨出啞光表面。然后用絲網(wǎng)版印上紋樣,油墨型號為80-39、80-59、80-49等。這種耐腐蝕油墨細膩,印出的紋樣質量高。印完紋樣后放進電爐內烘干,然后用即時貼封住后面,用膠帶封邊,進入腐蝕工藝。鋁板的腐蝕液配方如下:三氯化鐵50%硫酸銅50%水適量,波美度15~20°之間,鋁板腐蝕時應平放,在腐蝕的過程中紋樣上溢出赭紅色的滓渣,應隨時用毛刷去掉,鋁面上冒出大量泡泡,滓渣隨泡泡浮起。鋁板的腐蝕時間大約在15~20min左右就可完成。一般情況下鋁板厚度不應低于1mm,否則一不小心會腐蝕透,影響效果。鋁板的防護材料用香蕉水去掉。腐蝕后的鋁板拋光和銅板一樣,拋光時用香蕉水搓凈余蠟,用另一塊棉花擦磨出亮光,然后噴護光劑防護,其它同銅一樣加工。)蝕刻液 [博洋化學] 新工藝,實現(xiàn)循環(huán)使用!綿陽格林達蝕刻液銷售價格
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因此存在開發(fā)蝕刻液組合物時會過度耗費時間和費用的問題。美國公開**第2號公開了在3dnand閃存的制造工序中,對于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而,為了選擇構成成分的種類和濃度,不得不需要測試蝕刻液組合物的蝕刻性能,實際情況是,與上述同樣,仍然沒有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過度耗費時間和費用的問題?,F(xiàn)有技術文獻**文獻**文獻1:美國公開**第2號技術實現(xiàn)要素:所要解決的課題本發(fā)明是為了改善上述以往技術問題的發(fā)明,其目的在于,提供用于選擇硅烷系偶聯(lián)劑的參數(shù)以及包含由此獲得的硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻液組合物,所述硅烷系偶聯(lián)劑作為添加劑即使不進行另外的實驗確認也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外,本發(fā)明的目的在于,提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外,本發(fā)明的目的在于,提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外,本發(fā)明的目的在于,提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。解決課題的方法為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種蝕刻液組合物,其特征在于,包含磷酸、硅烷。四川銀蝕刻液蝕刻液訂做價格